Allwin21半导体工艺设备

Allwin21是美国半导体设备制造商，总部位于加利福尼亚州摩根希尔，成立于2000年，产品包括AccuThermo快速退火设备、等离子去胶和刻蚀设备、AccuSputter溅射设备及AWgage测量仪。

AccuThermo AW610M台式快速退火设备

AW610M为半自动常压快速热处理设备，适用于最大6英寸晶圆，基于AG Associates Heatpulse 610平台。上下共21支Ushio灯管加热，分6个控制区，热电偶测温至840 °C，高温计测温至1250 °C，升温速率10～120 °C/秒，最多6路气路。

晶圆最大6英寸
21支灯管6区加热
升温10～120 °C/秒
高温计测温至1250 °C

AccuThermo AW820M与AW820V快速退火设备

AW820M为落地式半自动快速热处理设备，适用于最大8英寸晶圆：27支灯管分10个控制区，典型稳态温度150～1150 °C，最高1250 °C，单步工艺时间最长9999秒。AW820V为真空型，可配干泵或干泵加涡轮分子泵。

晶圆最大8英寸
27支灯管10区加热
最高温度1250 °C
AW820V真空腔体

AW820R、AW820RV与AW1230R全自动快速退火设备

AW820R为全自动常压快速热处理设备，适用于3～8英寸晶圆，配机器人传片、石英隔离管和高温计控温。升温速率可编程至250 °C/秒，典型稳态温度400～1150 °C。AW820RV为真空型，AW1230R适用于12英寸晶圆。

晶圆3～8英寸
升温至250 °C/秒
机器人自动传片
AW1230R用于12英寸晶圆

AW-105R与AW-10R下游式等离子去胶机

单片下游式等离子去胶设备，用于低损伤去残胶和表面清洗。AW-105R适用于2～6英寸晶圆，射频电源300瓦或600瓦；AW-10R适用于4～8英寸晶圆，射频电源600瓦或1000瓦，频率均为13.56兆赫。晶圆由集成三轴机械手传送。

晶圆2～8英寸
射频频率13.56兆赫
功率300～1000瓦
三轴机械手传片

AW-B3000桶式等离子去胶机

AW-B3000为台式半自动批量等离子去胶、清洗和刻蚀设备。石英反应腔直径12英寸、深23英寸，可处理小样品至8英寸晶圆；射频电源600瓦、1000瓦或1200瓦，频率13.56兆赫，配1～4路气路，手动装片。

反应腔12×23英寸
样品至8英寸晶圆
射频功率至1200瓦
批量处理

AW-303R与AW-901eR/903eR等离子刻蚀机

AW-303R为全自动下游式各向同性等离子刻蚀设备，适用于2～6英寸晶圆，射频功率最大650瓦，工艺气体为NF3、O2和He。AW-901eR与AW-903eR为经量产验证的等离子刻蚀和反应离子刻蚀平台，可进行各向同性或各向异性干法刻蚀。

晶圆2～6英寸
射频功率至650瓦
各向同性刻蚀
反应离子刻蚀

AccuSputter AW4450与AW4480溅射镀膜设备

AW4450（半自动）与AW4480（全自动）为射频、直流和脉冲直流磁控溅射设备，基于4400/4410/4450平台。配真空进样室和旋转基片台，最多3个Delta阴极或4个8英寸圆形阴极，支持反应溅射和共溅射。

基片最大8英寸
最多4个阴极
真空进样室
射频与直流溅射

AWgage-150与AWgage-200方块电阻测量仪

台式非接触导电薄膜方块电阻测量系统，采用涡流法，已知材料电阻率时可计算膜厚。AWgage-150适用于2～6英寸晶圆，AWgage-200适用于4～8英寸晶圆，可单点、5点或9点测量，触摸屏操作。

涡流测量法
晶圆2～8英寸
单点、5点或9点测量
电源110/220伏

按工艺和晶圆尺寸选择Allwin21设备

设备按工艺和晶圆尺寸选型。快速热处理（掺杂激活、氧化与氮化、接触退火）选用AccuThermo系列：AW610M适用于最大6英寸晶圆，AW820M适用于最大8英寸晶圆，另有全自动AW820R和AW820RV，AW1230R适用于12英寸晶圆。制造商建议大多数工艺采用常压设备，只有工艺确实需要低压时才选真空设备。

去胶可选单片式AW-105R和AW-10R或批量式AW-B3000；刻蚀可选AW-303R（各向同性）和AW-901eR/903eR（反应离子刻蚀）；金属化可选AccuSputter AW4450和AW4480；导电薄膜检测可选AWgage-150和AWgage-200。

半导体材料与设备升级

AccuThermo设备可处理硅、SiC、GaN、GaAs和InP；隔离石英腔有助于保持晶圆洁净，氧传感器保护对氧敏感的工艺。Allwin21于2000年在硅谷成立，总部位于加利福尼亚州摩根希尔，2007年起为SEMI会员。

公司为老旧的Heatpulse、MPT、Matrix、Gasonics、Tegal、Branson/IPC、Lam、Perkin-Elmer和MRC设备提供升级：更换新控制器、Allwin21软件、接口板和晶圆传送机构。

Allwin21及型号名称为其各自权利人的商标，仅用于说明我们为之寻找配件的设备。SpareX 不是Allwin21的官方经销商、分销商或代表，与商标权利人无关联。每项产品的来源、文件和质保在报价单中逐项说明。