SENS4 / Sens4 A/S 真空变送器与数字控制器

丹麦 SENS4 / Sens4 A/S 工业真空测量设备：SmartPirani VPM-5 微机电皮拉尼真空变送器、Loadlock VPM-7 预真空进样舱传感器、TriCap VPM-15 复合型宽量程真空计、DiCapATM VDM-7 陶瓷电容薄膜规与 TrueVac TVC-3 多通道控制器。依据设备铭牌提供专业技术选型与配套服务。

SENS4 SmartPirani VPM-5 宽量程皮拉尼真空变送器

SENS4 SmartPirani VPM-5 宽量程真空变送器采用微机电热导热损测量技术，测量范围覆盖九个数量级（1.0E-6 至 1333 毫巴）。高稳定性微机电传感器具备极佳零点稳定性，有效消除环境温度波动引起的读数漂移，支持陶瓷或聚对二甲苯防腐涂层。

九个数量级超宽真空测量范围覆盖 1.0E-6 至 1333 毫巴绝对压力
新型硅基微机电热导传感器具备极高零点稳定性与优异重复性指标
可选陶瓷保护层或聚对二甲苯钝化涂层以抵御高腐蚀性工艺气体侵蚀
集成标准模拟电压输出与数字多分支 RS-485 通讯接口协议

SENS4 LoadlockPirani VPM-7 预真空进样舱专用真空变送器

SENS4 LoadlockPirani VPM-7 专为半导体制造设备快速进样预真空舱与装载锁压力控制设计。集成高精度大气差压开关元件，在快速抽真空与高纯氮气破真空回充循环中提供可靠联锁保护，防止工艺腔体插板阀在压差异常时发生误动作。

内置高灵敏度大气压力参考传感器实现进样舱破真空精准差压控制
快速固态继电器逻辑输出用于真空插板阀与机械密封门联锁防护
实现从高真空基底压力至大气环境压力的连续无缝精准监测跟踪
经受数万次快速充气与抽气循环冲击的高机械可靠性紧凑结构设计

SENS4 TriCap VPM-15 复合型宽量程真空变送器

SENS4 TriCap VPM-15 复合型真空变送器将微机电皮拉尼传感器与电容薄膜规巧妙结合于紧凑机身之内。独创 CDG AutoZero 零点自动校准算法，在高真空状态下自动对电容规进行零点偏置修正，提供跨越 1.0E-6 至 1333 毫巴的高重复性测量。

微机电热导与电容薄膜双传感器融合技术实现无缝量程线性切换
CDG AutoZero 智能自动零点补偿技术彻底免除繁琐人工周期性归零
在 5E-3 至 1333 毫巴中低真空温区提供与被测气体成分无关读数
不锈钢高密封金属机体结构标配 ISO-KF 系列国际标准真空法兰连接

SENS4 DiCapATM VDM-7 陶瓷电容薄膜绝对压力变送器

SENS4 DiCapATM VDM-7 高精度电容薄膜真空变送器采用双氧化铝陶瓷膜片测量单元，测量结果完全不受被测气体分子种类与浓度配比影响。在 5.0E-3 至 1333 毫巴测量量程内为等离子体干法刻蚀、化学镀膜与特种冶金设备提供精确压力遥测数据。

基于陶瓷膜片物理形变位移原理实现与气体物理种类无关的直接测量
超高纯度耐腐蚀氧化铝陶瓷感应膜片有效抵御腐蚀性卤素气体侵蚀
内置高灵敏度集成温度补偿电路显著抑制环境工况温度阶跃漂移
具备两路可编程设定值报警继电器输出，便捷构建自动化闭环控制

SENS4 TrueVac TVC-3 多通道触摸屏真空控制器

SENS4 TrueVac TVC-3 多通道数字化真空控制器用于工业真空系统数据采集、集中显示与自动化闭环控制。配备 4 英寸高分辨率彩色触摸屏界面，支持单通道、双通道及三通道硬件配置，并高度兼容 SENS4 本厂以及第三方品牌多种模拟变送器。

灵活模块化架构支持单通道、双通道及三通道独立传感器输入配置
四英寸高对比度彩色触摸液晶屏幕直观实时绘制真空度变化趋势曲线
具备广泛信号兼容性，支持 SENS4 变送器与第三方模拟真空计接入
配置以太网、USB 及 RS-485 工业通讯端口便于并入工厂中控网络

