VAT Group: вакуумные клапаны — шиберные, маятниковые, передаточные и регулирующие

Шиберные, маятниковые, щелевые передаточные, угловые, регулирующие и цельнометаллические клапаны VAT Group, сильфоны и подъёмники пластин. Подбор серии и расчёт под проект.

Шиберные затворы VAT серий 01.0–19.2

Шиберный затвор полностью открывает сечение и имеет малую строительную глубину. Серия 14.0 с механизмом VATLOCK уплотняет без трения по уплотнению шибера, работает без смазки и выпускается от DN 63 до DN 400. До первого обслуживания она рассчитана на 200 000 циклов.

Механизм VATLOCK без смазки
Серия 14.0: размеры DN 63–400
Ресурс до обслуживания 200 000 циклов
Уплотнения шибера и крышки FKM

Маятниковые затворы VAT 16.2, 16.8, 65.3, 65.5

В маятниковом затворе шибер выводится из сечения поворотом, разъёмный корпус позволяет обслуживать затвор на месте. Серия 16.8 работает с механизмом VATLOCK. Регулирующий затвор 65.5 размером DN 250 имеет 32-битный контроллер привода и подогрев корпуса до 120 °C.

Разъёмный корпус для обслуживания
Серия 65.5: размер DN 250
Подогрев корпуса до 120 °C
Контроллер привода 32 бит

Передаточные щелевые затворы VAT

Передаточные затворы прямоугольного сечения соединяют вакуумные камеры, через них проходят подложки. В серии 04.3 с механизмом L-MOTION шибер с вулканизированным уплотнением, ввод вала герметизирован сварным сильфоном. До первого обслуживания серия рассчитана на 3 млн циклов.

Серия 04.3 с механизмом L-MOTION
Уплотнения шибера FKM или FFKM
Сильфонный ввод вала
Затворы MONOVAT для дисплеев

Угловые и проходные клапаны VAT

Угловые, проходные и цилиндрические клапаны служат для откачки, процесса и напуска. Серия 24.4 с фланцами ISO-KF и ISO-K бывает нормально закрытой, нормально открытой или двустороннего действия, изготавливались размеры до DN 800. Серия 29.0 откачивает и напускает без турбулентности.

Серия 24.4: размеры до DN 800
Фланцы ISO-KF и ISO-K
Привод NC, NO или двусторонний
Плавная откачка: серия 29.0

Регулирующие дроссельные клапаны VAT

Дроссельный клапан 61.3 регулирует давление на выходе камеры в процессах CVD и ALD и остаётся работоспособным при большой нагрузке частицами. Контроллер движения отрабатывает за 0,1 с, ресурс в режиме регулирования — 2 млн циклов. Серии 61.6 и 95.3 совмещают регулирование и изоляцию.

Отклик контроллера 0,1 с
Ресурс 2 млн циклов регулирования
Эластомеры FKM, по запросу FFKM
Алгоритмы: адаптивный и PI

Цельнометаллические и быстрозапорные клапаны VAT

В цельнометаллических клапанах VAT в зоне контакта с процессом нет эластомеров: металл уплотняется по металлу, допускается высокий прогрев и радиация. Быстрозапорные клапаны 75.0 и затворы 77.1 защищают ускорители и накопительные кольца от прорыва воздуха, серия 79.0 перекрывает пучок.

Без эластомеров в зоне процесса
Уплотнение металл по металлу
Защита ускорителей: серия 75.0
Затвор пучка: серия 79.0

Дозирующие и предохранительные клапаны VAT

Клапаны 21.1, 62.7 и 62.8 задают воспроизводимый поток газа в вакуумную камеру, мембранный клапан 22.0 работает с газами и жидкостями, натекатель 59.0 рассчитан на сверхвысокий вакуум. Клапан 21.2 защищает систему от избыточного давления, 21.3 управляет напуском.

Дозирование газа: 21.1, 62.7, 62.8
Мембранный клапан 22.0
Натекатель 59.0 из металла
Сброс давления: клапан 21.2

Сильфоны, подъёмники пластин и фланцы VAT

Сварные сильфоны VAT служат гибкими уплотнительными элементами и компенсаторами вибрации, их делают в Швейцарии в чистых помещениях ISO 5–8. Подъёмник пластин 98.0 состоит из трёх приводов на бесколлекторных двигателях с тормозом и энкодером, ход 15, 30 или 60 мм.

