日本康肯 (康肯环保) / Kanken Techno 半导体工艺废气处理与水洗喷淋设备
日本康肯 (Kanken Techno / 康肯环保) KT1000系列电加热尾气处理装置、KPL系列大气压等离子废气净化设备与KW水洗喷淋塔。为全球及中国先进制程晶圆厂提供废气治理选型与技术支持。
KT1000MFH-SQ 节能电加热式废气处理装置
KT1000MFH-SQ采用康肯特殊隔热技术大幅降低能耗。供排水量比传统机型减少30%至50%，占地面积缩减20%。专为300mm先进晶圆制造线高负荷废气处理设计，运行平稳可靠。
- 康肯特殊隔热构造
- 供排水量减少30-50%
- 占地面积缩减20%
- 适用于300mm晶圆产线
KT1000MFH 与 KT1000MFS 高粉尘负荷净化系统
KT1000MFH与KT1000MFS适用于200mm与300mm晶圆及液晶高粉尘负荷产线。标配节能运行模式降低水电气消耗，前后双向维护通道便于快速检修。
- 标配节能控制模式
- 用于200/300mm产线
- 前后双向低维护区域
- 高粉尘工况稳定运行
KT1000EPS 碳化硅外延工艺专用尾气处理设备
KT1000EPS专用于含碳化硅(SiC)外延制程，安全分解高浓度氢气。入口水洗有效去除水溶性气体，防止TCS与DCS潮解堵塞管道，配备完善故障安全机构。
- 碳化硅外延工艺专用
- 安全处理高浓度氢气
- 入口水洗防结晶堵塞
- 具备故障安全防护机构
KT1000MOC 金属有机化学气相沉积废气处理系统
KT1000MOC专为MO-CVD大流量氨气与氢气研发，电加热热氧化分解且无需化石燃料。利用反应热实现零加热电耗，进气口温度实时监测具备可靠防回火功能。
- 处理大流量NH3与H2
- 无需化石燃料更环保
- 利用反应热节约能耗
- 进气口防回火安全监测
KPL-WTR 与 KPL-C13 大气压等离子体除害系统
KPL系列利用稳定大气压电弧等离子体高温分解难降解PFC气体。KPL-WTR新型高温喷枪实现CF4破坏去除率达99%以上，内置水洗级同步吸收副产酸性氟化物。
- 稳定大气压电弧等离子
- CF4去除率达99%以上
- 高效分解SF6与NF3
- 内置水洗吸收副产物
KT1000HBD 刻蚀制程混合热力废气净化设备
KT1000HBD以电加热棒点火并结合燃料燃烧热，专用于干法刻蚀工艺大流量废气净化。处理能力高达600slm且无熄火风险，蓄热炉设计有效降低后段排气粉尘。
- 处理量高达600slm
- 电热点火无熄火风险
- 干法刻蚀工艺专用型
- 蓄热炉结构高效净化
KW系列高效双塔水洗喷淋净化设备
KW系列双塔紧凑型水洗设备专用于处理半导体水溶性与潮解性废气。特殊喷淋方式与填充填料独特结构实现高效净化，专用防爆配置确保混入可燃气体时安全无忧。
- 紧凑型双塔喷淋结构
- 专用高效填料填装
- 高效处理水溶性废气
- 具备专用防爆安全配置
KD系列吸附式干式尾气净化系统
KD系列干式吸附除害装置专为砷烷(AsH3)等剧毒气体封闭处理设计。全密封构造杜绝外泄，无需化石燃料零额外碳排放，配备双塔自动切换系统保障工艺连续运行。
- 全密封安全吸附结构
- 安全处理剧毒AsH3气体
- 无燃料零碳排放
- 配双塔自动切换系统
KT1000系列半导体废气处理设备结构特点与节能优势
康肯环保KT1000系列半导体废气处理设备采用电加热热氧化技术，针对微电子制造中的易燃、有毒及腐蚀性气体提供高效率净化。最新型KT1000MFH-SQ机型采用特殊隔热构造，供排水量比传统机型减少30%至50%，占地面积减少20%，广泛应用于200mm与300mm先进晶圆制造生产线。
针对大负荷干法刻蚀与气相沉积工艺，KT1000MFH机型具备更强粉尘容纳能力与前后双向维护通道。电加热净化方式杜绝化石燃料消耗，显著削减晶圆厂碳排放。
KPL等离子除害设备与KT1000HBD混合燃烧净化系统应用
KPL系列等离子除害系统采用稳定大气压电弧等离子体技术，高效裂解CF4、NF3与SF6等难降解温室全氟化合物。KPL-WTR配备新型高温喷枪实现99%以上去除率，内置水洗吸收副产酸性氟化物。
KT1000HBD混合型系统将电点火与燃烧热相结合，稳定处理高达600slm的大流量刻蚀废气，彻底杜绝气流波动引起的熄火隐患。
康肯环保全球设备应用规模与制造研发基地
根据2024年11月国际半导体产业协会(SEMI)技术报告，日本康肯在全球半导体制造基地累计安装运行设备突破20000台，广泛分布于中国大陆、台湾地区、美国、韩国、新加坡及日本本土。制造基地设于京都长冈京、新潟及浙江平湖经济技术开发区。
严谨精密机械制造标准、多重故障安全联锁防护及全球本地化工程支持，为全球微电子制造提供可靠环保保障。
Kanken Techno及型号名称为其各自权利人的商标，仅用于说明我们为之寻找配件的设备。SpareX 不是Kanken Techno的官方经销商、分销商或代表，与商标权利人无关联。每项产品的来源、文件和质保在报价单中逐项说明。
