Kimball Physics电子枪、离子枪与阴极

Kimball Physics是美国超高真空电子与离子光学制造商，成立于1969年，产品包括100千电子伏以下电子枪、离子枪、六硼化镧阴极、圆盘阴极和束流探测器。

ELG-2与EGL-2022低能电子枪

ELG-2配EGPS-1022电源，电子束能量1电子伏至2千电子伏，束流1纳安至10微安，束斑0.5至5毫米。EGL-2022能量50电子伏至5千电子伏，束流最高100微安。变焦透镜在能量变化时保持束流恒定。两款电子枪用于表面物理和电荷中和。

ELG-2能量1电子伏至2千电子伏
ELG-2束流最高10微安
EGL-2022能量最高5千电子伏
EGL-2022可烘烤至350摄氏度

EGG-3101与EMG-4212中能电子枪

EGG-3101配EGPS-3101电源，能量100电子伏至10千电子伏；EMG-4212配EGPS-4212电源，能量1至30千电子伏。采用六硼化镧阴极时束斑可小至60和100微米，大束流选项最高1毫安。发射单元可由用户自行更换。

EGG-3101能量最高10千电子伏
EMG-4212能量最高30千电子伏
EGG-3101束斑小至60微米
束流最高1毫安

EGH-6210与EGH-8201高能电子枪

EGH-6210采用六硼化镧阴极，能量1至60千电子伏，束流10微安至5毫安，束斑小至50微米。EGH-8201采用圆盘阴极，能量10至100千电子伏，束流最高1毫安，脉冲最高20毫安，束斑1至100毫米。聚焦采用磁透镜。

EGH-6210能量最高60千电子伏
EGH-6210束斑小至50微米
EGH-8201能量最高100千电子伏
脉冲束流最高20毫安

ES-423E、ES-462与ES-423GR六硼化镧阴极

单晶六硼化镧阴极用于扫描和透射电子显微镜、电子束光刻和X射线源。ES-423E在显微镜中连续工作可超过6个月。夹持式安装的ES-462可承受超过10000次温度循环。ES-423GR带保护环，发射面直径10至250微米。

ES-423E连续工作超过6个月
电流密度15安每平方厘米
ES-462温度循环10000次
ES-423GR发射面10至250微米

钽、氧化钡及氧化钇涂层铱圆盘阴极

钽圆盘阴极ES-042、ES-044和ES-046为通用型阴极。氧化钡涂层阴极ES-015、ES-064和ES-066可低温工作，发射电流最高3毫安。氧化钇涂层铱圆盘阴极ES-526、ES-529和ES-535抗氧化，发射电流最高10毫安。

圆盘直径三种规格
氧化钡阴极最高3毫安
氧化钇阴极最高10毫安
AEI与CB-104底座

IMG-4212、ILG-6、IGS-4离子枪与束流探测器

离子枪采用碱金属离子源：IMG-4212能量1至20千电子伏，ILG-6能量10电子伏至1千电子伏，IGS-4能量50电子伏至5千电子伏，束流1纳安至2微安。束流由法拉第杯和荧光屏监测，荧光屏可烘烤至350摄氏度。

离子能量10电子伏至20千电子伏
束流1纳安至2微安
束斑500微米至25毫米
荧光屏可烘烤至350摄氏度

Kimball Physics电子枪选型

电子枪按束流能量、束流和束斑尺寸选型。产品覆盖能量1电子伏至100千电子伏，束流1纳安至20毫安，束斑15微米至500毫米以上。5千电子伏以下低能型号为ELG-2和EGL-2022，30千电子伏以下中能型号为EGG-3101和EMG-4212，100千电子伏以下高能型号为EGH-6210和EGH-8201。

小束斑需采用六硼化镧阴极：EGG-3101可小至60微米，EGH-6210可小至50微米。每台电子枪配套EGPS系列电源，作为完整子系统直接安装在真空系统上；发射单元可由用户自行更换。

阴极与离子枪

六硼化镧阴极ES-423E、ES-462和ES-423GR用于扫描和透射电子显微镜、电子束光刻和X射线源。圆盘阴极有钽、氧化钡涂层和氧化钇涂层铱三种，配AEI和CB-104底座。

IMG-4212、ILG-6和IGS-4离子枪采用碱金属离子源，能量10电子伏至20千电子伏，束流1纳安至2微安。束流由法拉第杯和荧光屏监测。

Kimball Physics的制造

Kimball Physics于1969年在美国新罕布什尔州威尔顿成立，创始人此前任麻省理工学院教授。公司制造超高真空电子与离子光学部件、阴极、探测器和真空硬件。

真空腔体由整块316L不锈钢加工而成，eV零件套件包含350多种标准零件。产品用于电子显微镜、半导体设备、加速器和航天设备。

Kimball Physics及型号名称为其各自权利人的商标，仅用于说明我们为之寻找配件的设备。SpareX 不是Kimball Physics的官方经销商、分销商或代表，与商标权利人无关联。每项产品的来源、文件和质保在报价单中逐项说明。