Вакуумные насосы, течеискатели и арматура Agilent Vacuum Technologies

Вакуумные насосы, гелиевые масс-спектрометрические течеискатели, вакуумметры и фланцевая арматура Agilent Vacuum Technologies (бывш. Varian Vacuum): подбор комплектных агрегатов и сервисных ремкомплектов по каталожному номеру.

Турбомолекулярные насосы TwisTorr (FS / OS) и Turbo-V

Высоковакуумные насосы серий TwisTorr FS (74FS, 84FS, 305FS, 305-IC, 404FS, 704FS, 804FS) и линейки Turbo-V (551, 1001, 2300, 3K-G) предназначены для масс-спектрометров, ускорителей и камер напыления с вакуумом до 10⁻¹⁰ мбар и постов TPS-compact / TPS-mini.

Молекулярная ступень TwisTorr с высокой степенью сжатия по водороду и гелию
Гибридный керамический подвес Agilent Floating Suspension (FS) с низким уровнем вибрации
Бортовые контроллеры Onboard, стоечные блоки AG Rack и исполнения с электроникой IC
Входные фланцы ConFlat (CF) и ISO-K/F, комплекты воздушного и водяного охлаждения

Сухие спиральные вакуумные насосы IDP и TriScroll

Безмасляные спиральные форвакуумные насосы герметичной серии IDP (IDP-3, IDP-7, IDP-10, IDP-15) и двухступенчатой серии TriScroll (TriScroll 300, TriScroll 600, включая инверторные модели) исключают миграцию паров углеводородов в камеры микроскопов и криостатов.

Герметичный тракт откачки в серии IDP с изоляцией подшипников и электродвигателя
Скорость откачки от 3 до 15 м³/ч у серии IDP и до 25,2–30 м³/ч у насосов TriScroll 600
Плановое обслуживание сводится к замене фторопластовых торцевых уплотнений tip seal
Ремкомплекты уплотнений (IDP3TS, IDP7TS, IDP10TS, IDP15TS, PTSS0300MK, PTSS0600MK)

Ионно-геттерные насосы VacIon Plus, элементы StarCell и контроллеры 4UHV

Магниторазрядные ионно-геттерные насосы серии VacIon Plus (модели от 20 до 500 л/с и миниатюрные насосы 0,2–10 л/с) создают сверхвысокий (UHV) и экстремально высокий (XHV) вакуум до 10⁻¹¹ мбар без подвижных деталей, вибраций и износа в синхротронах и микроскопах.

Три типа кассетных ячеек: Diode для активных газов, Noble Diode и структура StarCell
Катоды StarCell с открытой геометрией для откачки благородных газов, водорода и метана
Высоковольтные контроллеры 4UHV (до 4 насосов) и блоки IPC Mini с индикацией давления
Титановые испарители TSP, геттерные картриджи CombiNEG, нагреватели и кабели HV

Пластинчато-роторные насосы DS и паромасляные диффузионные насосы VHS / HS

Двухступенчатые пластинчато-роторные насосы с масляным уплотнением серии DS (DS 40M, DS 102, DS 202, DS 302, DS 402, DS 602) и паромасляные диффузионные насосы серий VHS (VHS-4, VHS-6, VHS-10, VHS-250, VHS-400) и HS (HS-2, HS-16, HS-20, HS-32) работают в вакуумных печах.

Форвакуумные насосы DS со скоростью откачки от 2 до 30 м³/ч и газобалластным клапаном
Диффузионные насосы VHS и HS со скоростью откачки от 150 до 32 000 л/с
Ремкомплекты уплотнений вала, лопатки ротора, цеолитовые ловушки и фильтры тумана
Дисковые и патронные нагреватели для насосов VHS/HS, ловушки и вакуумные масла DS19

Гелиевые масс-спектрометрические течеискатели HLD, VS, 979 и PHD-4

Гелиевые масс-спектрометрические течеискатели серии HLD (PR02, PD03, BD08, BR15, BD30, MR15, MD30 и модуль C15), а также серии VS, 979, 959 и портативный прибор PHD-4 применяются для контроля герметичности теплообменников, криогенных сосудов, клапанов и камер.

Настольные, мобильные и модульные исполнения с роторными или сухими спиральными насосами
Чувствительность по потоку гелия до 5×10⁻¹² мбар·л/с в вакуумном режиме и работа щупом
Двухкатодные иридиевые ионные источники, встроенные гелиевые течи и пульты ДУ
Запчасти: щупы sniffer probe, пистолеты обдува, эталонные течи и входные фильтры

Вакуумметры FRG / PVG / PCG, контроллеры XGS-600 и вакуумная арматура ConFlat / KF / ISO

Подбираем активные преобразователи давления и контроллеры вакуума Agilent (XGS-600, RGC-100/150), а также вакуумную арматуру, высоковакуумные клапаны, шиберные затворы, сильфонные рукава и фланцевые соединения стандартов ConFlat (CF), ISO-KF (NW) и ISO-K/F.

