VAT Group真空阀：闸阀、摆阀、传输阀与控制阀

VAT Group闸阀、摆阀、狭缝传输阀、角阀、控制阀和全金属阀，以及波纹管和晶圆升降系统。按项目选型并提供报价。

VAT闸阀01.0至19.2系列

闸阀可完全打开通径，安装深度小。14.0系列采用VATLOCK机构，闸板密封无摩擦，无需润滑，口径DN 63至DN 400，首次维护前可运行200,000次循环。

VATLOCK机构，无润滑
14.0系列口径：DN 63–400
首次维护前200,000次循环
闸板与阀盖密封：FKM

VAT摆阀16.2、16.8、65.3、65.5

摆阀的闸板通过旋转移出通径，分体式阀体便于现场维护。16.8系列采用VATLOCK机构。65.5控制摆阀口径DN 250，配32位执行器控制器，阀体加热温度可达120 °C。

分体式阀体，现场维护
65.5系列口径：DN 250
阀体加热：最高120 °C
32位执行器控制器

VAT传输阀与狭缝阀

矩形通径传输阀用于连接真空腔室，基片从阀中通过。04.3系列采用L-MOTION技术，闸板配硫化密封，轴馈通由焊接金属波纹管密封，首次维护前可运行300万次循环。

04.3系列，L-MOTION技术
闸板密封：FKM或FFKM
波纹管密封轴馈通
MONOVAT阀用于显示面板

VAT角阀与直通阀

角阀、直通阀和气缸阀用于抽气、工艺和放气。24.4系列配ISO-KF和ISO-K法兰，可选常闭、常开或双作用，已生产的最大口径达DN 800。29.0系列抽气和放气时无湍流。

24.4系列口径：最大DN 800
ISO-KF与ISO-K法兰
常闭、常开或双作用
软抽气：29.0系列

VAT蝶式控制阀

61.3蝶式控制阀用于CVD和ALD工艺的下游压力控制，在高颗粒负荷下仍可正常工作。运动控制器响应时间0.1秒，压力控制模式首次维护前可运行200万次循环。61.6和95.3系列兼具控制与隔离功能。

控制器响应：0.1秒
压力控制200万次循环
密封FKM，可选FFKM
自适应与固定PI算法

VAT全金属阀与快速关闭阀

VAT全金属阀与工艺接触区域无任何弹性体，采用金属对金属密封，可承受高温烘烤和辐射。75.0快速关闭阀和77.1快速关闭挡板保护加速器和储存环免受空气涌入，79.0系列用于阻挡束流。

工艺接触区无弹性体
金属对金属密封
加速器保护：75.0系列
束流阻挡器：79.0系列

VAT气体定量阀与泄压阀

21.1、62.7和62.8阀向真空腔室提供可重复的气体流量，22.0隔膜阀适用于气体和液体，59.0全金属可变泄漏阀用于超高真空。21.2泄压阀防止系统超压，21.3阀用于受控放气。

气体定量：21.1、62.7、62.8
22.0隔膜阀
59.0全金属泄漏阀
21.2泄压阀

VAT波纹管、晶圆升降与法兰

VAT焊接金属波纹管用作柔性密封元件和减振管道连接件，在瑞士ISO 5–8级洁净室生产。98.0晶圆升降系统由三个升降单元组成，采用带制动器和编码器的无刷直流电机，行程15、30或60 mm。

洁净室等级：ISO 5–8
升降行程：15、30或60 mm
垫片洁净度：ISO 6级
ISO-KF、ISO-K、ISO-F、CF法兰

如何选择VAT真空阀

选型首先取决于阀门用途。隔离腔室和泵可选闸阀和摆阀，腔室之间传送基片可选狭缝传输阀，抽气和放气可选角阀和直通阀，压力控制可选带集成控制器的蝶式控制阀和控制摆阀。

超高真空、烘烤和辐射工况选用全金属阀，供气选用气体定量阀和泄漏阀，系统保护选用泄压阀和放气阀。

隔离用闸阀

闸阀可完全打开通径，安装深度小。14.0系列采用VATLOCK机构，闸板密封无摩擦，无需润滑，口径DN 63至DN 400，首次维护前可运行200,000次循环。

执行方式有手动、气动和三位气动，电磁阀标准电压24 VDC。阀盖和闸板密封为FKM。

摆阀与压力控制

16.2系列采用单作用或三位气动执行器，16.8系列采用VATLOCK机构。65.5控制摆阀口径DN 250，适用于高工艺压力、低流量的腐蚀性刻蚀；专利压条将闸板均匀压紧在阀座上。

61.3蝶式控制阀用于CVD和ALD工艺的压力控制，运动控制器响应时间0.1秒，压力控制模式可运行200万次循环。控制器接口包括RS232、RS485、DeviceNet、Ethernet、Profibus、CC-Link和EtherCAT。

传输阀

矩形通径传输阀用于连接真空腔室，基片从阀中通过。04.3系列采用L-MOTION技术，闸板配硫化密封，轴馈通由波纹管密封，首次维护前可运行300万次循环。

MONOVAT 02.4传输阀用于第6代及以下的显示面板和光伏生产设备。

超高真空全金属阀

全金属阀与工艺接触区域无弹性体，采用金属对金属密封，可承受高温烘烤和辐射。57.0和57.1全金属角阀适用于极端温度和辐射工况。

75.0快速关闭阀和77.1快速关闭挡板保护加速器和储存环免受空气涌入，79.0系列用于阻挡加速器和同步辐射装置的束流。

配套部件与维护

除阀门外，VAT还生产焊接金属波纹管、行程15、30或60 mm的98.0晶圆升降系统、ISO-KF、ISO-K、ISO-F和CF法兰连接件以及真空模块。09.1、10.8、11.1和12.1系列可选压缩空气安全蓄能器，在断气时将阀门移至设定的紧急位置。

制造商长期供应各型号备件，并提供改善颗粒性能的升级方案。铭牌上的阀门型号决定密封套件和执行器。

制造商VAT Group

VAT Group是瑞士真空阀制造商，经营已有60年，自2016年起在瑞士证券交易所上市。工厂位于瑞士、马来西亚和罗马尼亚，在29个国家设有销售和服务机构。

系列、口径、执行器和密封材料在项目报价中说明。

VAT Group及型号名称为其各自权利人的商标，仅用于说明我们为之寻找配件的设备。SpareX 不是VAT Group的官方经销商、分销商或代表，与商标权利人无关联。每项产品的来源、文件和质保在报价单中逐项说明。