Agilent Vacuum Technologies（安捷伦/瓦里安）真空泵、检漏仪与真空组件

涵盖安捷伦（Agilent Vacuum Technologies / Varian Vacuum）涡轮分子泵、干式无油涡旋泵、溅射离子泵、旋片泵、油扩散泵、HLD 氦质谱检漏仪、真空规管及 ConFlat/KF 法兰组件的型号核对与备件选型。

TwisTorr (FS / OS) 与 Turbo-V 系列涡轮分子真空泵

安捷伦 TwisTorr FS 系列（74FS、84FS、305FS、305-IC、404FS、704FS、804FS）及工业级 Turbo-V 系列（551、1001、2300、3K-G）涡轮分子泵适用于质谱仪、粒子加速器、真空镀膜与半导体设备，极限真空达 10⁻¹⁰ mbar，并提供 TPS-compact 与 TPS-mini 移动抽气工作站。

TwisTorr 牵引分子级设计，对氢气与氦气等轻质气体具备高压缩比与高前级耐压能力
Agilent Floating Suspension (FS) 浮动悬架陶瓷轴承结构，显著降低转子振动与运行噪音
支持板载 Onboard 控制器、机架式 AG Rack 电源模块及一体化 IC 驱动控制器选型
提供 ConFlat (CF) 超高真空法兰与 ISO-K/F 法兰接口，配套风冷风扇与水冷冷却套件

IDP 与 TriScroll 系列干式无油涡旋真空泵

安捷伦 IDP 全密封系列（IDP-3、IDP-7、IDP-10、IDP-15）与 TriScroll 双级系列（TriScroll 300、TriScroll 600 及变频型号）干式无油涡旋前级泵可消除油蒸气返流，广泛用于电子显微镜、质谱分析仪、手套箱与低温恒温器。

IDP 系列采用全密封抽气腔道设计，将轴承与电机部件同真空介质完全物理隔离
IDP 紧凑型抽速覆盖 3 至 15 m³/h，TriScroll 600 双级涡旋泵抽速达 25.2 至 30 m³/h
日常预防性维保仅需按运行周期更换涡旋盘聚四氟乙烯顶端密封条（Tip Seal）
配套密封条维保包（IDP3TS、IDP7TS、IDP10TS、IDP15TS、PTSS0300MK、PTSS0600MK）与进气过滤器

VacIon Plus 溅射离子泵、StarCell 泵芯与 4UHV 控制器

安捷伦 VacIon Plus 系列溅射离子泵（抽速 20 至 500 L/s 及 0.2–10 L/s 微型离子泵）无运动部件且零振动，可获得低至 10⁻¹¹ mbar 的超高真空（UHV）与极高真空（XHV），用于同步辐射光源、表面科学分析与真空电子器件。

提供三种阴极电离结构：Diode 二极管型、钛钽阴极 Noble Diode 型以及专利 StarCell 星形单元
StarCell 开放式钛片结构具备更高的稀有气体（氩气、氦气）、氢气与甲烷抽速及使用寿命
4UHV 多通道高压控制器（可同时驱动 4 台离子泵）与 IPC Mini 控制器支持纳米安级电流与压力换算
配套钛升华泵（TSP）、CombiNEG 非蒸散型吸气剂模块、烘烤加热套与耐辐射高压电缆

DS 系列旋片式真空泵与 VHS / HS 系列油扩散真空泵

安捷伦 DS 系列双级油封旋片泵（DS 40M、DS 102、DS 202、DS 302、DS 402、DS 602）及 VHS 系列（VHS-4、VHS-6、VHS-10、VHS-250、VHS-400）与 HS 系列（HS-2、HS-16、HS-20、HS-32）油扩散泵广泛应用于真空冶金炉与大型工业镀膜生产线。

