Вакуумные насосы и системы KYKY Technology

KYKY Technology — производитель вакуумного оборудования из Пекина, основан в 1958 году: турбомолекулярные насосы на смазке и магнитном подвесе, роторные насосы, откачные посты, затворы, течеискатели и вакуумметры.

Турбомолекулярные насосы FF на консистентной смазке

Насосы FF-100/110, FF-160/700, FF-200/1300 и FF-250/2000 KYKY стоят на самоуплотнённых керамических подшипниках со смазкой: монтаж в любом положении, обслуживание раз в 3–5 лет. FF-250/2000 откачивает 2000 л/с по азоту при 24 000 об/мин, FF-100/110 — 110 л/с при 42 300 об/мин.

Подшипники: керамические
Обслуживание: раз в 3–5 лет
Откачка: 110–2000 л/с по азоту
Контроллер FF-250/2000: TCDP-II

Приборные насосы FF-63/80, FF-100/150 и FF-100/300

Компактные турбомолекулярные насосы KYKY для масс-спектрометров и приборов анализа поверхности. Работают с разными форвакуумными насосами, ставятся в любом положении, частота вращения регулируется. FF-63/80 вращается с частотой 72 000 об/мин, FF-100/300 откачивает 260 л/с по азоту.

Частота: до 72 000 об/мин
Откачка: до 260 л/с по азоту
Монтаж: любое положение
Контроллер: TCP-100 или TCP-240

Турбомолекулярные насосы FF-160/620 и F-400/3500B на масле

Насосы KYKY с масляной смазкой рассчитаны на жару и пыль, их ставят на установки ионной имплантации, напыления, электронно-лучевой сварки и вакуумные печи. FF-160/620 откачивает 600 л/с по азоту при 36 000 об/мин, F-400/3500B — 3500 л/с при 13 500 об/мин.

Откачка: 600–3500 л/с по азоту
Фланец F-400/3500B: DN400
Масса F-400/3500B: 130 кг
Среда: жара и пыль

Турбомолекулярные насосы CXF на магнитном подвесе

В CXF-200/1401E, CXF-250/2301E и CXF-320/3001E KYKY ротор держит пятиосевой магнитный подвес, смазки нет. Ротор из алюминиевого сплава и углепластика, нагреватель держит температуру насоса при откачке газов травления. Откачка 1400–3200 л/с, частота 24 000–33 000 об/мин.

Подвес: пятиосевой магнитный
Откачка: 1400–3200 л/с по воздуху
Частота: 24 000–33 000 об/мин
Масса с контроллером: 51–75 кг

Пластинчато-роторные насосы RV-2 — RV-24

Быстроходные насосы RV KYKY с прямым приводом работают самостоятельно или форвакуумными для диффузионных, двухроторных и молекулярных насосов. Откачка 2–24 л/с при 50 Гц и 1420 об/мин, предельное давление 4×10⁻² Па. Есть обратный клапан против возврата масла и газобалластный клапан.

Откачка: 2–24 л/с при 50 Гц
Частота: 1420 об/мин
Масло: от 1,1 до 6,5 л
Шум: 50–58 дБ

Высоковакуумные откачные посты FJ-80, FJ-110, FJ-620, FJ-700

Посты KYKY объединяют турбомолекулярный и механический насосы на раме с управлением и защитой по водяному охлаждению. FJ-80 на базе FF-63/80 откачивает 62 л/с и весит 21 кг; FJ-620 собран с RV-6 и вакуумметром ZDF-11B5, натекание не более 1×10⁻⁹ Па·м³/с.

Откачка: 62–700 л/с
Масса FJ-80: 21 кг
Масса FJ-700: 135 кг
Питание FJ-620: 380 В

Сверхвысоковакуумные шиберные затворы CC, CCD, CCQ

Затворы KYKY DN35–DN400 выпускаются с ручным (CC), электрическим (CCD) и пневматическим (CCQ) приводом. Корпус и тарелка из стали 304, привод через сварной сильфон из стали 316L, тарелка уплотнена фторкаучуком. Натекание не более 1,3×10⁻¹⁰ Па·м³/с, прогрев до 150 °C.

Проход: DN35–DN400
Натекание: ≤1,3×10⁻¹⁰ Па·м³/с
Сильфон: сталь 316L
Прогрев: до 150 °C

Гелиевые течеискатели ZQJ-2000 и ZQJ-3200

ZQJ-2000 KYKY находит течь от 2×10⁻¹¹ Па·м³/с при входном давлении до 1000 Па, весит 80 кг, форвакуумный насос масляный или сухой. ZQJ-3200 с микропроцессорным управлением достигает 5×10⁻¹³ Па·м³/с в вакуумном режиме и работает со щупом, весит 44 кг.

Порог ZQJ-3200: 5×10⁻¹³ Па·м³/с
Вход ZQJ-3200: до 2500 Па
Отклик: не более 2 с
Масса ZQJ-2000: 80 кг

Подбор насоса KYKY по задаче

Для масс-спектрометров и приборов анализа поверхности KYKY выпускает приборные насосы FF-63/80, FF-100/150 и FF-100/300 со встроенным модулем привода.

Для солнечных элементов, напыления стекла, ускорителей, плазменных установок и течеискания подходят насосы на консистентной смазке от FF-100/110 (110 л/с) до FF-250/2000 (2000 л/с по азоту).

Для жары и пыли, вакуумных печей и электронно-лучевой сварки предназначены насосы на масле FF-160/620 и F-400/3500B. Коррозионные газы травления, осаждения и ионной имплантации откачивают насосы CXF на магнитном подвесе (1400–3200 л/с) с нагревом и продувкой вала азотом.

Форвакуум дают пластинчато-роторные насосы RV-2 — RV-24, готовые посты FJ собирают всё на одной раме.

Затворы, течеискатели и вакуумметры

Шиберные затворы CC, CCD и CCQ на проходы DN35–DN400 имеют ручной, электрический или пневматический привод, корпус из стали 304, сильфон из стали 316L и натекание не более 1,3×10⁻¹⁰ Па·м³/с. Гелиевый течеискатель ZQJ-2000 находит течь от 2×10⁻¹¹ Па·м³/с, ZQJ-3200 — от 5×10⁻¹³ Па·м³/с в вакуумном режиме.

Комбинированные вакуумметры ZDF-11B5 и ZDF-62B5 измеряют от 1,0×10⁵ до 1,0×10⁻⁵ и 1,0×10⁻⁷ Па с точностью ±1 %, приборные ZDR-12/06B и ZDZ-52T/07B ставятся в щит и дают аналоговый выход 0–5 В.

Производство KYKY Technology

KYKY Technology Co., Ltd. основана в Пекине в 1958 году, её предшественник — Пекинский центр разработки научных приборов Академии наук Китая. Компания создала первые в Китае турбомолекулярный насос, коммерческий гелиевый течеискатель и растровый электронный микроскоп.

Насосы KYKY работают в масс-спектрометрах и анализаторах поверхности, на установках оптического напыления, производстве дисплеев и ионного травления.

KYKY / KYKY Technology и названия моделей — товарные знаки их правообладателей. Они указаны только для обозначения оборудования, для которого мы подбираем запчасти. Компания SpareX не является официальным дилером, дистрибьютором или представителем KYKY / KYKY Technology и не связана с правообладателем. Происхождение, документы и гарантия указываются по каждой позиции в коммерческом предложении.