Woosung Vacuum 宇成真空工业设备与真空零部件

韩国 Woosung Vacuum 宇成真空专业工业真空泵与真空机组系统,为半导体电子制造、真空冶金热处理、制药化工及精密科研领域提供高可靠抽真空解决方案。

Woosung MVP 小型双级油封旋片式真空泵

韩国 Woosung Vacuum 宇成真空 MVP 小型系列双级油封旋片真空泵涵盖 MVP6 至 MVP90 规格,专为获取高真空度工况研发。泵体内部集成恒压强制润滑系统、内置进气止回逆止阀以及可调气镇阀门,有效抵御突发停电造成的真空腔体返油污染。

  • 抽气速率范围覆盖每小时 6 至 90 立方米,兼顾实验室与产线抽真空工况
  • 关闭气镇阀状态下极限工作真空度可达 0.0005 Torr 级别稳定深度
  • 采用国际标准 ISO-KF 快卸法兰接口,便于与真空测量规管及管道快速连接
  • 依据真空泵铭牌技术参数与工况代号提供高耐磨旋片、油封圈垫片及阀片选型

Woosung MVP 大型工业级双级旋片式真空泵

Woosung Vacuum 宇成真空 MVP 大型双级工业旋片泵(MVP120 至 MVP360)适用于大抽速重载真空作业。整机配备大通径进气口、强制循环油润滑管路与高效油雾分离装置,能够在真空热处理炉、真空浸渍以及大型真空镀膜设备中保持长时间不间断运转。

  • 整机抽速规格涵盖每小时 120 至 360 立方米,具备强劲的大容积排气能力
  • 进排气连接口采用 ISO63 至 ISO100 工业级标准法兰,密封连接紧固可靠
  • 配备大容量储油箱与恒压强制循环润滑油路,大幅提升主轴瓦耐磨寿命
  • 支持根据设备出厂铭牌代码快速核对排气油雾滤芯、叶片转子与机械密封

Woosung WSS 与 WST 系列单级油封旋片真空泵

Woosung 宇成真空 WSS 系列(WSS 120B 至 480B)及 WST 系列单级旋片真空泵,专为低中真空粗抽与工业流水线应用打造。整机结构紧凑、润滑油消耗率低,内置高效排气油雾分离滤芯与自动防倒吸装置,广泛应用于真空包装、真空吸附成型及干燥设备。

  • 额定抽速高达每小时 480 立方米,在大气压至粗真空区间具备极高排气效率
  • 内置多层复合阻截油雾分离滤芯,大幅度削减排气口逸散油烟与微粒物
  • 优化内部油路流向与散热筋肋布局,确保连续生产工况下温度恒定受控
  • 精准提供油气分离器滤芯、耐磨旋片组件、法兰连接件及密封包技术参数

Woosung FRU 与 WSR 系列机械增压罗茨真空泵

Woosung Vacuum 宇成真空 FRU 系列罗茨真空泵(FRU-180 至 FRU-1200)采用精密双叶凸轮结构,作为前级旋片泵的机械增压级配合使用。该泵在中高真空区间能够将主管道抽速提升 5 至 10 倍,广泛部署于真空冶炼、大型真空镀膜与高洁净排气系统。

  • 一对无摩擦精密啮合的同步凸轮转子,实现无油压缩与高效平稳排气流动
  • 增压抽气能力可提升至每小时 1200 立方米,快速缩短工艺腔体抽真空周期
  • 压缩腔内部无油润滑设计,杜绝回油污染风险,适合洁净真空工艺管路
  • 根据机组铭牌快速匹配同步齿轮箱组件、深沟球轴承、传动联轴器及密封圈

Woosung MDP 与 WSD 系列无油干式真空泵

Woosung 宇成真空 MDP 与 WSD 系列干式真空泵专为对油气污染零容忍的严苛工艺环境设计。抽气腔内部各运动部件之间实现非接触啮合运转,腔内无需任何润滑介质,彻底消除碳氢化合物蒸气返流,非常适合半导体芯片制程、新能源电池烘烤与精细化工合成。

  • 全干式无油压缩流道结构,保障高洁净真空工艺腔体不受任何油气杂质干扰
  • 流道表面可选配特种防腐蚀耐磨涂层,耐受酸碱化学混合腐蚀性气体抽拔
  • 配合变频电机智能平稳调速,根据系统实时真空负荷动态调节输出功率
  • 依据工况参数提供氮气清扫吹扫电磁阀、端盖动密封环与温控保护传感器

Woosung TMF 油雾过滤器、排气滤芯与维修配件

韩国 Woosung Vacuum 宇成真空配套附件涵盖 TMF 系列排气油雾过滤器、进气粉尘滤清器、真空截止阀以及大修保养包。高效滤芯可捕集排气中的微细油雾粒子,保护生产车间作业空气环境,同时显著延长真空泵旋片、轴承及密封面机械服役周期。