DS 系列双级旋片泵抽速覆盖 2 至 30 m³/h，内置强制油循环系统、气镇阀与防返油止回阀结构
VHS 与 HS 分馏型油扩散泵提供 150 至 32,000 L/s 高抽速，适应高气载工业抽真空工况
提供轴封小修包与大修包、转子旋片、排气油雾过滤器以及前级分子筛吸附阱
配套扩散泵加热盘与加热管组件、水冷挡油帽、冷阱以及 DS19 旋片泵专用真空油

HLD、VS、979 与 PHD-4 系列氦质谱检漏仪

安捷伦 HLD 系列氦质谱检漏仪（PR02、PD03、BD08、BR15、BD30、MR15、MD30 及工业集成型 C15 模块）以及在役 VS、979、959 与便携式 PHD-4 检漏设备广泛用于真空腔体、换热器、低温容器与半导体气路的气密性无损检测。

提供台式（Bench）、移动推车式（Mobile）及自动化系统集成模块，可选配油封旋片泵或干式涡旋前级泵
真空模式最小可检氦漏率达 5×10⁻¹² mbar·L/s，同时支持正压吸枪（Sniffer）模式快速定位漏点
双铱灯丝长寿命离子源组件、内置温度补偿型标准氦漏孔以及无线遥控操作手柄
检漏仪备件涵盖正压吸枪探头、喷氦枪、外置校准漏孔、质谱室灯丝组件与进气口烧结滤芯

FRG / PVG / PCG 真空规管、XGS-600 控制器与 ConFlat / KF / ISO 真空阀门法兰

提供安捷伦有源真空规管与多通道控制器（XGS-600、RGC-100/150）以及 ConFlat (CF)、ISO-KF (NW) 与 ISO-K/F 标准高真空阀门、插板阀、波纹管和法兰管件的型号核对与备件选型。

FRG-700/702（皮拉尼复合倒磁控冷阴极）与 FRG-720/730（皮拉尼复合 B-A 热阴极）全量程复合真空规
PVG-500/550 皮拉尼规、PCG-750 复合规、CDG-500 薄膜电容规以及 UHV-24 裸电离规管
Series 54 全金属可烘烤超高真空阀门、Series 26 铝合金角阀与 951-5106 精密微调进气针阀
CF 无氧铜密封垫圈（OFHC）、KF 氟橡胶中心圈、波纹管、规管连接电缆及 Torr Seal 低蒸气压真空密封胶

安捷伦真空技术（Agilent Vacuum）与瓦里安（Varian）工程传承

安捷伦真空技术部门（Agilent Vacuum Technologies）源自 2010 年并入安捷伦的瓦里安真空技术公司（Varian Vacuum Technologies）。瓦里安于 1957 年发明了 VacIon 磁控溅射离子泵并确立了 ConFlat (CF) 超高真空刀口法兰工业标准。目前涡轮分子泵、离子泵、扩散泵及旋片泵的主力研发与制造基地位于意大利都灵莱尼（Leinì），干式涡旋泵与氦质谱检漏仪生产基地位于美国马萨诸塞州列克星敦（Lexington）。

在为既有真空设备采购替换泵组与维保备件时，历史 Varian 铭牌与现行 Agilent 铭牌上的九位数字或字母数字物料号（Part Number）保持工程代际兼容，可直接用于核对配件。

TwisTorr FS 涡轮分子泵结构特点与 TPS 真空抽气工作站

TwisTorr 74FS、84FS、305FS、404FS、704FS 与 804FS 系列涡轮分子泵结合了高速斜置动叶片与专利 TwisTorr 牵引分子级定子槽道。该结构对氢气、氦气等轻质气体具备极高压缩比，并允许在较高前级耐压下稳定运行，从而可直接搭配紧凑型 IDP 干式无油涡旋前级泵。

Agilent Floating Suspension (FS) 浮动悬架混合陶瓷轴承系统有效降低了向电镜镜筒或质谱分析腔传递的微振动，且运行期内无需添加润滑脂。集成 TwisTorr 分子泵与干式涡旋泵的 TPS-compact 和 TPS-mini 移动式及台式抽气系统可直接用于实验室高真空抽气。

