Системы нейтрализации газов и скрубберы Kanken Techno

Промышленные системы обезвреживания газов Kanken Techno серий KT1000, KPL и KW: электротермические скрубберы, плазменные реакторы и мокрая очистка выхлопов полупроводникового производства.

Электротермические скрубберы KT1000MFH-SQ

Системы KT1000MFH-SQ используют электротермическое разложение с фирменной специальной термоизоляцией Kanken. Установка снижает расход воды на 30–50% и уменьшает площадь основания на 20%. Модуль разработан для полупроводниковых линий 300 мм с высокой концентрацией технологических газов.

Специальная термоизоляция
Расход воды ниже на 30–50%
Футпринт сокращен на 20%
Линии 300 мм полупроводников

Установки газоочистки KT1000MFH и KT1000MFS

Установки KT1000MFH и KT1000MFS рассчитаны на очистку газов с высокой запыленностью на фабриках 200 мм и 300 мм. Комплексы оснащены энергосберегающим режимом и двухсторонней зоной обслуживания спереди и сзади. Конструкция обеспечивает стабильную нейтрализацию без остановок производства.

Энергосберегающий режим
Для линий 200 и 300 мм
Двухсторонний доступ ТО
Очистка запыленных газов

Эпитаксиальные скрубберы KT1000EPS для SiC

Система KT1000EPS разработана для процессов эпитаксии SiC с безопасной переработкой высоких концентраций водорода. Входной скруббер улавливает растворимые газы, а специальный тракт предотвращает закупоривание продуктами гидролиза TCS и DCS. Комплекс оборудован надежной защитой fail-safe.

Для эпитаксии SiC
Обработка водорода H2
Входной скруббер TCS/DCS
Защитная система fail-safe

Системы KT1000MOC для установок MO-CVD

Установка KT1000MOC нейтрализует большие потоки аммиака NH3 и водорода H2 после реакторов MO-CVD термическим окислением. Система использует теплоту экзотермической реакции, отключая подогреватели при установившемся потоке. Датчики температуры на входе предотвращают риск обратного пламени.

Нейтрализация NH3 и H2
Бестопливное окисление
Утилизация тепла реакции
Контроль обратного пламени

Плазменные скрубберы KPL-WTR и KPL-C13

Серия KPL использует стабильную дуговую плазму атмосферного давления для разрушения стойких перфторуглеродов PFC. Модель KPL-WTR разлагает CF4, NF3 и SF6 с эффективностью свыше 99%. Встроенный скруббер улавливает побочные фтористые соединения, обеспечивая чистоту выхлопного тракта.

Дуговая плазма KPL
Деструкция CF4 выше 99%
Очистка газов PFC и NF3
Встроенный мокрый скруббер

Гибридные системы KT1000HBD для процессов травления

Гибридная установка KT1000HBD сочетает электрический розжиг и теплоту сгорания для очистки технологических газов плазменного травления. Модуль пропускает потоки расходом до 600 слм, устраняя риск срыва факела. Теплоаккумулирующая печь гарантирует глубокую деструкцию стойких фторидов.

Расход газов до 600 слм
Электрический розжиг
Для процессов травления
Теплоаккумулирующая печь

Мокрые двухбашенные скрубберы серии KW

Двухбашенные скрубберы KW предназначены для очистки водорастворимых и гидролизуемых газов полупроводниковых линий. Сочетание форсуночного орошения и полимерной насадки обеспечивает высокую степень улавливания. Взрывозащищенная конструкция гарантирует безопасность при наличии горючих газов в потоке.

Двухбашенная структура
Форсуночное орошение
Полимерная насадка
Взрывозащита тракта

Сухие сорбционные колонны серии KD

Сухие сорбционные скрубберы серии KD предназначены для поглощения токсичных гидридов, включая арсин AsH3 и силан SiH4. Полностью герметичный корпус предотвращает утечки газов без образования CO2. Двухколонная система с автоматическим переключением обеспечивает непрерывную очистку линий фабрики.

Герметичный корпус
Поглощение AsH3 и SiH4
Без выбросов CO2
Двухколонная система

Конструктивные особенности и энергосбережение серии KT1000

Системы нейтрализации выхлопных газов серии KT1000 от Kanken Techno обеспечивают высокоэффективное электротермическое разложение токсичных и агрессивных технологических сред.

Флагманская модель KT1000MFH-SQ оснащена энергосберегающей термоизоляцией, сокращает водопотребление на 30–50% и уменьшает занимаемую площадь на 20% для интеграции в чистые помещения фабрик 200 мм и 300 мм.

Для высоконагруженных процессов сухого плазменного травления и осаждения компания выпускает установки KT1000MFH с повышенной пылевой емкостью и двухсторонним доступом для обслуживания. Электротермический принцип исключает потребление ископаемого углеводородного топлива и снижает прямые выбросы CO2.

Применение плазменных скрубберов KPL и гибридных комплексов KT1000HBD

Плазменные скрубберы серии KPL применяют стабильную дуговую плазму атмосферного давления для нейтрализации трудноразлагаемых парниковых перфторуглеродов (CF4, NF3, SF6).

В установке KPL-WTR модернизированный плазмотрон обеспечивает деструкцию соединений фтора свыше 99% с одновременным улавливанием кислых газов встроенным скруббером.

Гибридные комплексы KT1000HBD сочетают электрический поджиг и теплоту сгорания для переработки технологических потоков расходом до 600 слм, устраняя риск срыва факела при динамических колебаниях газовой нагрузки.

Глобальное развертывание и производственные мощности Kanken Techno

По данным конференции SEMI в ноябре 2024 года, глобальный парк оборудования Kanken Techno насчитывает более 20000 работающих установок на полупроводниковых заводах США, Китая, Тайваня, Кореи, Сингапура и Японии.

Собственные сборочные предприятия расположены в Нагаокакё (Киото), префектуре Ниигата и в зоне экономического развития Пинху (КНР).

Высокая надежность, дублированные системы блокировок fail-safe и развитая международная сеть инжиниринговой поддержки гарантируют соблюдение строгих стандартов промышленной безопасности микроэлектронных производств.

Kanken Techno и названия моделей — товарные знаки их правообладателей. Они указаны только для обозначения оборудования, для которого мы подбираем запчасти. Компания SpareX не является официальным дилером, дистрибьютором или представителем Kanken Techno и не связана с правообладателем. Происхождение, документы и гарантия указываются по каждой позиции в коммерческом предложении.