英国爱德华 (Edwards Vacuum) 工业与科学真空设备:无油涡旋泵、旋片泵、分子泵、螺杆泵与罗茨增压机组直供
直供英国爱德华真空(Edwards Vacuum,Atlas Copco 集团真空技术业务领域)全系列高真空与工业粗真空装备:涵盖 nXDS/XDS 干式涡旋泵、EM 与 RV 双级油封旋片泵、nEXT 机械与 STP 五轴磁悬浮分子泵、GXS 变螺距干式螺杆泵、EH/HV 罗茨增压泵、全量程真空计及原厂大修密封包。
英国爱德华 (Edwards) nXDS 与 XDS 系列干式无油涡旋真空泵
爱德华 nXDS 与 XDS 系列干式涡旋泵为质谱仪、电镜、手套箱及真空镀膜进样室提供无油清洁真空。nXDS 系列(nXDS6i–20i)抽速 6.2 至 22.0 m³/h,极限真空达 7×10⁻³ mbar。
- 内置智能变频无刷电机,支持 100–240 V 通用电压并具备闭环稳速特性
- 专利轴承屏蔽隔离密封技术,彻底杜绝润滑脂污染工作真空抽气腔室
- 复合自润滑材质顶端密封条(Tip Seal),连续运行寿命达 25,000 小时以上
- 提供稀有气体回收用 nXDS-R 气密型与抗腐蚀 nXDS-C 化工防腐型
英国爱德华 (Edwards) EM 与 RV 系列双级油封旋片真空泵
爱德华工业级 EM 系列(E2M1.5–E2M275)与实验室 RV 系列(RV3–RV12)广泛装配于真空热处理、冷冻干燥与制冷充注,单机抽速最高达 275 m³/h,极限真空达 1×10⁻³ mbar。
- 内置润滑油泵强制压力循环回路,大负载连续排气下仍保持充分润滑与冷却
- 配备双位可调气镇阀,支持大水汽与可凝性气体工况下的防乳化排气
- 内置断电防倒吸液压单向阀,遭遇突发断电时毫秒级切断油路杜绝油返涌
- 标准 ISO-KF 与 ISO-K 快卸法兰,可无缝串接 EMF 油雾捕集消音分离器
英国爱德华 (Edwards) nEXT 与 STP 系列涡轮分子泵(含磁悬浮)
爱德华分子泵包括机械陶瓷混合轴承 nEXT 平台(nEXT85–1230)与 5 轴全磁悬浮 STP 系列(STP-iXA2206/3306/4506),排气量覆盖 85 至 4500 L/s,极限真空达 10⁻¹⁰ mbar。
- nEXT 系列采用陶瓷滚珠轴承与顶部永磁悬浮复合支撑,运行平稳维护成本低
- STP 系列采用五自由度全主动电磁悬浮转子,零机械磨损且无任何油污析出
- 机身自带一体化微电脑驱动单元,支持 RS232、RS485 与 Profibus 现场总线
- 对氢氦等轻质气体具备高压缩比,支持水平、垂直或任意角度全姿态安装
英国爱德华 (Edwards) GXS、EDP 与 CDX 系列工业干式螺杆真空泵
爱德华 GXS 变螺距干式螺杆泵、EDP 耐腐蚀型化工泵与 CDX1000 专为化工制药精馏、脱气与光伏制程打造。配合 GXMB 增压泵组合抽速达 3450 m³/h,极限真空达 5×10⁻⁴ mbar。
- 专利变螺距渐变螺杆转子设计,气体压缩过程平顺散热,杜绝局部过热咬死
- 过流部件采用耐腐蚀特殊合金与防腐涂层,符合 ATEX 防爆指令标准
- 内置微电脑温度闭环管理单元,联动夹套水冷与自动氮气吹扫气幕防结晶
- 相比传统水环与油封泵系统,整机运行功耗降低达 30%,节能效益显著
英国爱德华 (Edwards) EH 与 HV 系列机械罗茨真空增压泵
爱德华 EH 系列(EH250–EH4200)与大型 HV 系列(HV8000–HV30000)罗茨增压泵在粗真空区间大幅倍增前级泵抽速,排气量最高达 30,000 m³/h。