IDP 与 TriScroll 干式涡旋泵的结构差异与维保包选型

安捷伦干式无油涡旋泵分为两大系列：单侧全密封结构的 IDP 系列（IDP-3、IDP-7、IDP-10、IDP-15，抽速 3 至 15 m³/h）与双侧双级结构的 TriScroll 系列（TriScroll 300、TriScroll 600，抽速达 15 至 30 m³/h）。IDP 系列通过金属波纹管将轴承和电机同抽气腔完全物理隔离。

干式涡旋泵的常规维护为按周期更换涡旋盘聚四氟乙烯顶端密封条（IDP 系列对应 IDP3TS、IDP7TS、IDP10TS、IDP15TS 密封条包；TriScroll 系列对应 PTSS0300MK、PTSS0600MK）。针对累计运行时间较长的 TriScroll 泵，还可选配包含主副轴承与密封圈的大修维保包（Major Maintenance Kit）。

VacIon Plus 溅射离子泵在超高真空（UHV/XHV）中的泵芯配置

在需要无油且零机械振动的超高真空及极高真空环境（低至 10⁻¹¹ mbar）中，VacIon Plus 溅射离子泵提供三种阴极电离单元配置：适用于氧气、氮气与一氧化碳等活性气体的钛阴极 Diode 二极管型、钛钽复合阴极 Noble Diode 型以及通用型 StarCell 星形单元。

StarCell 开放式星形钛片结构可防止长期溅射下的极片变形，对氩气、氦气等稀有气体以及氢气、甲烷均保持高抽速与长寿命。在 10⁻¹⁰ 至 10⁻¹¹ mbar 极高真空区间，离子泵常与钛升华泵（TSP）或 CombiNEG 非蒸散型吸气剂模块组合使用。

DS 双级油封旋片泵与 VHS / HS 油扩散泵的工业应用与备件

在真空冶金熔炼、真空钎焊炉、热处理及大型光学镀膜等高气载工业装置中，广泛采用 DS 系列双级油封旋片泵（DS 40M、DS 102、DS 202、DS 302、DS 402、DS 602）与 VHS 系列（VHS-4、VHS-6、VHS-10、VHS-250、VHS-400）及 HS 系列（HS-2、HS-16、HS-20、HS-32）分馏油扩散泵。DS 旋片泵内置强制油泵润滑、气镇阀与防返油保护阀。

针对 DS 旋片泵维修，我们协助选配轴封小修包与大修包、转子旋片、排气阀片、排气油雾过滤器及前级分子筛吸附阱；针对 VHS 与 HS 油扩散泵，可核对加热盘与加热管组件、温控开关、水冷挡油帽及扩散泵真空油。

安捷伦与瓦里安真空设备及备件的铭牌核对与询价要点

为准确核对安捷伦（Agilent）及早期瓦里安（Varian）真空设备的互换组件、控制器与连接线缆，提交询价时请提供设备铭牌上的九位数字或字母数字物料号（Part Number / Model Number）与序列号。对于涡轮分子泵与离子泵，需明确进气口与前级法兰标准（ConFlat CF、ISO-K 或 ISO-KF）、冷却方式及控制器供电电压。

询价 HLD / VS / 979 氦质谱检漏仪耗材或 XGS-600 / FRG / PVG / CDG 真空计规管时，请附仪表标签照片与接口型号。我们将依据制造厂技术手册核实备件编码，并出具包含交货期与跨境物流方案的报价单。

Agilent Vacuum Technologies及型号名称为其各自权利人的商标，仅用于说明我们为之寻找配件的设备。SpareX 不是Agilent Vacuum Technologies的官方经销商、分销商或代表，与商标权利人无关联。每项产品的来源、文件和质保在报价单中逐项说明。