中科科仪KYKY分子泵与真空系统

中科科仪（KYKY Technology）是北京的真空设备制造商，成立于1958年，产品包括脂润滑、油润滑和磁悬浮涡轮分子泵、旋片泵、分子泵机组、插板阀、检漏仪和真空计。

FF系列脂润滑涡轮分子泵

KYKY FF-100/110、FF-160/700、FF-200/1300和FF-250/2000采用自密封脂润滑陶瓷轴承，可任意方向安装，正常工况下每3–5年维护一次。FF-250/2000氮气抽速2000 L/s，转速24,000转/分；FF-100/110抽速110 L/s，转速42,300转/分。

陶瓷轴承脂润滑
每3–5年维护一次
氮气抽速110–2000 L/s
FF-250/2000控制器TCDP-II

FF-63/80、FF-100/150和FF-100/300仪器分子泵

KYKY紧凑型仪器分子泵用于质谱仪和表面分析仪器，可配多种前级泵，任意位置安装，转速可调。FF-63/80转速72,000转/分，FF-100/300氮气抽速260 L/s。

转速最高72,000转/分
氮气抽速最高260 L/s
任意位置安装
控制器TCP-100或TCP-240

FF-160/620与F-400/3500B油润滑分子泵

KYKY油润滑涡轮分子泵适应高温、粉尘等恶劣环境，用于离子注入、PVD、CVD、电子束焊接和真空炉。FF-160/620氮气抽速600 L/s，转速36,000转/分；F-400/3500B抽速3500 L/s，转速13,500转/分。

氮气抽速600–3500 L/s
F-400/3500B进气口DN400
F-400/3500B重量130 kg
适应高温粉尘环境

CXF系列磁悬浮分子泵

KYKY CXF-200/1401E、CXF-250/2301E和CXF-320/3001E采用五轴主动磁悬浮轴承，无需润滑。转子由高强度铝合金与碳纤维复合制成，配有电加热器和温控器，适合刻蚀工艺气体。抽速1400–3200 L/s，转速24,000–33,000转/分。

五轴主动磁悬浮
空气抽速1400–3200 L/s
转速24,000–33,000转/分
含控制器重量51–75 kg

RV-2至RV-24旋片真空泵

KYKY RV系列直联高速旋片泵可单独使用，也可作为扩散泵、罗茨泵和分子泵的前级泵。50 Hz时抽速2–24 L/s，转速1420转/分，极限压力4×10⁻² Pa。配有防返油止回阀、压力供油系统和气镇阀。

50 Hz抽速2–24 L/s
转速1420转/分
用油量1.1–6.5 L
噪声50–58 dB

FJ-80、FJ-110、FJ-620、FJ-700分子泵机组

KYKY机组由分子泵和机械泵组成，配机架、电气控制和水冷保护。FJ-80以FF-63/80为核心，抽速62 L/s，重量21 kg；FJ-620配RV-6机械泵和ZDF-11B5复合真空计，系统漏率不大于1×10⁻⁹ Pa·m³/s。

机组抽速62–700 L/s
FJ-80重量21 kg
FJ-700重量135 kg
FJ-620电源380 V

CC、CCD、CCQ超高真空插板阀

KYKY插板阀口径DN35–DN400，有手动（CC）、电动（CCD）和气动（CCQ）三种驱动。阀体和阀板为304不锈钢，驱动采用316L不锈钢焊接波纹管，阀板以氟橡胶垫密封。漏率不大于1.3×10⁻¹⁰ Pa·m³/s，烘烤温度最高150 °C。

口径DN35–DN400
漏率≤1.3×10⁻¹⁰ Pa·m³/s
316L焊接波纹管
烘烤最高150 °C

ZQJ-2000与ZQJ-3200氦质谱检漏仪

KYKY ZQJ-2000最小可检漏率2×10⁻¹¹ Pa·m³/s，最大进口压力1000 Pa，重量80 kg，可选油泵或干泵作前级。ZQJ-3200为微处理器控制，真空法最小可检漏率5×10⁻¹³ Pa·m³/s，也可吸枪检漏，重量44 kg。

ZQJ-3200漏率5×10⁻¹³
ZQJ-3200进口压力2500 Pa
响应时间≤2秒
ZQJ-2000重量80 kg

按用途选择KYKY分子泵

质谱仪和表面分析仪器可选带一体化驱动模块的FF-63/80、FF-100/150和FF-100/300仪器分子泵。太阳能电池、Low-E和ITO玻璃镀膜、加速器、等离子体设备和真空检漏可选脂润滑分子泵，抽速从FF-100/110的110 L/s到FF-250/2000的2000 L/s（氮气）。

高温粉尘环境、真空炉和电子束焊接可选油润滑FF-160/620和F-400/3500B。刻蚀、CVD、PVD和离子注入中的腐蚀性气体由CXF磁悬浮分子泵（1400–3200 L/s）抽除，配加热和氮气保护。RV-2至RV-24旋片泵作前级泵，FJ机组将各部件集成在一个机架上。

插板阀、检漏仪与真空计

CC、CCD和CCQ插板阀口径DN35–DN400，手动、电动或气动驱动，阀体为304不锈钢，波纹管为316L不锈钢，漏率不大于1.3×10⁻¹⁰ Pa·m³/s。ZQJ-2000氦质谱检漏仪最小可检漏率2×10⁻¹¹ Pa·m³/s，ZQJ-3200真空法可达5×10⁻¹³ Pa·m³/s。

ZDF-11B5和ZDF-62B5复合真空计测量范围分别为1.0×10⁵至1.0×10⁻⁵ Pa和至1.0×10⁻⁷ Pa，精度±1%；ZDR-12/06B和ZDZ-52T/07B为面板安装式，带0–5 V模拟输出。

中科科仪的制造

北京中科科仪股份有限公司（简称中科科仪，英文KYKY Technology）成立于1958年，前身为中国科学院北京科学仪器研制中心。公司研制出我国第一台涡轮分子泵、第一台商用氦质谱检漏仪和第一台扫描电子显微镜。

KYKY分子泵应用于质谱仪和表面分析仪、光学镀膜、平板显示和离子刻蚀等领域。

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