光驰科技 Optorun — 光学薄膜真空镀膜机与精密镀膜设备
SpareX 为全球及中国光电制造企业提供日本光驰科技（Optorun Co., Ltd.）光学薄膜真空镀膜设备完整解决方案。产品涵盖 OTFC 离子辅助蒸镀机、HOTF 高产能连续量产设备、NSC 金属模式磁控溅射系统、ALDER 原子层沉积机台及核心备品备件，服务智能手机、车载镜头、激光器件与半导体晶圆光学镀膜领域。
OTFC 系列离子辅助光学真空蒸镀机
OTFC 系列离子辅助真空镀膜机配置直径 φ900 至 φ1800 毫米的真空腔体。系统搭载双电子枪与多工位坩埚台，并配备60点高精度光学膜厚监控系统。该设备支持连续制备超过100层光学干涉薄膜，确保严苛工况下的光谱稳定性。
- 配置直径从 φ900 至 φ1800 毫米真空室满足工业级批量基片装载需求
- 双电子枪蒸发源搭配多孔旋转坩埚或环形坩埚支持复合多层膜工艺
- 射频离子源在大面积工作区内提供均匀稳定的高离子束流密度轰击
- 备品备件包含铜质水冷坩埚、灯丝电子发射极、HOM光学监控探头与密封圈
HOTF 系列量产型光学真空蒸发镀膜机
HOTF 系列量产型真空蒸镀机专为大批量光学薄膜生产制造而研发。排气抽真空系统配置涡轮分子泵组，显著抑制真空腔内部颗粒物生成。设备搭载专为高速镀膜优化的 OIS-26H 离子源，大幅缩短镀膜生产节拍并提升成品良率。
- 真空排气系统装配高性能涡轮分子泵组实现低粉尘与无油洁净环境
- 集成专为高速蒸发优化的 OIS-26H 离子源大幅提升光学薄膜沉积速率
- 优化内部气流与挡板结构降低颗粒物产生保障精密滤光片镀膜品质
- 常用备品包含护罩内衬板、旋转轴承套件、前级除尘阱与耐高温电热丝
NSC 系列光学薄膜金属模式磁控溅射设备
NSC 系列光学薄膜溅射系统采用带进出料互锁腔（Load-lock）的金属模式溅射工艺。高活性等离子体源制备出极低吸收率的高品质光学薄膜。滚筒式回转基片架系统避免颗粒物掉落，确保大批量光学晶圆与镜片的高致密性与厚度均一性。
- 配置真空装载互锁过渡腔室（Load-lock）维持主工艺室超高真空稳定
- 电感耦合等离子体源（ICP）制备超低吸收率光学电介质与金属薄膜
- 精密滚筒式回转工件架结构在无尘车间环境中大幅降低微尘污染风险
- 配套备件涵盖旋转圆柱靶材组件、射频匹配器、质量流量控制器与射频线缆
ALDER 等离子体增强原子层沉积（PEALD）系统
ALDER 等离子体增强原子层沉积（PEALD）设备可在复杂三维立体曲面上实现致密镀膜。设备支持在低温环境下对树脂光学透镜进行光学薄膜沉积，获得传统工艺无法达到的共形性。工艺有效防止塑料光学镜片在成膜过程中的热应力变形。
- 在复杂三维立体光学曲面与深微结构上实现极高台阶覆盖率共形镀膜
- 低温等离子体辅助反应体系适用于耐温受限的树脂透镜与塑料基底
- 旋转工件装载架配合脉冲均流歧管确保前驱体气体分子分子层级均匀吸附
- 核心备件包括高速超纯 ALD 脉冲阀、前驱体气瓶加热套与尾气净化过滤芯
COFC 连续式光学薄膜真空蒸镀生产线
COFC 连续式光学真空镀膜系统在主蒸镀室两侧配置两座辅助预热缓冲腔。通过工件伞架高速传输机构，机台非常适合大批量抗反射（AR）减反射膜的连续化工业生产。多点高精度反射式光学监控系统在运动中精准掌控每一层膜的生长厚度。
- 双辅助加热腔室实现在线连续预热与除气无需中断主腔体真空环境
- 工件伞架高速连续传动机构满足抗反射（AR）减反射光学膜大规模量产
- 多点高精度反射式光学膜厚监测系统实时闭环反馈并校正蒸镀沉积厚度
- 机械备品包括真空插板阀密封条、红外石英加热管、伞架传动滑轮与热电偶
OIS 射频离子源与 HOM 高精度光学膜厚监控仪
OIS 系列离子源与 HOM 光学膜厚监控系统构成了光驰镀膜设备的核心测控单元。无灯丝设计的 OIS 离子源具有极长使用寿命与极低腔体污染特性。HOM 与 DHOM 监控仪可对旋转工件伞架上的基片膜厚实施原位直接透射与反射监控。
- 无灯丝离子源结构消除耗材污染故障显著延长连续稳定运行周期
- 支持在高速旋转的伞架夹具上对基片光学薄膜厚度进行原位直接监控
- 光路探测位置可灵活调整以适配不同曲率半径的伞架与多种镜片夹具
- 核心备件涵盖光纤准直镜头、光谱分析探针、射频放电感应线圈与同轴电缆
日本光驰（Optorun）光学薄膜真空镀膜装备矩阵
日本光驰（Optorun Co., Ltd.）及其上海制造基地生产OTFC离子辅助蒸镀机、HOTF量产型光学镀膜机和NSC光学溅射系统，广泛应用于精密滤光片与光学元件制造。设备可稳定制备超过百层的精密干涉光学膜系，膜厚均匀性偏差严格控制在千分之一以内。
产品矩阵覆盖具备 φ900 至 φ1800 毫米真空腔的旗舰级 OTFC 蒸镀机、双缓冲预热腔 COFC 连续镀膜线、专为移动终端镜头量产优化的 HOTF 机型，以及面向半导体晶圆级微纳光学加工的带进出料互锁室 NSC 磁控溅射设备。
精密真空镀膜设备工程选型与工艺配置指南
光驰光学镀膜设备的选型依据工件旋转伞架尺寸、离子源配置、膜层吸收率要求及直抽式光学膜厚监控系统精度。针对树脂塑料光学透镜与复杂三维立体曲面工件，ALDER 等离子体增强原子层沉积设备可实现低温全角度共形包覆镀膜。
针对智能手机多摄模组滤光片、车载激光雷达窗口及晶圆级光学器件量产需求，OTFC 与 HOTF 系列能提供极高的单批装载量与工艺稳定性。SpareX 团队提供专业真空工艺选型分析、机台配置优化及工业装备选型与技术对接。
Optorun及型号名称为其各自权利人的商标，仅用于说明我们为之寻找配件的设备。SpareX 不是Optorun的官方经销商、分销商或代表，与商标权利人无关联。每项产品的来源、文件和质保在报价单中逐项说明。
