Оборудование Allwin21 для обработки пластин

Allwin21 — производитель полупроводникового оборудования из Морган-Хилла (Калифорния, США), основан в 2000 году: установки быстрого отжига AccuThermo, плазменного удаления резиста и травления, распыления AccuSputter, измерители AWgage.

Настольная установка отжига AccuThermo AW610M

AW610M — полуавтоматическая атмосферная установка быстрого термического отжига пластин до 6 дюймов на платформе AG Associates Heatpulse 610. Нагрев 21 лампой Ushio сверху и снизу в 6 зонах, термопара до 840 °C, пирометр до 1250 °C, нагрев 10–120 °C/с, до 6 газовых линий.

Пластины до 6 дюймов
21 лампа, 6 зон нагрева
Нагрев 10–120 °C/с
Пирометр до 1250 °C

Установки отжига AccuThermo AW820M и AW820V

AW820M — отдельностоящая полуавтоматическая установка быстрого отжига пластин до 8 дюймов: 27 ламп в 10 зонах, рабочая температура 150–1150 °C, максимум 1250 °C, шаг рецепта до 9999 с. AW820V — вакуумное исполнение с сухим или турбомолекулярным насосом.

Пластины до 8 дюймов
27 ламп, 10 зон нагрева
Нагрев до 1250 °C
Вакуумное исполнение

Автоматические установки AW820R, AW820RV и AW1230R

AW820R — автоматическая атмосферная установка быстрого отжига пластин 3–8 дюймов с роботом загрузки, кварцевой изолирующей трубой и пирометром. Нагрев программируется до 250 °C/с, рабочая температура 400–1150 °C. AW820RV — вакуумный вариант, AW1230R — для пластин 12 дюймов.

Пластины 3–8 дюймов
Нагрев до 250 °C/с
Робот загрузки пластин
Старшая модель: 12 дюймов

Плазменное удаление резиста AW-105R и AW-10R

Однопластинные установки с удалённой плазмой для мягкого удаления остатков резиста и очистки поверхности. AW-105R работает с пластинами 2–6 дюймов и ВЧ-генератором 300 или 600 Вт, AW-10R — с пластинами 4–8 дюймов и 600 или 1000 Вт, частота 13,56 МГц. Пластины переносит трёхосевой робот.

Пластины 2–8 дюймов
ВЧ-генератор 13,56 МГц
Мощность 300–1000 Вт
Трёхосевой робот

Барабанная плазменная установка AW-B3000

AW-B3000 — настольная полуавтоматическая установка группового удаления резиста, очистки и травления. Кварцевый реактор диаметром 12 и глубиной 23 дюйма принимает образцы до пластин 8 дюймов, ВЧ-генератор 600, 1000 или 1200 Вт на 13,56 МГц, 1–4 газовые линии, ручная загрузка.

Реактор 12 × 23 дюйма
Образцы до 8 дюймов
Мощность до 1200 Вт
Групповая обработка

Плазменные травители AW-303R и AW-901eR/903eR

AW-303R — автоматический травитель с удалённой плазмой для изотропного травления пластин 2–6 дюймов: ВЧ-мощность до 650 Вт, газы NF3, кислород и гелий. AW-901eR и AW-903eR — платформа плазменного и реактивного ионного травления, изотропного или анизотропного.

Пластины 2–6 дюймов
Мощность до 650 Вт
Изотропное травление
Реактивное ионное травление

Установки распыления AccuSputter AW4450 и AW4480

AW4450 (полуавтомат) и AW4480 (автомат) — установки магнетронного распыления на ВЧ, постоянном и импульсном токе на базе платформы 4400/4410/4450. Шлюзовая камера, вращающийся стол, до 3 катодов Delta или 4 круглых катодов 8 дюймов, реактивное и совместное распыление.

Подложки до 8 дюймов
До 4 катодов
Шлюзовая камера
Распыление ВЧ и постоянным током

Измерители сопротивления плёнок AWgage-150 и AWgage-200

Настольные бесконтактные системы измеряют поверхностное сопротивление проводящих плёнок вихретоковым методом и при известном удельном сопротивлении рассчитывают толщину. AWgage-150 — пластины 2–6 дюймов, AWgage-200 — 4–8 дюймов, измерение в 1, 5 или 9 точках, сенсорный экран.

Вихретоковый метод
Пластины 2–8 дюймов
Измерение в 1, 5 или 9 точках
Питание 110/220 В

Подбор оборудования Allwin21 по процессу и размеру пластины

Оборудование выбирают по процессу и размеру пластины. Для быстрого термического отжига (активация примеси, оксидирование и нитридизация, отжиг контактов) служит серия AccuThermo: AW610M для пластин до 6 дюймов, AW820M до 8 дюймов, автоматические AW820R и AW820RV, AW1230R для 12 дюймов.

Атмосферные установки производитель рекомендует для большинства задач, вакуумные — когда процесс действительно требует пониженного давления.

Для удаления резиста — однопластинные AW-105R и AW-10R или групповая AW-B3000; для травления — AW-303R (изотропное) и AW-901eR/903eR (реактивное ионное); для металлизации — AccuSputter AW4450 и AW4480; для контроля проводящих плёнок — AWgage-150 и AWgage-200.

Полупроводниковые материалы и модернизация установок

Установки AccuThermo работают с кремнием, SiC, GaN, GaAs и InP; изолированная кварцевая камера сохраняет чистоту пластины, датчик кислорода защищает процессы, чувствительные к кислороду.

Allwin21 основана в 2000 году в Кремниевой долине, штаб-квартира в Морган-Хилле (Калифорния), член SEMI с 2007 года.

Компания модернизирует устаревшие установки Heatpulse, MPT, Matrix, Gasonics, Tegal, Branson/IPC, Lam, Perkin-Elmer и MRC: новый контроллер, ПО Allwin21, интерфейсные платы и робот загрузки.

Allwin21 и названия моделей — товарные знаки их правообладателей. Они указаны только для обозначения оборудования, для которого мы подбираем запчасти. Компания SpareX не является официальным дилером, дистрибьютором или представителем Allwin21 и не связана с правообладателем. Происхождение, документы и гарантия указываются по каждой позиции в коммерческом предложении.