Оборудование Evatec для напыления тонких плёнок

Evatec — производитель вакуумного оборудования из Трюббаха (Швейцария), история с 1946 года: кластерные установки CLUSTERLINE, испарители BAK, установки распыления LLS EVO II, HEXAGON и SOLARIS.

Кластерные установки CLUSTERLINE 200

Модульная кластерная платформа для пластин от 4 до 8 дюймов: травление, PVD, PECVD и PEALD без разгерметизации между шагами. Модуль переноса VTM8 принимает до 6 технологических модулей, групповой модуль BPM берёт 15 пластин 8 дюймов за цикл, столики работают от –30 до 1000 °C.

Пластины 4–8 дюймов
До 6 технологических модулей
Групповой модуль: 15 пластин
Столик: от –30 до 1000 °C

Кластерные установки CLUSTERLINE 300

Платформа для пластин от 8 до 12 дюймов: PVD, мягкое травление PVE, дегазация и охлаждение в одном вакуумном объёме. Модуль переноса принимает до 6 технологических модулей, фронтальный модуль — до 3 загрузочных портов FOUP. Столики охлаждаются до –30 °C и нагреваются до 750 °C.

Пластины 8–12 дюймов
До 6 технологических модулей
Нагрев столика до 750 °C
Тонкие пластины от 100 мкм

Панельные установки CLUSTERLINE 600

Кластерная установка для панелей до 650 × 650 мм: дегазация, травление и напыление для корпусирования FOPLP и подложек ИС. Модуль переноса принимает до 5 технологических модулей; травление — ёмкостный источник PSS600, напыление — SSS600 с 4 вращающимися катодами. Выпускается с 2017 года.

Панели до 650 × 650 мм
До 5 технологических модулей
Катоды SSS600: 4 вращающихся
Выпуск с 2017 года

Вакуумные испарители BAK 501–1401

Испарители с термическими источниками, эффузионными ячейками и электронными пушками, платформа от 0,5 до 1,4 м: от BAK 501 для вузовских НИОКР до BAK 1401 на 28 подложек 8 дюймов за цикл. Есть исполнения с разделённой камерой и для взрывной литографии. Поставлено более 2000 установок.

Платформа 0,5–1,4 м
BAK 1401: 28 подложек
Оптический контроль до 1700 нм
Поставлено более 2000 шт.

Кластерные испарители Multi BAK и BAK911

Multi BAK, выпускаемый с 2022 года, объединяет до 4 испарительных камер BAK вокруг атмосферного робота и загружает пластины без ручных операций. BAK911 — однокамерный вариант со шлюзовой загрузкой. Оба рассчитаны на пластины 6 и 8 дюймов, расход энергии — до 60 % ниже.

До 4 камер испарения
Пластины 6 и 8 дюймов
Экономия энергии до 60 %
Выпуск с 2022 года

Установки HEXAGON для корпусирования на пластине

Установка для UBM, RDL и FOWLP на пластинах 200 и 300 мм: синхронный индексатор, атмосферный групповой дегазатор на 28 или 44 пластины, до 5 технологических портов. Контактное сопротивление ниже 2,0 мОм, неравномерность травления менее 2 %, ресурс оснастки более 20 000 пластин.

Пластины 200 и 300 мм
Контакт: менее 2,0 мОм
Ресурс оснастки 20 000 пластин
Более 80 пластин в час

Вертикальные установки распыления LLS EVO II

Групповая установка вертикального распыления с раздельными камерами загрузки и процесса: до 5 катодов DC, RF или DC/RF и источник травления. Подложки от 2 до 8 дюймов и до 200 × 230 мм, смена формата за 5 минут, совместное распыление с 3 источников. В мире более 300 установок.

До 5 катодов распыления
Подложки до 200 × 230 мм
Смена формата за 5 минут
Более 300 установок в мире

Конвейерные установки SOLARIS S151 и S380

Установки с синхронным индексатором носителей для полностью автоматизированных производств: S151 — до 6 технологических станций и подложки до 8 дюймов по диагонали, S380 — до 5 станций и до 15 дюймов. PVD, травление и нагрев RTP до 400 °C; замена мишени и экранов — 30 и 60 минут.

S151: до 6 станций
S380: до 15 дюймов
Нагрев RTP до 400 °C
Замена мишени за 30 мин

Подбор установок Evatec по процессу и подложке

Установку выбирают по процессу и размеру подложки.

Для пластин 4–8 дюймов и сочетания травления, PVD, PECVD и PEALD без разгерметизации — CLUSTERLINE 200, для пластин 8–12 дюймов — CLUSTERLINE 300, для панелей до 650 × 650 мм — CLUSTERLINE 600, для UBM, RDL и FOWLP на пластинах 200 и 300 мм — HEXAGON.

Для испарения металлов и диэлектриков служат испарители BAK с платформой от 0,5 до 1,4 м и кластерный Multi BAK на пластины 6 и 8 дюймов, для групповой вертикальной металлизации и магнитных плёнок — LLS EVO II, для скоростного распыления в автоматизированных цехах — конвейерные SOLARIS S151 и S380.

Компания и сервисная служба

Evatec AG находится в Трюббахе (Швейцария) и ведёт историю с 1946 года от корпорации Balzers AG. Основные технологии — травление, испарение, распыление, PECVD и PEALD; у компании более 200 патентов и лаборатория ECL с более чем 30 установками напыления.

В сервисной службе производителя более 100 инженеров FSE и FAE, на складах около 5000 наименований запчастей.

Evatec и названия моделей — товарные знаки их правообладателей. Они указаны только для обозначения оборудования, для которого мы подбираем запчасти. Компания SpareX не является официальным дилером, дистрибьютором или представителем Evatec и не связана с правообладателем. Происхождение, документы и гарантия указываются по каждой позиции в коммерческом предложении.