Optorun — Вакуумные установки нанесения оптических тонких плёнок
Международные поставки оборудования вакуумного осаждения оптических тонких плёнок Optorun (Япония / Optorun Co., Ltd.). Линейки OTFC, HOTF, NSC, ALDER, COFC и OWLS, технологическая оснастка и комплексные решения под ключ для оптической и полупроводниковой индустрии от SpareX.
Установки ионно-ассистированного осаждения серии OTFC
Установки ионно-ассистированного осаждения серии OTFC оснащены вакуумными камерами диаметром от φ900 до φ1800 мм. Комплекс комплектуется двумя электронно-лучевыми пушками и 60-точечным оптическим монитором толщины. Система позволяет формировать свыше 100 интерференционных слоев.
- Вакуумная камера диаметром от φ900 до φ1800 мм для серийных партий подложек
- Две независимые электронно-лучевые пушки с кольцевым или многотигельным тиглем
- Радиочастотный ионный источник OIS для равномерной плотности ионного пучка
- Сменные тигли, эмиттеры электронов, датчики HOM и уплотнительные кольца Viton
Высокопроизводительные вакуумные испарители серии HOTF
Высокопроизводительные испарительные установки серии HOTF разработаны для экономичного серийного нанесения оптических покрытий. Откачная группа оснащена мощным турбомолекулярным насосом, обеспечивающим низкий уровень пылеобразования. Источник OIS-26H оптимизирован под быстрое осаждение.
- Высоковакуумная откачная система с турбомолекулярным насосом без масляных паров
- Оптимизированный ионный источник OIS-26H для ускоренного нанесения тонких пленок
- Сниженное пылеобразование для выпуска светофильтров и линз портативных устройств
- Сменные нагреватели, подшипники карусели, форвакуумные ловушки и катодные экраны
Установки оптического магнетронного распыления серии NSC
Комплексы магнетронного распыления серии NSC функционируют в металлическом режиме с загрузочным шлюзом. Высокореактивный плазменный источник обеспечивает получение слоев со сверхнизким оптическим поглощением. Барабанная система вращения подложек гарантирует строгую однородность покрытий.
- Высокопроизводительный загрузочный шлюз для сохранения глубокого вакуума камеры
- Сверхнизкое оптическое поглощение слоев за счет активного источника ICP-плазмы
- Ротационный барабанный держатель подложек с минимальным пылением направляющих
- Магнетронные распыляемые мишени, плазменные электроды, датчики потока газов MFC
Установки плазменного атомно-слоевого осаждения ALDER
Установки плазменно-стимулированного атомно-слоевого осаждения ALDER наносят покрытия на трехмерные детали. Технология формирует конформные оптические пленки на линзах сложной геометрии при пониженной температуре. Процесс исключает термическую деформацию полимерных оптических материалов.
- Прецизионное конформное осаждение тонких пленок на крутые трехмерные поверхности
- Низкотемпературный плазменный режим для термочувствительных пластиковых линз
- Ротационная стойка подложек с равномерным распределением химических прекурсоров
- Высокоскоростные клапаны ALD, баллоны для прекурсоров и датчики линии продувки
Непрерывные вакуумные комплексы осаждения серии COFC
Непрерывные вакуумные комплексы серии COFC оснащены двумя вспомогательными нагревательными шлюзами. Скоростной купольный транспорт подложек обеспечивает непрерывный темп выпуска просветляющих покрытий. Оптический многоточечный монитор отражения контролирует толщину каждого слоя в потоке.
- Две вспомогательные камеры нагрева для непрерывной предварительной дегазации
- Скоростной механизм транспортировки купола подложек для поточного производства
- Многоточечный отражательный оптический монитор для автоматической юстировки слоя
- Шлюзовые затворы, инфракрасные нагреватели, приводы подачи купола и термопары
Ионные источники OIS и оптические спектральные мониторы HOM
Ионные источники серии OIS и спектральные мониторы HOM составляют ядро прецизионных комплексов Optorun. Источник OIS без накаливаемых нитей обладает большим ресурсом при минимальном загрязнении. Мониторы HOM и DHOM контролируют оптическую толщину на вращающемся куполе подложек.
- Ионный источник без расходных нитей накала для длительной непрерывной работы
- Прямой оптический мониторинг толщины тонких пленок на вращающемся куполе изделия
- Возможность гибкого изменения положения оптического измерительного датчика
- Оптические коллиматоры, спектрометрические датчики, ВЧ-катушки и радиоразъемы
Модельный ряд вакуумных комплексов Optorun
Японский производитель Optorun Co., Ltd. выпускает специализированные вакуумные комплексы OTFC, HOTF и NSC для нанесения оптических интерференционных и просветляющих покрытий.
Оборудование обеспечивает воспроизведение многослойных пленочных структур с отклонением толщины слоев менее 0.1% по всей площади подложки.
Линейка оборудования включает флагманские ионно-ассистированные установки OTFC, непрерывные конвейерные испарители COFC, высокопроизводительные установки HOTF для серийной мобильной оптики и шлюзовые магнетронные комплексы NSC для полупроводниковых пластин.
Инженерный подбор оборудования и конфигурации вакуумных камер
Выбор конфигурации вакуумной установки Optorun определяется диаметром камеры, числом испарителей, типом ионного источника OIS и архитектурой оптического монитора. Для лабораторных разработок и мелкосерийного нанесения тонких пленок на объемные оптические детали оптимальна система ALDER.
Для серийного выпуска оптических фильтров, призм и объективов камер применяются комплексы OTFC и HOTF с камерами диаметром до φ1800 мм. Специалисты SpareX обеспечивают инженерный анализ оптических чертежей, расчет вакуумной производительности и прямые поставки комплексов Optorun.
Optorun и названия моделей — товарные знаки их правообладателей. Они указаны только для обозначения оборудования, для которого мы подбираем запчасти. Компания SpareX не является официальным дилером, дистрибьютором или представителем Optorun и не связана с правообладателем. Происхождение, документы и гарантия указываются по каждой позиции в коммерческом предложении.
Другие производители оборудования
- Оборудование и запчасти SAIREM
- Оборудование и запчасти Hiperbaric
- Оборудование и запчасти IcanClave
- Оборудование и запчасти STELA Laxhuber
Документы и источники
- Официальный сайт Optorun — профиль компании, технологии и производственные центры
- Установки ионно-ассистированного осаждения OTFC — технические спецификации и диаметр камеры
- Высокопроизводительные вакуумные испарители HOTF — турбомолекулярная откачка и источники OIS-26H
- Оптические распылительные системы NSC — металлический режим и реактивный плазменный источник
- Установки атомно-слоевого осаждения ALDER — низкотемпературное нанесение на объемные линзы
- Непрерывные вакуумные комплексы COFC — вспомогательные нагревательные камеры и контроль слоев
- Ионные источники OIS и оптические мониторы HOM — долговечность оснастки и спектральный контроль
- Ионные источники OIS — спецификации радиочастотных плазменных источников