Чистые помещения ISO 5–8
Ход подъёмника 15, 30 или 60 мм
Прокладки чистоты ISO 6
Фланцы ISO-KF, ISO-K, ISO-F, CF

Как выбрать вакуумный клапан VAT

Выбор начинается с задачи клапана.

Для изоляции камер и насосов VAT выпускает шиберные и маятниковые затворы, для передачи подложек между камерами — щелевые передаточные затворы, для откачки и напуска — угловые и проходные клапаны, для регулирования давления — дроссельные и маятниковые регулирующие клапаны со встроенным контроллером.

Для сверхвысокого вакуума, прогрева и радиации предназначены цельнометаллические клапаны, для подачи газа — дозирующие клапаны и натекатели, для защиты системы — предохранительные клапаны и клапаны напуска.

Шиберные затворы для изоляции

Шиберный затвор полностью открывает сечение и имеет малую строительную глубину. Серия 14.0 с механизмом VATLOCK уплотняет без трения по уплотнению шибера, работает без смазки, выпускается размерами от DN 63 до DN 400 и рассчитана на 200 000 циклов до первого обслуживания.

Затворы выпускают с ручным, пневматическим и трёхпозиционным пневматическим приводом, электромагнитный клапан штатно на 24 В постоянного тока. Уплотнения крышки и шибера — FKM.

Маятниковые затворы и регулирование давления

Серия 16.2 работает с пневмоприводом одностороннего действия или трёхпозиционным, серия 16.8 — с механизмом VATLOCK. Регулирующий затвор 65.5 размером DN 250 рассчитан на коррозионное травление с высоким давлением и малым потоком; шибер прижимается к седлу запатентованной прижимной планкой.

Дроссельный клапан 61.3 регулирует давление в процессах CVD и ALD, контроллер движения отрабатывает за 0,1 с, ресурс в режиме регулирования — 2 млн циклов. Контроллеры подключаются по RS232, RS485, DeviceNet, Ethernet, Profibus, CC-Link или EtherCAT.

Передаточные затворы

Передаточные затворы прямоугольного сечения соединяют вакуумные камеры, через них проходят подложки. Серия 04.3 с механизмом L-MOTION имеет шибер с вулканизированным уплотнением, сильфонный ввод вала и рассчитана на 3 млн циклов до первого обслуживания.

Затворы MONOVAT серии 02.4 работают на линиях производства дисплеев и солнечных панелей до поколения 6.

Цельнометаллические клапаны для сверхвысокого вакуума

В цельнометаллических клапанах нет эластомеров в зоне контакта с процессом, металл уплотняется по металлу, допускается высокий прогрев и радиация. Угловые клапаны 57.0 и 57.1 рассчитаны на высокую температуру и радиацию.

Быстрозапорные клапаны 75.0 и затворы 77.1 защищают ускорители и накопительные кольца от прорыва воздуха, серия 79.0 перекрывает пучок ускорителей и синхротронов.

Комплектующие и обслуживание

Кроме клапанов VAT выпускает сварные сильфоны, подъёмники пластин 98.0 с ходом 15, 30 или 60 мм, фланцевые соединения ISO-KF, ISO-K, ISO-F и CF и вакуумные модули. Для серий 09.1, 10.8, 11.1 и 12.1 предлагается ресивер сжатого воздуха, который переводит клапан в аварийное положение.

Производитель держит запчасти долгое время независимо от модели клапана и предлагает модернизацию клапанов для снижения выделения частиц. Код клапана с шильдика определяет комплект уплотнений и привод.

Производитель VAT Group

VAT Group — швейцарский производитель вакуумных клапанов, работает 60 лет, с 2016 года акции обращаются на Швейцарской бирже. Заводы находятся в Швейцарии, Малайзии и Румынии, офисы продаж и сервиса — в 29 странах.

Серию, размер, привод и материал уплотнений указываем в расчёте под проект.

VAT Group и названия моделей — товарные знаки их правообладателей. Они указаны только для обозначения оборудования, для которого мы подбираем запчасти. Компания SpareX не является официальным дилером, дистрибьютором или представителем VAT Group и не связана с правообладателем. Происхождение, документы и гарантия указываются по каждой позиции в коммерческом предложении.