SENS4 TrueVac TVC-1 单通道显示器与 PSU-1 电源配件

SENS4 TrueVac TVC-1 紧凑型单通道显示器与 PSU-1 稳压电源模块为真空变送器提供独立供电与就地数值显示。模块支持 DIN 导轨卡扣安装或控制机柜面板嵌入，为各类真空成套设备提供稳定、低噪声的现场压力监测与参数配置节点。

紧凑小巧机壳结构专为标准 35 毫米 DIN 工业导轨或面板开孔安装设计
提供高洁净低纹波 24 伏直流稳压电源输出保障高灵敏度传感器精度
配套高品质 RS-485 转 USB 隔离通讯电缆实现与工控机即插即用连接
支持专属 S4-Connect 电脑配置软件快速设定继电器阈值与数据记录

SmartPirani VPM-5 热导微机电真空变送器零点校准规程

保障 SENS4 SmartPirani VPM-5 宽量程真空变送器在中高真空区间的测量精度，依赖于周期性零点检查与大气压基准校对。硅基微机电热导感应膜片通过测量残余气体分子的热传导率计算真空度。在真空退火炉与物理气相沉积设备长期运行中，高温油气沉淀物易附着于传感器微腔内。定期预防维护需在系统抽空至低于 1.0E-6 毫巴的高真空状态下比对读数。若发现读数偏移，技术人员可通过配套 S4-Connect 软件工具执行数字化快捷归零操作。

VPM-7 预真空进样舱传感器大气差压开关检测与维护

半导体制造设备快速进样预真空舱的安全运转高度依赖 SENS4 LoadlockPirani VPM-7 变送器的精准控制。内置微差压传感器持续比对装载锁内部残余压力与洁净室当前大气压基线。在开启进样舱机械密封门之前，主控系统必须接收到固态继电器闭合信号以确保两侧完全等压。法兰滤网若沉积颗粒杂质会延长回充氮气时的压力响应时间。周期性检修包括使用高纯压缩干燥空气吹扫接口滤网，并校验报警继电器的设定阈值。

TriCap VPM-15 复合真空计 CDG AutoZero 智能自动零点补偿

SENS4 TriCap VPM-15 复合型真空变送器集成了微机电皮拉尼与电容薄膜规，并搭载 CDG AutoZero 智能自动校准算法。当主真空室抽真空至 5.0E-3 毫巴以下温区时，内置微处理器自动捕捉电容薄膜规零点漂移量并实施在线算法补偿。这一机制彻底免除了将真空计送往实验室人工离线标定的停机成本。为防止快速充气破坏敏感膜片，仪器内部设有缓冲节流结构。在安装密封检查过程中，建议使用氦质谱检漏仪对法兰接头实施密封性复核。

DiCapATM VDM-7 全量程陶瓷电容薄膜规独立测量特性与防护

SENS4 DiCapATM VDM-7 陶瓷电容薄膜真空计基于物理机械形变原理，提供完全不受工艺气体成分影响的真实压力读数。高纯氧化铝陶瓷感应膜片在压差作用下微量位移，调节电极电容值，感应层不与腐蚀性气体产生化学反应。在等离子体刻蚀与化学气相沉积工艺中，接口法兰直接暴露于腐蚀性卤素气体环境。为防止工艺蒸汽在膜片表面冷凝造成读数漂移，建议加装四十五摄氏度外置恒温加热套，并定期排查电容信号稳定性。

TrueVac TVC-3 多通道真空控制器工控网络通讯集成

SENS4 TrueVac TVC-3 数字化真空控制器是车间多套真空机组集中监测与联锁控制的核心中枢。四英寸彩色触摸液晶屏可实时绘制各通道抽气衰减曲线，并清晰指示多路报警继电器的开闭状态。控制器支持通过 RS-485 接口运行 Modbus RTU 协议，或通过以太网端口接入 Modbus TCP 工控上位机网络。在通道参数配置界面中，工程师可设定继电器动作回差并录入适配参数。仪表配置参数支持通过前置 USB 维护端口一键导出至移动存储设备备份。

TVC-1 就地显示仪表安装与 PSU-1 稳压电源模块配置规范

SENS4 系列 VPM 与 VDM 高灵敏度真空变送器的信号稳定度直接取决于输入直流供电电源的纹波品质。SENS4 PSU-1 紧凑型稳压电源模块输出洁净的二十四伏直流电压，有效滤除电网高频杂波干扰。TrueVac TVC-1 仪表单元支持标准三十五毫米导轨卡扣固定或机柜开孔面板安装。变送器传输模拟量与数字信号的 RS-485 电缆必须选用双绞屏蔽线缆，并与分子泵变频驱动器的大功率动力电缆分槽走线，避免强电磁场谐波干扰信号采集精度。

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