- 独家水力流体动力耦合传动(Hydrokinetic Drive),高压差下自动滑差解耦
- 支持常压大气下与前级泵同步直接启动,无需额外旁通管路或压差开关
- 大幅简化真空管路阀门控制架构,抽空容器与真空炉循环时间缩短达 50%
- 高可靠性机械轴封组件,有效杜绝润滑油脂渗入高真空工艺通道
英国爱德华 (Edwards) 真空计、APG/AIM/WRG 变送器与控制器
爱德华真空测量仪表涵盖从大气压(1000 mbar)至超高真空(10⁻¹⁰ mbar)的完整监测链,包括 APG 皮拉尼计、AIM 冷阴极计、WRG 宽量程计及 ASG 电容薄膜计。
- APG100/200 皮拉尼真空变送器精度高重复性好,自带抗震抗污灯丝保护
- WRG 复合宽量程变送器单只探头连续覆盖大气压至 10⁻⁹ mbar 宽压强区间
- TIC 多合一综合仪表控制器支持同时接入多通道真空探头与分子泵驱动
- 全系提供标准模拟线性输出接口与 RS232/RS485 数字通信总线
英国爱德华 (Edwards) 原厂大修密封包、Ultragrade 真空油与滤芯
提供爱德华原厂维护备件:nXDS/XDS 动密封条(Tip Seal)、EM/RV 大修密封包(氟胶油封、O型圈、阀片)、Ultragrade 真空油及 Fomblin 特种润滑液。
- 原装 Clean & Overhaul 密封包包含全套精密氟胶密封圈与排气阀易损件
- 加氢精制 Ultragrade 15/19/20/70 专用机械真空油具备极低饱和蒸汽压
- EMF 系列排气油雾消除器分离效率达 99.9%,保持车间空气清洁无油烟
- nXDS 专用原厂 tip seal kit 配合专用工具可快捷完成现场在线更换
英国爱德华 (Edwards) 半导体专用干泵(iXH/iXL)与尾气治理系统
爱德华针对晶圆制造刻蚀、CVD 等前道制程开发重载 iXH、紧凑型 iXL 及 iGX 系列半导体专用干泵,抗粉尘凝结与耐腐蚀性能优异,配合终端尾气处理机裂解净化。
- 重载型 iXH 干泵具备强大粉尘容忍力与电机自清洁温控,专用于高沉积工艺
- 紧凑节能型 iXL 系列针对快速洁净室装载腔室与分析腔体优化抽速配置
- 终端燃烧式与电热式尾气处理机对温室及易燃有毒气体的分解率达 99.99%
- 配备 FabWorks 智能预测诊断接口,实时遥测运行参数实现预防性维护
爱德华真空设备采购技术确认与供货说明
英国爱德华真空(Edwards Vacuum)工业与科学真空设备及原厂配件均按具体工况技术方案报价交付,制造商未公开统一零售价目表。本平台作为独立跨境工业供应链服务商开展业务。
- 询价请提供具体泵型代号、电压配置、抽排介质成分或原厂金属铭牌照片
- 整机出厂附带原厂出厂检验记录、技术合格凭证及标准随机配件手册
- 国内保税仓直发或国际原产地航空直航集运,支持全套进出口合规单证
英国爱德华 (Edwards Vacuum) 铭牌核对与选型要点
爱德华真空(Edwards Vacuum,创立于1919年,隶属于阿特拉斯·科普柯集团)是全球高真空与工业干泵领军品牌。订购整机或配件请提供型号规格(如 nXDS15i、E2M28、RV12、nEXT300D、STP-iXA2206、GXS250、EH1200、APG100、WRG、TIC控制器)、电压及铭牌照片,确保与原厂物料编码完全匹配。
英国爱德华 (Edwards) nXDS 与 XDS 系列干式无油涡旋真空泵
