Электронные и ионные пушки, катоды Kimball Physics
Kimball Physics — американский производитель электронной и ионной оптики для сверхвысокого вакуума с 1969 года: электронные пушки до 100 кэВ, ионные пушки, катоды LaB6 и дисковые катоды, детекторы пучка.
Электронные пушки низких энергий ELG-2 и EGL-2022
ELG-2 с блоком питания EGPS-1022 даёт пучок от 1 эВ до 2 кэВ током от 1 нА до 10 мкА, пятно 0,5–5 мм. EGL-2022 работает от 50 эВ до 5 кэВ, ток до 100 мкА. Зум-линза держит ток пучка постоянным при смене энергии. Пушки служат для физики поверхности и нейтрализации заряда.
- Энергия ELG-2 1 эВ–2 кэВ
- Ток ELG-2 до 10 мкА
- Энергия EGL-2022 до 5 кэВ
- Прогрев EGL-2022 до 350 °C
Электронные пушки средних энергий EGG-3101 и EMG-4212
EGG-3101 с блоком EGPS-3101 работает от 100 эВ до 10 кэВ, EMG-4212 с блоком EGPS-4212 — от 1 до 30 кэВ. С катодом из гексаборида лантана пятно сужается до 60 и 100 мкм, вариант большого тока даёт до 1 мА. Сменный узел катода пользователь заменяет сам.
- Энергия EGG-3101 до 10 кэВ
- Энергия EMG-4212 до 30 кэВ
- Пятно EGG-3101 от 60 мкм
- Ток пучка до 1 мА
Электронные пушки высоких энергий EGH-6210 и EGH-8201
EGH-6210 с катодом из гексаборида лантана работает от 1 до 60 кэВ, ток от 10 мкА до 5 мА, пятно от 50 мкм. EGH-8201 с дисковым катодом даёт от 10 до 100 кэВ, ток до 1 мА и до 20 мА в импульсе, пятно 1–100 мм. Фокусировка магнитной линзой.
- Энергия EGH-6210 до 60 кэВ
- Пятно EGH-6210 от 50 мкм
- Энергия EGH-8201 до 100 кэВ
- Ток в импульсе до 20 мА
Катоды из гексаборида лантана ES-423E, ES-462 и ES-423GR
Монокристаллические катоды LaB6 для растровых и просвечивающих микроскопов, литографии и рентгеновских источников. ES-423E в микроскопах работает более 6 месяцев. ES-462 с зажимным креплением выдерживает свыше 10 000 термоциклов. У ES-423GR с охранным кольцом эмиттер 10–250 мкм.
- Ресурс ES-423E более 6 месяцев
- Плотность тока 15 А/см²
- Термоциклы ES-462: 10 000
- Эмиттер ES-423GR 10–250 мкм
Дисковые катоды: тантал, оксид бария, иридий с оксидом иттрия
Танталовые ES-042, ES-044 и ES-046 служат катодами общего назначения. Катоды с покрытием из оксида бария ES-015, ES-064 и ES-066 работают при низкой температуре, эмиссия до 3 мА. Иридиевые диски с оксидом иттрия ES-526, ES-529 и ES-535 стойки к окислению, эмиссия до 10 мА.
- Три диаметра диска
- Оксид бария: эмиссия до 3 мА
- Оксид иттрия: эмиссия до 10 мА
- Основания AEI и CB-104
Ионные пушки IMG-4212, ILG-6, IGS-4 и детекторы пучка
Ионные пушки с источниками ионов щелочных металлов: IMG-4212 от 1 до 20 кэВ, ILG-6 от 10 эВ до 1 кэВ, IGS-4 от 50 эВ до 5 кэВ, ток от 1 нА до 2 мкА. Пучок контролируют цилиндры Фарадея и люминофорные экраны, которые прогревают до 350 °C.
