英国 Henniker Plasma（海尼克等离子）真空与大气压等离子表面处理系统

英国 Henniker Plasma（海尼克等离子）致力于提供专业的真空与大气压等离子体表面处理解决方案，涵盖高精度微清洁、表面能量活化改性及功能性纳米涂层沉积。

Henniker HPT-100 与 HPT-200 台式真空等离子清洗机

英国 Henniker HPT-100 与 HPT-200 台式低压等离子清洗机专用于微电子、高分子与微流控芯片的高精度表面活化与除烃。设备配备触摸屏控制、O2/Ar/N2 数字化质量流量计混合配气歧管，以及最高 200W 可调射频发生器。

工业级 13.56 MHz 射频等离子体发生器，输出功率 0 至 200W 连续可调
直径 100 毫米不锈钢或石英真空反应腔室，配备平放样品托盘
集成双通道数字化质量流量控制器（MFC）与机载气体混合歧管
高效清除碳氢有机污染物，显著提升 PDMS、高分子材料与金属的表面润湿性

Henniker HPT-300 与 HPT-500 加深型真空等离子表面处理系统

Henniker HPT-300 与 HPT-500 加深型真空等离子表面处理系统专为大尺寸工件与半导体晶圆花篮批处理设计。腔室深度达 500 毫米，配备多层抽拉样品支架、脉冲射频等离子发生器及耐腐蚀密封圈，支持复杂工艺配方。

延伸型真空反应腔室深度达 500 毫米，容纳大型异形工件与晶圆清洗花篮
多层可拆卸穿孔不锈钢或阳极氧化铝置物架，实现批量样品均匀等离子轰击
先进脉冲射频调制模式，有效避免对热敏高分子基底产生热损伤
兼容全干式或配置 Fomblin 惰性氟化油的耐腐蚀机械旋片真空泵组

Henniker Nebula 工业级大容量真空等离子处理设备

英国 Henniker Nebula 工业级真空等离子处理系统专为批量生产与功能性纳米涂层沉积打造。系统配备 50 至 150 升大容量箱式腔室、工业 PLC 触摸屏、用于散装小零件处理的旋转滚筒以及单体气相进样口。

50 至 150 升工业级大型真空腔室容量，满足汽车与医疗器械大批量处理需求
工业 PLC 控制系统与彩色人机触控屏，支持工艺配方存储与参数溯源导出
可选配穿孔旋转滚筒装置，实现散装小五金与微型注塑件的高效翻滚均匀活化
选配单体液体气化注入歧管，用于超疏水或生物相容性功能纳米涂层聚合

Henniker Cirrus、Nimbus 与 Altus 大气压等离子喷枪

英国 Henniker Cirrus、Nimbus 与 Altus 大气压等离子系统无需真空腔体，可直接集成于高速生产线。等离子喷炬仅需洁净干燥压缩空气（CDA）即可连续运转，大幅提升工程塑料、金属与复合材料的粘接附着力。

Cirrus 单喷头紧凑型大气等离子喷枪，处理宽度约 10 至 12 毫米
Nimbus 双喷头系统，支持运动卷材的上下双面同时活化或双倍宽度处理
Altus 多喷嘴阵列集成 4 至 8 支喷炬，满足 100 毫米宽幅在线连续生产需求
仅需 5 至 8 bar 洁净干燥压缩空气即可稳定激发，杜绝昂贵特种气体消耗

Henniker Stratus 机器人三维自动化等离子处理工作站

英国 Henniker Stratus 全自动等离子机器人加工单元集成大气等离子喷炬与高精度三轴机械手臂。设备工作行程覆盖 200x200 毫米至 800x1200 毫米，配备示教盒图形化编程系统，可存储数百种复杂三维立体零件轨迹。

集成高精度三轴闭环伺服运动平台，支持圆弧插补与连续三维曲面运动控制
工作台加工范围涵盖 200x200x100 毫米至 800x1200x150 毫米多样化行程
手持示教手柄编程终端，可快速示教复杂空间曲面并存储多道产品生产程序
全封闭式安全防护机柜，配备联锁安全门限位开关与废气抽风接口

Henniker HPT-100 TEM 透射与扫描电镜样品专用等离子清洗机

Henniker HPT-100 TEM 专用等离子清洗机专用于透射电镜（TEM）与扫描电镜（SEM）样品杆及载网的去烃脱脂。设备采用低功率氧气与氩气等离子体温和处理，彻底消除碳氢沉积并保护脆弱的超薄碳膜及石墨烯载网。

定制真空转接接口，完美匹配 JEOL、FEI/赛默飞、日立等各品牌 TEM 样品杆
0 至 100W 超细调射频电源，杜绝高能量轰击损伤超薄碳支撑膜与石墨烯网
双路数字化 MFC 精确输送高纯氩气与氧气混合气，实现全自动化配方运行
彻底消除高能电子束轰击诱发的样品表面积碳污染，确保亚埃级高分辨成像

英国 Henniker 等离子体表面处理技术原理与行业应用

英国 Henniker Plasma（海尼克等离子）专业致力于真空低压与常压大气等离子体表面处理系统的研发制造，广泛服务于半导体芯片、生物医疗耗材、微流控芯片、航空航天复合材料及汽车电子制造领域。等离子体表面改性技术无需使用化学溶剂或机械研磨，即可在分子层级彻底清除基底表面残留的烃类有机污染物并显著提升表面能。产品矩阵涵盖实验室微型 HPT 系列台式等离子清洗机、工业量产型 Nebula 箱式真空反应舱、Cirrus 与 Nimbus 大气等离子喷炬，以及 Stratus 三轴机器人全自动工作站。

等离子体精密除烃清洗与极性基团表面活化化学机理

在低压辉光放电环境下，13.56 MHz 工业射频电场将通入的氧气、氩气、氮气或氢氩混合气电离为高活性自由基、电子与紫外光子。活性氧自由基与待处理材料表面的有机油脂和脱模剂残留发生氧化解离反应，迅速转化为气态二氧化碳和水蒸气排出腔体。与此同时，高能离子撞击在高分子材料（如 PTFE、PEEK、PDMS、聚酰亚胺等）表面打开共价键并接枝羟基、羧基等强极性亲水官能团，使材料接触角急剧下降，从而成倍提升涂胶、封装焊接、微流控键合及功能性印刷的界面结合牢固度。

设备选型指南：HPT 台式设备、Nebula 工业反应舱与自动化生产线集成

Henniker 提供了模块化且高度灵活的产品选型方案以契合不同产能与工艺需求。高校科研院所与企业研发实验室首选 HPT-100 与 HPT-200 台式系统，集成精密数字化质量流量控制器（MFC）与触控配方存储功能；面向医疗注射器、汽车注塑密封件等大批量工业生产，可选配 50 至 150 升大容量 Nebula 箱式系统，支持多层样品搁架或用于散装零件均匀活化的连续旋转滚筒；对于卷对卷薄膜或连续汽车流水线，则可直接采用无需真空环境的 Cirrus 大气喷枪或 Stratus 三轴全自动机器人单元。

Henniker Plasma及型号名称为其各自权利人的商标，仅用于说明我们为之寻找配件的设备。SpareX 不是Henniker Plasma的官方经销商、分销商或代表，与商标权利人无关联。每项产品的来源、文件和质保在报价单中逐项说明。