Вакуумное оборудование и датчики SENS4 / Sens4 A/S

Датские вакуумные преобразователи SENS4 / Sens4 A/S: термокондуктометрические датчики SmartPirani VPM-5, шлюзовые вакуумметры Loadlock VPM-7, широкодиапазонные приборы TriCap VPM-15, мембранные датчики DiCapATM VDM-7 и цифровые контроллеры TrueVac TVC-3. Подбор компонентов по шильдику прибора.

Вакуумные преобразователи SENS4 SmartPirani VPM-5

Широкодиапазонные вакуумные преобразователи SENS4 SmartPirani VPM-5 охватывают девять декад измерения от 1.0E-6 до 1333 мбар. Датчик на базе микроэлектромеханических систем обладает сверхнизким температурным дрейфом и выпускается с керамическим или париленовым защитным покрытием ячейки.

Измерение абсолютного давления в сверхшироком диапазоне от 1.0E-6 до 1333 миллибар
Микроэлектромеханический кремниевый сенсор Пирани со сверхстабильной нулевой точкой
Опциональное антикоррозионное покрытие измерительной камеры керамикой или париленом
Аналоговый выходной сигнал напряжения и цифровой промышленный интерфейс связи RS-485

Шлюзовые датчики вакуума SENS4 LoadlockPirani VPM-7

Специализированные преобразователи SENS4 LoadlockPirani VPM-7 созданы для прецизионного контроля откачки и напуска загрузочных шлюзов полупроводникового оборудования. Встроенный дифференциальный компаратор атмосферного давления исключает риск преждевременного открытия шиберов.

Интегрированный в единый корпус атмосферный датчик перепада давления для шлюзов
Быстродействующий полупроводниковый ключ управления циклом безопасного напуска
Непрерывный мониторинг вакуума от высокого разрежения до атмосферного уровня
Устойчивость к циклическим перепадам давления и вибрациям вакуумных насосов

Комбинированные датчики SENS4 TriCap VPM-15

Универсальные преобразователи SENS4 TriCap VPM-15 объединяют термокондуктометрический сенсор Пирани и емкостную мембрану в одном компактном приборе. Технология автоматической подстройки нуля CDG AutoZero обеспечивает высокую точность во всем диапазоне от 1.0E-6 до 1333 мбар.

Гибридная измерительная ячейка из сенсора Пирани и емкостной диафрагмы
Запатентованная автоматическая калибровка нулевой точки CDG AutoZero
Независимость показаний от рода газа в диапазоне от 5E-3 до 1333 миллибар
Защищенная конструкция из нержавеющей стали со стандартными фланцами KF

Емкостные датчики вакуума SENS4 DiCapATM VDM-7

Прецизионные преобразователи давления SENS4 DiCapATM VDM-7 оснащены двойной керамической мембраной для измерения вакуума независимо от типа газа. Диапазон от 5.0E-3 до 1333 мбар позволяет контролировать технологические газы в химических реакторах и плазменных установках.

Абсолютная независимость выходного сигнала от молекулярной массы газа
Высокочистая оксидная керамика мембраны с устойчивостью к коррозии
Встроенная схема термокомпенсации для снижения температурного дрейфа
Программируемые реле уставок для управления технологической автоматикой

Вакуумные контроллеры SENS4 TrueVac TVC-3

Многоканальные цифровые контроллеры SENS4 TrueVac TVC-3 обеспечивают сбор данных, индикацию и управление вакуумными системами. Прибор оснащен ярким 4-дюймовым сенсорным дисплеем, поддерживает подключение до трех датчиков и совместим с преобразователями сторонних марок.

Конфигурации на один, два или три независимых измерительных канала
Цветной сенсорный дисплей с графическим отображением трендов давления
Совместимость с датчиками SENS4 и аналоговыми вакуумметрами других марок
Интерфейсы Ethernet, USB и RS-485 для интеграции в SCADA-системы предприятий

Индикаторы TVC-1 и блоки питания SENS4 PSU-1

Компактные одноканальные дисплеи SENS4 TrueVac TVC-1 и блоки питания PSU-1 обеспечивают автономное функционирование вакуумных преобразователей. Модули легко монтируются на DIN-рейку или лицевую панель шкафа управления, формируя надежный локальный узел мониторинга давления.

Компактный индикаторный блок для монтажа на стандартную DIN-рейку
Питание датчиков стабилизированным напряжением 24 вольта постоянного тока
Проходной преобразователь интерфейсов RS-485 в USB для настройки приборов
Программное обеспечение S4-Connect для настройки уставок и записи логов

Регламент калибровки термокондуктометрических сенсоров SmartPirani VPM-5

Точность измерения вакуума датчиками SENS4 SmartPirani VPM-5 в диапазоне высокого и среднего разрежения обеспечивается регулярным контролем нулевой точки и калибровкой атмосферного давления.

