MUEGGE微波发生器与等离子源

MUEGGE是德国赖歇尔斯海姆的工业微波和等离子设备制造商，产品包括915兆赫和2450兆赫微波发生器、电源、磁控管、等离子源、等离子设备和波导元件。

MG030KG与MG050KG 915兆赫微波发生器

MG030KG-511KE与MG050KG-511KE为柜式915兆赫微波发生器，输出功率30千瓦和50千瓦，采用开关电源。供电480伏三相，风冷加水冷，防护等级IP54，WR975波导输出，可通过操作面板、EtherCAT和模拟接口控制。

频率915兆赫
功率30和50千瓦
机柜防护IP54
WR975波导输出

2450兆赫与915兆赫MH磁控管头

磁控管头与电源配套使用：MX3000D-170KL对应三种MH3000S型号。MH3000S在2450兆赫下输出3千瓦，脉冲最高6千瓦，同轴输出并内置隔离器。2450兆赫系列从1.25千瓦的MH1250S到10千瓦的MH010KS，915兆赫的MH0915I输出75千瓦和100千瓦。

频率2450和915兆赫
功率1.25～100千瓦
MH3000S脉冲至6千瓦
MH3000S内置隔离器

MX与MC磁控管电源

MX系列开关电源自1998年起生产。MX3000D-170KL在2450兆赫下输出3千瓦，供电208伏，配CAN总线和模拟接口，外形尺寸484×128×607毫米；MX6000D输出6千瓦。LC稳压型MC3000B-115AA额定3千瓦，供电380伏。

MX系列始于1998年
功率3和6千瓦
CAN总线与模拟接口
MC3000B为LC稳压型

915兆赫与2450兆赫工业磁控管

L波段（915兆赫）磁控管功率5～100千瓦，S波段（2450兆赫）功率800瓦～15千瓦。除标准OEM磁控管外，MUEGGE还为现有设备提供改型磁控管，例如由风冷改为水冷。MB2658A-110FH在2450兆赫下输出3千瓦。

L波段5～100千瓦
S波段0.8～15千瓦
风冷改水冷
MB2658A功率3千瓦

RPS远程等离子源

RPS自2010年起生产，作为完整的微波系统接入真空腔：2.45吉赫磁控管、波导和天线，在陶瓷杯内点火，无需氩气。制造商测试条件为1～6托、500～5000 sccm、400～3000瓦，2～3千瓦范围内反射功率低于5%。

频率2.45吉赫
功率至3千瓦
压力1～6托
反射低于5%

大面积等离子阵列与常压等离子源

MA4000Y等离子阵列用于刻蚀和沉积，在2450兆赫、2～3千瓦下处理面积320×320毫米，双源型为338×408毫米。MA6000A常压等离子源功率6千瓦、频率2450兆赫，MA075KA为75千瓦、915兆赫；MA100KD下游等离子源为100千瓦、915兆赫。

处理面积320×320毫米
阵列功率2～3千瓦
常压源至75千瓦
下游源100千瓦

等离子开封与去胶设备

MA3000D芯片开封设备面向量产：腔体320×320毫米，供电400伏，最多6路工艺气体，包括O2、N2、CF4、SF6和Ar。研发型MA1250D和MA0000D去胶设备腔体为245×245毫米，供电208伏或480伏。

腔体320×320毫米
最多6路气体
研发型腔体245毫米
供电208～480伏

波导元件：自动调谐器、环行器与负载

MUEGGE与MUEGGE-Gerling为915兆赫、2450兆赫和5.8吉赫微波发生器制造波导元件，规格从WR159到WR975。MW2005H-260EC自动调谐器功率6千瓦、WR340、UDR法兰；MW1001B-260CC环行器为915兆赫、100千瓦、WR975；MW1010E-260FC水负载为6千瓦、WR284。

波导规格WR159～WR975
自动调谐器6千瓦
环行器100千瓦
水负载6千瓦

按频率和功率选择MUEGGE微波设备

MUEGGE微波发生器按工艺频率和功率选型。发生器频率为2.45吉赫和915兆赫，功率1～100千瓦：915兆赫有30千瓦和50千瓦的MG030KG、MG050KG柜式发生器以及75千瓦和100千瓦的MH0915I磁控管头；2450兆赫为MX电源与MH磁控管头组合，功率1.25～10千瓦。

等离子工艺可选2.45吉赫RPS远程等离子源、用于刻蚀和沉积的MA4000Y等离子阵列、常压和下游等离子源，以及芯片开封和去胶设备。传输线路配有WR159～WR975规格的波导元件和L、S波段磁控管。

MUEGGE制造商与集团基地

MUEGGE的历史始于1979年，MUEGGE GmbH成立于1986年；总部和生产基地位于德国奥登瓦尔德地区的赖歇尔斯海姆，共3栋建筑，总面积3500平方米。自2020年起公司归HQ Equita所有。

集团成员包括2015年加入的美国莫德斯托Gerling Applied Engineering（以MUEGGE-Gerling名义制造波导元件）、2022年加入的意大利LEANFA，以及2023年在新加坡成立的MUEGGE Asia Pacific。

MUEGGE及型号名称为其各自权利人的商标，仅用于说明我们为之寻找配件的设备。SpareX 不是MUEGGE的官方经销商、分销商或代表，与商标权利人无关联。每项产品的来源、文件和质保在报价单中逐项说明。