СВЧ-генераторы и источники плазмы MUEGGE

MUEGGE — производитель промышленного СВЧ- и плазменного оборудования из Райхельсхайма (Германия): генераторы 915 и 2450 МГц, источники питания, магнетроны, источники плазмы, плазменные установки и волноводные узлы.

СВЧ-генераторы 915 МГц MG030KG и MG050KG

MG030KG-511KE и MG050KG-511KE — шкафные генераторы 915 МГц мощностью 30 и 50 кВт с импульсным источником питания. Сеть 480 В, три фазы, воздушно-водяное охлаждение, защита IP54, выход на волновод WR975, управление с панели, по EtherCAT и аналоговому интерфейсу.

Частота 915 МГц
Мощность 30 и 50 кВт
Защита шкафа IP54
Выход на волновод WR975

Магнетронные головки MH на 2450 и 915 МГц

Головка работает в паре с источником питания: к MX3000D-170KL относятся три исполнения MH3000S. MH3000S — 3 кВт на 2450 МГц, импульс до 6 кВт, коаксиальный выход, встроенный изолятор. Ряд на 2450 МГц — от MH1250S на 1,25 кВт до MH010KS на 10 кВт, на 915 МГц — MH0915I на 75 и 100 кВт.

Частоты 2450 и 915 МГц
Мощность 1,25–100 кВт
Импульс MH3000S до 6 кВт
Изолятор в головке MH3000S

Источники питания магнетронов MX и MC

Импульсные источники питания серии MX выпускаются с 1998 года. MX3000D-170KL — 3 кВт на 2450 МГц, сеть 208 В, интерфейсы CAN и аналоговый, корпус 484 × 128 × 607 мм; MX6000D — 6 кВт. LC-стабилизированный MC3000B-115AA рассчитан на 3 кВт и сеть 380 В.

Серия MX с 1998 года
Мощность 3 и 6 кВт
Интерфейсы CAN и аналоговый
Стабилизация LC у MC3000B

Промышленные магнетроны 915 и 2450 МГц

Магнетроны L-диапазона (915 МГц) выпускаются мощностью от 5 до 100 кВт, S-диапазона (2450 МГц) — от 800 Вт до 15 кВт. Кроме стандартных OEM-магнетронов MUEGGE делает переделанные под действующие установки, например с водяным охлаждением. MB2658A-110FH — 3 кВт на 2450 МГц.

Диапазон L: 5–100 кВт
Диапазон S: 0,8–15 кВт
Переделка охлаждения
Магнетрон MB2658A на 3 кВт

Удалённый источник плазмы RPS

RPS выпускается с 2010 года — готовая СВЧ-система для вакуумной камеры: магнетрон 2,45 ГГц, волновод и антенна, поджиг в керамической чаше без аргона. По данным производителя, при 1–6 торр, расходе 500–5000 см³/мин и 400–3000 Вт отражение в диапазоне 2–3 кВт ниже 5 %.

Частота 2,45 ГГц
Мощность до 3 кВт
Давление 1–6 торр
Отражение ниже 5 %

Плазменные матрицы и атмосферные источники

Плазменные матрицы MA4000Y для травления и осаждения дают зону 320 × 320 мм при 2–3 кВт на 2450 МГц, сдвоенная — 338 × 408 мм. Атмосферный источник MA6000A рассчитан на 6 кВт и 2450 МГц, MA075KA — на 75 кВт и 915 МГц; выносной источник MA100KD — 100 кВт на 915 МГц.

Зона 320 × 320 мм
Матрица 2–3 кВт
Атмосферный до 75 кВт
Выносной на 100 кВт

Установки вскрытия корпусов и удаления резиста

Установки вскрытия корпусов микросхем MA3000D рассчитаны на серийное производство: камера 320 × 320 мм, сеть 400 В, до шести газов — кислород, азот, CF4, SF6, аргон. Лабораторные MA1250D и установки удаления резиста MA0000D имеют камеру 245 × 245 мм, сеть 208 или 480 В.

Камера 320 × 320 мм
До шести газов
Лабораторная камера 245 мм
Сеть 208–480 В

Волноводные узлы: автотюнеры, циркуляторы, нагрузки

MUEGGE и MUEGGE-Gerling делают волноводные узлы к генераторам 915, 2450 МГц и 5,8 ГГц в сечениях от WR159 до WR975. Автотюнер MW2005H-260EC — 6 кВт, WR340, фланец UDR; циркулятор MW1001B-260CC — 100 кВт на 915 МГц, WR975; водяная нагрузка MW1010E-260FC — 6 кВт, WR284.

Сечения WR159–WR975
Автотюнер на 6 кВт
Циркулятор на 100 кВт
Водяная нагрузка на 6 кВт

Подбор СВЧ-оборудования MUEGGE по частоте и мощности

СВЧ-генератор MUEGGE выбирают по частоте и мощности процесса.

Генераторы выпускаются на 2,45 ГГц и 915 МГц мощностью от 1 до 100 кВт: на 915 МГц — шкафные MG030KG и MG050KG на 30 и 50 кВт и магнетронные головки MH0915I на 75 и 100 кВт, на 2450 МГц — пары из источника питания MX и головки MH от 1,25 до 10 кВт.

Для плазменных процессов есть удалённый источник плазмы RPS на 2,45 ГГц, плазменные матрицы MA4000Y для травления и осаждения, атмосферные и выносные источники, установки вскрытия корпусов и удаления резиста.

Тракт дополняют волноводные узлы в сечениях от WR159 до WR975 и магнетроны L- и S-диапазонов.

Производитель и площадки группы MUEGGE

История MUEGGE начинается в 1979 году, MUEGGE GmbH основана в 1986 году; штаб-квартира и производство — в Райхельсхайме (Оденвальд, Германия), три здания общей площадью 3500 м². С 2020 года компания принадлежит HQ Equita.

В группу входят Gerling Applied Engineering (Модесто, США) с 2015 года, выпускающая волноводные узлы под маркой MUEGGE-Gerling, итальянская LEANFA с 2022 года и MUEGGE Asia Pacific в Сингапуре, основанная в 2023 году.

MUEGGE и названия моделей — товарные знаки их правообладателей. Они указаны только для обозначения оборудования, для которого мы подбираем запчасти. Компания SpareX не является официальным дилером, дистрибьютором или представителем MUEGGE и не связана с правообладателем. Происхождение, документы и гарантия указываются по каждой позиции в коммерческом предложении.