  • TMF 系列油雾捕集器拦截效率高达 99.9%,实现排气端油气高效冷凝回流
  • 采用憎油疏水超细微玻璃纤维滤芯滤材,具备优异通气透量与长效纳污能力
  • 配套专用真空泵矿物油及合成润滑油,确保护照旋片与缸体润滑顺畅密封
  • 根据零部件代号与泵体铭牌,快速核配全套氟橡胶密封圈、油封及压力弹簧

Woosung MVP 系列双级旋片式真空泵工作原理与结构解析

韩国 Woosung Vacuum 宇成真空 MVP 系列双级油封旋片真空泵依靠两个前后串联的圆柱形气缸实现多级排气压缩。第一级叶轮在较低吸气压力下快速截获工艺管道内的稀薄气体,将其初级压缩后传递至第二级高压缸体,最终排入大气管道。设备内置的自吸式防返油截止阀门在电源突发中断时瞬间闭合,杜绝真空油液沿进气法兰倒流入被抽真空腔室。精密配置的气镇调节阀能够适度吸入干燥环境空气,有效防止水蒸气及挥发性溶剂在第二级压缩腔内冷凝乳化,长期维持储油箱内真空专用油品的纯净度与润滑粘度。

WSS 系列单级旋片真空泵技术特点与工业粗抽工况应用

Woosung 宇成真空 WSS 系列单级旋片泵专为长时间连续运转的低中真空工艺打造。整机采用坚固的高强度合金缸体,集成了大容量储油槽与高效排气油气分离装置,极具空间紧凑性,非常适合集成安装于撬装设备内部。偏心转子槽内嵌装有特种复合高耐磨叶片,在高温高负荷摩擦工况下具备极佳的尺寸稳定性与抗冲击性能。泵体自带的强制循环润滑油路为精密轴承座与机械密封端面持续提供润滑液膜与对流散热,显著削减机械运转摩擦噪音,保障设备在包装产线或真空脱气工序中实现平稳静音运行。

FRU 系列罗茨机械增压泵与前级旋片泵系统集成设计

Woosung Vacuum 宇成真空 FRU 系列罗茨机械增压泵通常作为中间增压级,与前级 MVP 或 WSS 旋片泵配合构成复合高真空机组。工作腔内部由一对高精度动平衡同步8字形凸轮转子构成,两转子在传动齿轮箱带动下保持同速反向回转,转子之间及转子与壳壁之间微间隙运转而无任何机械接触。由于排气流道无任何液态润滑剂,该增压机组在工作过程中完全不会向被抽系统引入碳氢化合物油蒸气。在过渡压力区间,罗茨增压级能够将有效抽气速度提升数倍至数十倍,极大压缩了真空热处理电炉与大型真空镀膜室的排气抽空耗时。

MDP 与 WSD 系列干式无油真空泵在高洁净制造中的应用

Woosung 宇成真空 MDP 及 WSD 系列干式无油螺杆与爪式真空泵面向半导体晶圆制造、新能源锂电池干燥及高纯化学气相沉积等严格禁止油气返流的洁净环境。腔体内部高速旋转的啮合型线转子完全处于干燥无油状态,彻底阻断了润滑油脂对高精度工艺反应腔的污染通道。气缸内壁与转子型面均采用耐腐蚀特殊化学镀层处理,具备极强抗酸碱腐蚀与耐磨损能力。机组配置专用氮气吹扫隔离接口,使轴承室与压缩腔完全隔绝,有效阻止腐蚀性有毒气体进入润滑箱或造成微小颗粒析出卡滞。

TMF 系列排气油雾过滤器工作机理与滤芯维护要点

为保障工业生产车间洁净空气指标,Woosung 油封式旋片真空泵排气口均建议串联安装 TMF 系列排气油雾分离捕集器。滤清器筒体内部装配有由多层亲油疏水超细硼硅酸盐玻璃纤维紧密缠绕成型的聚结滤芯。当排气流穿过滤材时,高速流动的悬浮微细油雾粒子被阻截碰撞并聚集成大油滴,顺着滤芯外壁回流至收集腔底部,再经专用单向回油管道重新吸入泵体油箱循环使用。日常定期巡检滤芯前后端压差变送器数值,及时更换阻力超标滤芯,能有效防止主驱动电机过载发热并维持排气通畅。

真空泵常规巡检规范、高磨损旋片与氟橡胶密封包更换

Woosung Vacuum 真空设备的日常规范保养涵盖通过油位视镜检查油质浑浊度与油位高度、按周期更换高品质真空润滑油以及清理吸附金属铁屑的磁性排污油塞。当运行达到预防性大修周期时,需由受训技术人员拆解泵体检验气缸内圆弧面磨损形变量,精密测量转子滑动叶片的高度磨耗与直线度,并全面换装成套氟橡胶耐热密封垫圈与油封。选配规格吻合的专业机械配件进行检修组装,能够恢复设备出厂级极限绝压性能指标,杜绝重载连续生产过程中突发卡缸或压力泄漏风险。

工业设备

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