Регуляторы расхода газа KOFLOC

Технический подбор регуляторов и расходомеров массового расхода KOFLOC 3660, 8700, EX-250S, 5100, ST-500, ротаметров RK1200, игольчатых клапанов, регуляторов давления и генераторов газов.

Регуляторы расхода газа 3660 и расходомеры 3760

Базовая серия KOFLOC: регулятор массового расхода 3660 и расходомер 3760 с тем же диапазоном. Полная шкала от 10 SCCM до 100 SLM в пересчёте на азот, точность ±1–1,5 % от полной шкалы. При замене сверяем газ, диапазон и сигнал по шильдику прибора.

Шкала от 10 SCCM до 100 SLM
Точность ±1–1,5 % шкалы
Расходомер 3760 той же шкалы
Заводская калибровка по азоту

Цифровые регуляторы и расходомеры 8700 с дисплеем

Серия 8700 объединяет регулятор или расходомер массового расхода с дисплеем: мгновенный и накопленный расход, уставки сигнализации. Полная шкала от 10 SCCM до 100 SLM, связь RS485, аналоговый сигнал 0–5 В с переключением на 4–20 мА. Питание от адаптера PSK-85CE.

Шкала от 10 SCCM до 100 SLM
Сигнал 0–5 В или 4–20 мА
Интерфейс связи RS485
Адаптер питания PSK-85CE

Компактные цифровые EX-250S и металлические EX-550

EX-250S работает в диапазоне от 5 SCCM до 10 SLM с точностью ±1 % шкалы, EX-550 с металлическими уплотнениями — от 10 SCCM до 5 SLM. Отклик не дольше 1 с во всём диапазоне, газ выбирают поворотным переключателем. Питание ±15 В или 24 В постоянного тока, связь RS485.

Диапазон EX-250S: 5 SCCM–10 SLM
Диапазон EX-550: 10 SCCM–5 SLM
Отклик не дольше 1 с
Питание ±15 В или 24 В

Регуляторы 3200, 5100 и ST-500 для малых расходов

3200 и 5100 регулируют расход от 1 SCCM до 20 SLM, мембранное седло клапана уменьшает мёртвый объём; у 5100 металлические уплотнения. ST-500 держит расход от 10 SCCM до 30 SLM без влияния колебаний давления, ST-550 подключают по RS485, DeviceNet или EtherCAT.

Шкала 3200 и 5100 от 1 SCCM
Верхний предел шкалы 20 SLM
Расход ST-500 до 30 SLM
Связь RS485, DeviceNet, EtherCAT

Блоки питания PSK-FB и индикаторы CR-400B, DPM-3

Блоки PSK-FB питают регуляторы и расходомеры KOFLOC: исполнения 1FB, 3FB и 6FB рассчитаны на 1, 3 и 6 приборов. Адаптер PSK-85CE подходит к серии 8700, PSK-83CE — к EX-700R. CR-400B даёт питание, индикацию расхода, сигнализацию и открытие клапана по RS-485 или 0–5 В.

Блок PSK-FB на 1, 3 или 6 приборов
Адаптер PSK-85CE к серии 8700
Индикатор расхода DPM-3
Пульт CR-400B: RS-485 и 0–5 В

Поплавковые расходомеры RK1200, RK1812 и RK1600R

RK1200 с прецизионным игольчатым клапаном измеряет газ от 5 мл/мин до 100 л/мин и воду от 5 мл/мин до 2 л/мин с точностью ±2 % шкалы. RK1812 и RK1814 с фотодатчиком сигнализации работают по газу от 50 мл/мин до 50 л/мин, продувочный RK1600R — от 1 до 20 л/мин.

Газ от 5 мл/мин до 100 л/мин
Точность RK1200 ±2 % шкалы
Фотодатчик сигнализации RK1812
Продувочный RK1600R до 20 л/мин

Игольчатые клапаны 2412, стабилизаторы 2204, клапаны 3000

Клапаны 2412 и 2412M с невращающейся иглой регулируют газ от 5 мл/мин до 100 л/мин при перепаде 0,1 МПа, у 2412M есть шкала уставки. 2204 держит расход от 10 мл/мин до 10 л/мин при колебаниях входного давления. Клапан 3000 потребляет не более 2 Вт.

Газ от 5 мл/мин до 100 л/мин
Стабилизатор 2204 до 10 л/мин
Мощность клапана 3000 до 2 Вт
Гистерезис не более 15 %

Регуляторы давления 6600, 6610 и 6800

Прецизионный регулятор 6600 держит давление после себя от 0,01 до 0,6 МПа при расходе 10 или 20 л/мин с повторяемостью ±1 %. 6610 для низкого давления от 0,01 до 0,15 МПа на 5 л/мин, без смазки в газовом тракте. Регулятор противодавления 6800 держит давление до себя от 0,01 до 0,6 МПа.

Давление 6600: 0,01–0,6 МПа
Повторяемость ±1 %
Низкое давление 6610 до 0,15 МПа
Противодавление 6800 до 10 л/мин

Выбор регулятора расхода KOFLOC по диапазону и интерфейсу

KOFLOC выпускает тепловые регуляторы и расходомеры массового расхода для производства полупроводников, оптического волокна, аналитики и топливных элементов. Базовые серии 3660 и 3760 и серия 8700 с дисплеем охватывают шкалы от 10 SCCM до 100 SLM, HFC-303 — от 100 до 1000 SLM.

Для малых расходов служат 3200 и 5100 от 1 SCCM до 20 SLM, для газовых панелей — ST-500 до 30 SLM без влияния колебаний давления. Компактные EX-250S и металлические EX-550 переключают газ поворотным переключателем и работают по RS485.

Ротаметры, игольчатые клапаны и регуляторы давления

Поплавковые расходомеры RK1200 с игольчатым клапаном измеряют газ от 5 мл/мин до 100 л/мин и воду от 5 мл/мин до 2 л/мин, RK1812 и RK1814 дополнены фотодатчиком сигнализации. Игольчатые клапаны 2412 и 2412M, стабилизатор 2204 и пропорциональный клапан 3000 задают расход газа.

Регуляторы давления 6600 и 6610 держат давление после себя от 0,01 до 0,6 МПа и до 0,15 МПа, регулятор противодавления 6800 — давление до себя. Для питания регуляторов расхода есть блоки PSK-FB на 1, 3 и 6 приборов и пульт CR-400B.

Генераторы газов и смесители

KOFLOC выпускает генераторы азота, кислорода, озона, водорода и чистого сухого воздуха. Компактный генератор азота Mini-CUBE даёт чистоту от 99 до 99,999 % при давлении на выходе до 0,5 МПа, малые генераторы кислорода MOX — 4 и 8 нл/мин.

Генератор водорода KOH получает водород чистотой 99,999 % электролизом воды, генератор озона MPZ использует кислород из воздуха, выделенный методом PSA. Смеситель газов BRENDA на регуляторах расхода KOFLOC даёт от 10 SCCM до 50 SLM на линию и до 100 SLM суммарно.

KOFLOC и названия моделей — товарные знаки их правообладателей. Они указаны только для обозначения оборудования, для которого мы подбираем запчасти. Компания SpareX не является официальным дилером, дистрибьютором или представителем KOFLOC и не связана с правообладателем. Происхождение, документы и гарантия указываются по каждой позиции в коммерческом предложении.