Широкодиапазонные датчики FRG-700/702 (инверсный магнетрон) и FRG-720/730 (Байярд-Альперт)
Датчики Пирани PVG-500/550, комбинированные PCG-750, мембранные CDG-500 и трубки UHV-24
Цельнометаллические прогреваемые клапаны Series 54, клапаны Series 26 и натекатели 951-5106
Фланцы, сильфоны, медные прокладки OFHC для CF, кольца Viton и эпоксидный компаунд Torr Seal

Инженерная база Varian Vacuum в составе Agilent Technologies

Подразделение Agilent Vacuum Technologies создано на базе компании Varian Vacuum Technologies (вошедшей в Agilent в 2010 году), которая в 1957 году изобрела ионно-геттерный насос VacIon и стандарт фланцев ConFlat (CF).

Завод по турбомолекулярным, ионным, диффузионным и роторным насосам расположен в Лейни (Турин, Италия), а производство спиральных насосов и течеискателей — в Лексингтоне (США).

При заказе запчастей для действующего оборудования сохраняется полная преемственность маркировок Varian и Agilent: девятизначные и буквенно-цифровые коды (Part Numbers) ремкомплектов, контроллеров и датчиков совместимы между обоими поколениями шильдиков.

Архитектура турбомолекулярных насосов TwisTorr FS и систем TPS

В турбомолекулярных насосах серий TwisTorr 74FS, 84FS, 305FS, 404FS, 704FS и 804FS сочетаются высокоскоростные лопатки ротора и молекулярные каналы статора TwisTorr drag stage.

Такая геометрия создаёт высокую степень сжатия по водороду и гелию и позволяет насосу работать при повышенном выпускном давлении в паре с компактными сухими спиральными насосами IDP.

Гибридный керамический подвес Agilent Floating Suspension (FS) снижает вибрационную нагрузку на колонну микроскопа или масс-спектрометра и не требует замены смазки. На базе насосов TwisTorr и спиральных насосов IDP собираются откачные посты TPS-compact и TPS-mini.

Сравнение сухих спиральных насосов IDP и TriScroll при выборе ремкомплектов

Линейка сухих спиральных насосов делится на две группы: односторонние герметичные насосы IDP (IDP-3, IDP-7, IDP-10, IDP-15 со скоростью откачки от 3 до 15 м³/ч) и двухсторонние двухступенчатые насосы TriScroll (TriScroll 300 и TriScroll 600 до 15–30 м³/ч).

В серии IDP подшипники и электродвигатель изолированы от вакуумного тракта сильфоном.

Плановое обслуживание выполняется путём замены фторопластовых торцевых уплотнений спирали (tip seal kit: IDP3TS, IDP7TS, IDP10TS, IDP15TS для серии IDP и PTSS0300MK, PTSS0600MK для TriScroll). Для насосов TriScroll также доступны полные комплекты капитального ремонта с подшипниками.

Конфигурации ионно-геттерных насосов VacIon Plus для сверхвысокого вакуума

Для получения безмасляного сверхвысокого вакуума (до 10⁻¹¹ мбар) без вибраций применяются магниторазрядные ионно-геттерные насосы VacIon Plus.

Под газовый состав камеры выбирается один из трёх типов ячеек: титановый Diode для кислорода, азота и оксидов углерода, биметаллический Noble Diode (титан-тантал) или универсальный элемент StarCell.

Открытая структура катодов StarCell предотвращает деформацию пластин при длительной работе и обеспечивает стабильную откачку аргона, гелия, водорода и метана. В области 10⁻¹⁰–10⁻¹¹ мбар ионные насосы дополняются титановыми сублимационными испарителями (TSP) или картриджами CombiNEG.

Форвакуумные роторные насосы DS и паромасляные диффузионные насосы VHS / HS

В установках вакуумной плавки, пайки, термообработки и напыления используются двухступенчатые пластинчато-роторные насосы DS (DS 40M, DS 102, DS 202, DS 302, DS 402, DS 602) и паромасляные диффузионные насосы серий VHS (VHS-4, VHS-6, VHS-10, VHS-250, VHS-400) и HS (HS-2, HS-16, HS-20, HS-32).

Насосы DS оснащены принудительной смазкой и газобалластом.

Для ремонта насосов DS мы подбираем малые и большие ремкомплекты уплотнений вала, лопатки ротора, выхлопные фильтры масляного тумана и цеолитовые ловушки. Для диффузионных насосов VHS и HS поставляются дисковые и патронные нагреватели, термореле, водоохлаждаемые ловушки и масла.

Правила идентификации оборудования и запчастей по шильдику при заказе

Для точного подбора взаимозаменяемых узлов, контроллеров и кабелей Agilent / Varian укажите в заявке девятизначный или буквенно-цифровой каталожный номер (Part Number / Model Number) и серийный номер с шильдика.

Для турбомолекулярных и ионных насосов важно зафиксировать стандарт фланцев (ConFlat CF, ISO-K или ISO-KF), тип охлаждения и питание контроллера.

При запросе запчастей для гелиевых течеискателей HLD / VS / 979 или вакуумметров XGS-600 / FRG / PVG / CDG пришлите фото таблички прибора и тип разъёма. Мы сверим сервисный код по документации производителя и подготовим предложение с ценой в рублях с НДС 22% и сроком поставки.

Agilent Vacuum Technologies и названия моделей — товарные знаки их правообладателей. Они указаны только для обозначения оборудования, для которого мы подбираем запчасти. Компания SpareX не является официальным дилером, дистрибьютором или представителем Agilent Vacuum Technologies и не связана с правообладателем. Происхождение, документы и гарантия указываются по каждой позиции в коммерческом предложении.