- Энергия ионов 10 эВ–20 кэВ
- Ток пучка 1 нА–2 мкА
- Пятно 500 мкм–25 мм
- Прогрев экранов до 350 °C
Подбор электронной пушки Kimball Physics
Пушку выбирают по энергии пучка, току и размеру пятна. Системы рассчитаны на энергии от 1 эВ до 100 кэВ, токи от 1 нА до 20 мА и пятна от 15 мкм до 500 мм и более. Низкие энергии до 5 кэВ дают ELG-2 и EGL-2022, средние до 30 кэВ — EGG-3101 и EMG-4212, высокие до 100 кэВ — EGH-6210 и EGH-8201.
Малое пятно получают с катодом из гексаборида лантана: до 60 мкм у EGG-3101 и до 50 мкм у EGH-6210. Каждая пушка поставляется с согласованным блоком питания серии EGPS как готовая подсистема для вакуумной установки; сменный узел катода пользователь заменяет сам.
Катоды и ионные пушки
Катоды LaB6 ES-423E, ES-462 и ES-423GR служат источниками электронов для растровых и просвечивающих микроскопов, литографии и рентгеновских источников. Дисковые катоды выпускаются из тантала, с покрытием из оксида бария и из иридия с оксидом иттрия, на основаниях AEI и CB-104.
Ионные пушки IMG-4212, ILG-6 и IGS-4 с источниками ионов щелочных металлов работают от 10 эВ до 20 кэВ при токе от 1 нА до 2 мкА. Для контроля пучка служат цилиндры Фарадея и люминофорные экраны.
Производство Kimball Physics
Kimball Physics основана в 1969 году в Уилтоне (штат Нью-Гэмпшир, США) выходцем из MIT Чарльзом Кимболлом Кроуфордом. Компания выпускает электронную и ионную оптику для сверхвысокого вакуума, катоды, детекторы и вакуумное оборудование.
Вакуумные камеры изготавливают из цельной заготовки нержавеющей стали 316L, набор деталей для сборки в вакууме включает более 350 стандартных деталей. Продукция применяется в микроскопах, полупроводниковом оборудовании, ускорителях и космической технике.
Kimball Physics и названия моделей — товарные знаки их правообладателей. Они указаны только для обозначения оборудования, для которого мы подбираем запчасти. Компания SpareX не является официальным дилером, дистрибьютором или представителем Kimball Physics и не связана с правообладателем. Происхождение, документы и гарантия указываются по каждой позиции в коммерческом предложении.
Другие производители оборудования
- Оборудование и запчасти Gamry Instruments
- Оборудование и запчасти BioLogic
- Оборудование и запчасти InnoLas Laser
- Оборудование и запчасти Light Conversion
Документы и источники
- Сайт Kimball Physics — главная страница
- О компании — направления и производство
- Основатель компании — история с 1969 года
- Электронные пушки — каталог и параметры
- Пушка ELG-2 — параметры
- Пушка EGL-2022 — параметры
- Пушка EGG-3101 — параметры
- Пушка EMG-4212 — параметры
- Пушка EGH-6210 — параметры
- Пушка EGH-8201 — параметры
- Паспорт пушки EGG-3103 — сменный узел и блок питания
- Руководство по неисправностям — общие таблицы
- Ионные пушки — каталог и параметры
- Ионная пушка IMG-4212 — параметры
- Ионная пушка ILG-6 — параметры
- Ионная пушка IGS-4 — параметры
- Детекторы пучка — цилиндры Фарадея и экраны
- Люминофорные экраны — параметры
- Катоды и эмиттеры — обзор типов
- Катоды ES-423E — параметры
- Катод ES-462 — зажимное крепление
- Катод ES-423GR — охранное кольцо
- Катоды для микроскопов — основания
- Катоды с оксидом бария — параметры
- Танталовые катоды — параметры
- Катоды с оксидом иттрия — параметры
- Вакуумные камеры — конструкция и материалы
- Детали для сборки в вакууме — описание набора