爱德华 nXDS/XDS 干式涡旋泵为质谱、电镜及真空进样室提供无油清洁真空。抽速 6.2–22.0 m³/h,极限真空达 7×10⁻³ mbar,标配智能变频无刷电机与轴承隔离密封技术。直供整机、原装密封条套件(Tip Seal)及驱动配件。
英国爱德华 (Edwards) EM 与 RV 系列双级油封旋片真空泵
爱德华工业级 EM 系列(E2M1.5–E2M275)与实验室 RV 系列(RV3–RV12)广泛用于热处理、冷冻干燥及制冷充注,抽速达 275 m³/h,极限真空 1×10⁻³ mbar。内置强制润滑与防倒吸阀。直供 EM/RV 整机、EMF 排气油雾消除器及大修密封包。
英国爱德华 (Edwards) nEXT 与 STP 系列涡轮分子泵
爱德华分子泵包括机械陶瓷混合轴承 nEXT 平台(nEXT85–1230)与 5 轴全磁悬浮 STP 系列(STP-iXA2206/3306/4506),排气量 85–4500 L/s,真空达 10⁻¹⁰ mbar。STP 系列全磁悬浮无油无磨损,直供分子泵整机、TIC 控制器与高真空插板阀。
英国爱德华 (Edwards) GXS、EDP 与 CDX 系列工业干式螺杆真空泵
爱德华 GXS 变螺距干式螺杆泵、EDP 化工泵与 CDX1000 专用于化工精馏、脱气及光伏制程。配合 GXMB 增压泵排气量达 3450 m³/h,极限真空达 5×10⁻⁴ mbar。专利变螺距转子平顺温降节能 30%。直供螺杆机组与防腐配件。
英国爱德华 (Edwards) EH 与 HV 系列机械罗茨真空增压泵
爱德华 EH(EH250–EH4200)与 HV(HV8000–HV30000)罗茨增压泵在粗真空区倍增抽速,排气量最高达 30,000 m³/h。独家水力流体动力耦合(Hydrokinetic Drive)支持常压直接启动,缩短抽空时间 50%。直供整机与检修包。
英国爱德华 (Edwards) 全量程真空计、APG/AIM/WRG 变送器与控制器
爱德华真空计覆盖从常压(1000 mbar)至超高真空(10⁻¹⁰ mbar),含 APG100/200 皮拉尼计、AIM 倒磁控冷阴极计、WRG 复合宽量程计及 ASG 电容计。配套 TIC 多合一综合控制器支持总线通讯。直供变送器探头与控制主机。
英国爱德华 (Edwards) 原厂 Clean & Overhaul 密封包与真空油
提供纯正爱德华原厂备件:nXDS/XDS 动密封条(Tip Seal)、EM/RV 大修密封包(氟胶油封、O型圈、阀片)、Ultragrade 15/19/20/70 专用机械真空油及 Fomblin 特种润滑液。直供原装油品、EMF 油雾滤芯及捕集器。
英国爱德华 (Edwards) 半导体干泵(iXH/iXL/iGX)与尾气治理系统
爱德华针对刻蚀、CVD 等前道制程开发重载 iXH、iXL 与 iGX 半导体专用干泵,抗腐耐粉尘;配合终端燃烧/电热式尾气处理机(Scrubber),废气净化率达 99.99%。直供洁净室泵组、FabWorks 遥测模块与耗材。
英国爱德华 (Edwards Vacuum) 真空设备与备件全球直供通道
SpareX 面向泛半导体、新能源光伏、真空冶金及科研企业提供爱德华全系列真空泵整机、原装备件与耗材直接采购,提供物料编码校验、原厂直采、国际航空集运与清关支持。
爱德华真空设备及原厂备件的定制规格、出厂排期与交付价格均根据具体技术方案单独核算,制造商未公开零售价目表。本公司作为独立工业真空装备供应链服务商开展业务。
