KOFLOC 质量流量控制器

KOFLOC质量流量控制器与流量计技术选型：3660、8700、EX-250S、5100、ST-500，RK1200浮子流量计、针阀、压力调节阀及气体发生装置。

3660质量流量控制器与3760质量流量计

KOFLOC基础系列：3660质量流量控制器和量程相同的3760质量流量计。满量程按氮气换算为10 SCCM至100 SLM，精度±1～1.5% F.S.。更换时按铭牌核对气体种类、量程和信号。

满量程10 SCCM至100 SLM
精度±1～1.5% F.S.
3760流量计量程相同
出厂以氮气校准

8700带显示数字质量流量控制器与流量计

8700系列为带显示屏的质量流量控制器或流量计，可显示瞬时流量和累计流量并设定报警。满量程10 SCCM至100 SLM，支持RS485通讯，0～5 V模拟信号可切换为4～20 mA。电源使用PSK-85CE交流适配器。

满量程10 SCCM至100 SLM
信号0～5 V或4～20 mA
RS485通讯接口
PSK-85CE电源适配器

EX-250S小型数字与EX-550全金属质量流量控制器

EX-250S量程5 SCCM至10 SLM，精度±1% F.S.；EX-550采用金属密封，量程10 SCCM至5 SLM。全量程响应时间1秒以内，可用旋转开关切换气体种类。电源±15 V或24 V直流，支持RS485通讯。

EX-250S量程5 SCCM～10 SLM
EX-550量程10 SCCM～5 SLM
响应时间1秒以内
电源±15 V或24 V

3200、5100与ST-500微小流量质量流量控制器

3200和5100控制范围1 SCCM至20 SLM，隔膜阀座减小死体积，5100采用金属密封。ST-500为压力不敏感型，可在10 SCCM至30 SLM范围内不受压力波动影响稳定控制，ST-550支持RS485、DeviceNet或EtherCAT通讯。

3200与5100最小1 SCCM
最大量程20 SLM
ST-500量程至30 SLM
通讯RS485与EtherCAT

PSK-FB电源与CR-400B、DPM-3显示单元

PSK-FB电源为KOFLOC质量流量控制器和流量计供电，1FB、3FB和6FB型分别可供1、3、6台仪表。PSK-85CE适配器用于8700系列，PSK-83CE用于EX-700R。CR-400B提供供电、流量显示、报警设定和阀门开闭，可通过RS-485或0～5 V信号外部操作。

PSK-FB可供1、3或6台
PSK-85CE适配8700系列
DPM-3流量显示器
CR-400B支持RS-485

RK1200、RK1812与RK1600R浮子流量计

RK1200内置精密针阀，气体测量范围5 mL/min至100 L/min，水为5 mL/min至2 L/min，精度±2% F.S.。RK1812和RK1814带光电传感器报警功能，气体范围50 mL/min至50 L/min；RK1600R吹扫流量计范围1至20 L/min。

气体5 mL/min至100 L/min
RK1200精度±2% F.S.
RK1812光电报警
RK1600R吹扫至20 L/min

2412针阀、2204稳流阀与3000比例电磁阀

2412和2412M针阀采用非旋转针结构，在压差0.1 MPa下气体调节范围5 mL/min至100 L/min，2412M带刻度盘。2204在入口压力波动时保持10 mL/min至10 L/min的恒定流量。3000小型比例电磁阀功耗不超过2 W，滞后不超过15%。

气体5 mL/min至100 L/min
2204稳流至10 L/min
3000功耗不超过2 W
滞后不超过15%

6600、6610与6800压力调节阀

6600精密减压阀二次侧压力0.01至0.6 MPa，流量10或20 L/min，重复性±1%。6610用于低压0.01至0.15 MPa，流量5 L/min，气体接触部分无油脂。6800背压阀保持一次侧压力0.01至0.6 MPa。

6600压力0.01～0.6 MPa
重复性±1%
6610低压至0.15 MPa
6800背压阀至10 L/min

KOFLOC质量流量控制器选型：量程与接口

KOFLOC生产热式质量流量控制器和流量计，用于半导体、光纤、分析和燃料电池等领域。基础系列3660、3760以及带显示的8700系列满量程10 SCCM至100 SLM，HFC-303大流量型为100至1000 SLM。

微小流量可选3200和5100，范围1 SCCM至20 SLM；气体面板可选ST-500，量程至30 SLM且不受压力波动影响。小型EX-250S和全金属EX-550可用旋转开关切换气体种类，并支持RS485通讯。

浮子流量计、针阀与压力调节阀

RK1200带针阀浮子流量计气体范围5 mL/min至100 L/min，水为5 mL/min至2 L/min；RK1812和RK1814带光电报警。2412和2412M针阀、2204稳流阀和3000比例电磁阀用于设定气体流量。

6600和6610减压阀二次侧压力分别为0.01至0.6 MPa和最高0.15 MPa，6800背压阀保持一次侧压力。质量流量控制器可配PSK-FB电源（供1、3、6台）和CR-400B显示单元。

气体发生装置与气体混合装置

KOFLOC生产氮气、氧气、臭氧、氢气和洁净干燥空气发生装置。Mini-CUBE小型氮气发生装置纯度99%至99.999%，最大出口压力0.5 MPa；MOX小型氧气发生装置产气量4和8 NL/min。

KOH氢气发生装置通过电解水制取纯度99.999%的氢气，MPZ臭氧发生装置以PSA方式从空气中浓缩氧气作为原料。BRENDA气体混合装置采用KOFLOC质量流量控制器，单路10 SCCM至50 SLM，合计100 SLM。

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