Кремниевая измерительная мембрана микроэлектромеханического сенсора охлаждается молекулами остаточного газа, передавая данные на микропроцессорный блок. При работе в вакуумных печах и напылительных камерах на чувствительном элементе возможно осаждение паров технологических масел и конденсата.

Сервисный регламент требует проверки нулевого значения при откачке до остаточного давления ниже десяти в минус шестой степени миллибар. При отклонении показаний выполняется цифровая калибровка нуля через сервисную утилиту S4-Connect.

Обслуживание атмосферных переключателей и шлюзовых датчиков VPM-7

Безопасная эксплуатация загрузочных шлюзов в технологических линиях микроэлектроники зависит от корректной настройки преобразователей SENS4 LoadlockPirani VPM-7.

Встроенный дифференциальный датчик непрерывно сравнивает остаточное давление внутри шлюзового объема с текущим барометрическим давлением чистой комнаты. Перед открытием внешней шлюзовой двери контроллер проверяет замыкание контактов встроенного полупроводникового ключа.

Загрязнение защитного сетчатого фильтра фланца KF вызывает динамическое запаздывание сигнала при напуске осушенного азота. Плановое техническое обслуживание включает продувку входного штуцера сухим чистым воздухом и проверку порогов срабатывания аварийных реле.

Автоматическая юстировка нуля CDG AutoZero в приборах TriCap VPM-15

Широкодиапазонные преобразователи SENS4 TriCap VPM-15 объединяют термокондуктометрическую ячейку Пирани и емкостную диафрагму с алгоритмом автоматической калибровки CDG AutoZero.

В процессе глубокой откачки вакуумной камеры ниже пяти тысячных миллибар встроенный контроллер автоматически считывает сигнал емкостного датчика и компенсирует температурное смещение нулевой точки.

Это устраняет необходимость периодического ручного демонтажа вакуумметра для юстировки на эталонном калибровочном стенде. Для защиты от скачков давления при резкой разгерметизации прибор снабжен внутренним демпфирующим каналом.

Проверка целостности фланцевого соединения осуществляется гелиевым течеискателем.

Контроль независимости измерений емкостных датчиков DiCapATM VDM-7

Емкостные мембранные датчики SENS4 DiCapATM VDM-7 обеспечивают прямое измерение давления независимо от состава и молекулярной массы технологических газов.

Измерительная ячейка на основе сверхчистой керамики деформируется под действием разности давлений, изменяя электрическую емкость электродов без прямого контакта чувствительного слоя с агрессивной средой.

В плазменных реакторах травления и установках химического осаждения фланцы датчика подвергаются воздействию активных галогенов.

Для предотвращения конденсации паров на керамической мембране рекомендуется использовать внешний термочехол с поддержанием постоянной температуры сорок пять градусов Цельсия и контролировать дрейф сигнала.

Интеграция многоканальных контроллеров TrueVac TVC-3 в сети SCADA

Цифровые контроллеры SENS4 TrueVac TVC-3 служат центральным узлом сбора данных и управления вакуумными агрегатами на промышленных участках. Четырехдюймовый графический сенсорный экран отображает кривые откачки в реальном времени и текущие статусы дискретных реле управления шиберными затворами.

Подключение к цеховой сети автоматизации осуществляется по протоколам Modbus RTU через интерфейс RS-485 или Modbus TCP по порту Ethernet. При конфигурировании каналов оператор задает гистерезис переключения уставок и коэффициенты пересчета для датчиков сторонних производителей.

Резервное копирование таблицы настроек прибора выполняется на внешний USB-накопитель через сервисный порт.

Монтаж индикаторов TVC-1 и организация электропитания модулей PSU-1

Стабильность показаний вакуумных преобразователей SENS4 серии VPM и VDM напрямую зависит от качества подводимого напряжения питания постоянного тока. Компактные блоки питания SENS4 PSU-1 формируют стабилизированное напряжение двадцать четыре вольта с минимальным уровнем высокочастотных пульсаций.

Модули индикации TrueVac TVC-1 устанавливаются на стандартную DIN-рейку тридцать пять миллиметров внутри шкафа управления либо встраиваются в вырез лицевой панели приборной стойки.

Сигнальные интерфейсные кабели RS-485 прокладываются в экранированном исполнении на удалении от силовых частотных преобразователей турбомолекулярных насосов для исключения электромагнитных наводок и помех.

SENS4 / Sens4 A/S и названия моделей — товарные знаки их правообладателей. Они указаны только для обозначения оборудования, для которого мы подбираем запчасти. Компания SpareX не является официальным дилером, дистрибьютором или представителем SENS4 / Sens4 A/S и не связана с правообладателем. Происхождение, документы и гарантия указываются по каждой позиции в коммерческом предложении.