Вакуумные и атмосферные плазменные системы Henniker Plasma
Британский производитель Henniker Plasma разрабатывает и производит полный спектр лабораторных и промышленных плазменных систем для прецизионной очистки, активации поверхности перед склеиванием и нанесения функциональных нанопокрытий.
Настольные вакуумные плазменные очистители Henniker HPT-100 и HPT-200
Настольные вакуумные плазменные очистители Henniker HPT-100 и HPT-200 обеспечивают очистку, активацию и микротравление образцов. Установки оснащены сенсорным экраном, цифровыми расходомерами MFC для газов O2, Ar, N2 и смесителем при мощности ВЧ-генератора 13.56 МГц до 200 Вт.
- ВЧ-генератор RF 13.56 МГц с регулировкой выходной мощности в диапазоне 0–200 Вт.
- Камера из нержавеющей стали диаметром 100 мм с плоским поддоном для образцов.
- Цифровые контроллеры массового расхода газов MFC с прецизионным смесителем.
- Удаление органических загрязнений и микротравление полимеров, стекла и кремния.
Глубококамерные вакуумные плазменные системы Henniker HPT-300 и HPT-500
Плазменные установки увеличенного формата Henniker HPT-300 и HPT-500 рассчитаны на обработку объемных деталей и кассет с кремниевыми пластинами. Вакуумная камера глубиной до 500 мм поддерживает выдвижные полки, импульсный режим ВЧ-генератора и работу с агрессивными газами.
- Удлиненная рабочая камера глубиной до 500 мм для объемных деталей и кассет пластин.
- Многоярусные выдвижные лотки из перфорированной нержавеющей стали или алюминия.
- Импульсный режим генератора для деликатной безнагревной обработки термочувствительных плат.
- Совместимость с коррозионно-стойкими форвакуумными насосами с маслом Fomblin.
Промышленные вакуумные плазменные установки Henniker серии Nebula
Промышленные вакуумные плазменные установки Henniker серии Nebula предназначены для серийной обработки и нанесения нанопокрытий. Камеры объемом от 50 до 150 л оснащены контроллером PLC с панелью HMI, вращающимся барабаном для мелких изделий и каналом дозирования мономеров.
- Рабочий объем вакуумных камер от 50 до 150 литров для серийных производственных партий.
- Промышленный контроллер PLC с цветным интерфейсом HMI и протоколированием рецептов.
- Сменный перфорированный вращающийся барабан для равномерной обработки мелких деталей.
- Опциональный дозатор мономеров для плазмохимического осаждения тонких полимерных пленок.
Атмосферные плазменные струйные генераторы Cirrus, Nimbus и Altus
Атмосферные плазменные системы Henniker Cirrus, Nimbus и Altus обеспечивают непрерывную активацию материалов без вакуума. Плазменные головки работают на сухом сжатом воздухе CDA, гарантируя повышение поверхностной энергии полимеров, металлов и композитов перед склеиванием.
- Cirrus — компактная односопловая атмосферная плазменная горелка с зоной обработки 10–12 мм.
- Nimbus — двухсопловая система для двусторонней обработки лент или расширенной полосы.
- Altus — модульная многосопловая система из 4–8 форсунок для конвейерных полотен до 100 мм.
- Работа на сухом сжатом воздухе давлением 5–8 бар без применения дорогостоящих газов.
Роботизированные ячейки атмосферной плазменной обработки Stratus
Роботизированные ячейки Henniker Stratus представляют собой комплексы атмосферной плазменной обработки с 3-координатным манипулятором. Оборудование обеспечивает автоматическую подготовку сложных 3D-деталей в рабочих зонах от 200x200 мм до 800x1200 мм с обучением через пульт.
- Интегрированный 3-осевой координатный манипулятор с шаговыми сервоприводами высокой точности.
- Рабочие зоны стола от 200x200x100 мм до 800x1200x150 мм под различные габариты деталей.
- Выносной пульт обучения teach-pendant для быстрого программирования сложных траекторий.
- Защитная кабина с блокировочными датчиками безопасности и встроенным вытяжным патрубком.
Специализированный плазменный очиститель образцов Henniker HPT-100 TEM
Специализированная плазменная система Henniker HPT-100 TEM предназначена для бережной деконтаминации держателей образцов и сеток микроскопов TEM и SEM. Установка удаляет углеводородные пленки в плазме кислорода и аргона, предотвращая загрязнение колонны микроскопа.
- Специальные вакуумные порты-адаптеры для ввода стержней держателей микроскопов JEOL, FEI, Thermo.
- Прецизионный ВЧ-генератор с регулировкой мощности от 0 до 100 Вт для защиты тонких сеток.
- Двухканальная подача газов с цифровыми контроллерами MFC для очищающих смесей Ar/O2.
- Предотвращение накопления углеродного нагара под электронным пучком при субнанометровом анализе.
Конструктивные особенности и сферы применения плазменных систем Henniker
Британская компания Henniker Plasma разрабатывает вакуумные и атмосферные плазменные комплексы для высокотехнологичных отраслей промышленности: микроэлектроники, аэрокосмического приборостроения, медицины, биоинженерии и производства полимерных изделий.
Плазменная обработка позволяет радикально повысить гидрофильность и поверхностную энергию материалов без применения токсичных химических растворителей и механической абразивной зачистки.
Оборудование разделено на компактные лабораторные настольные очистители серии HPT, серийные промышленные вакуумные камеры Nebula увеличенного объема, автономные плазменные факелы Cirrus/Nimbus и роботизированные производственные ячейки Stratus.
Механизмы плазменной очистки и функциональной активации поверхности
В процессе обработки в низкотемпературной плазме высокочастотный электрический разряд 13.56 МГц переводит технологические газы (кислород, аргон, азот, водородные смеси) в ионизированное состояние.
Активные радикалы кислорода вступают в химическую реакцию с остаточными молекулами органических загрязнений, переводя углеводороды в летучие соединения CO2 и H2O, непрерывно откачиваемые вакуумным насосом.
Одновременно происходит прививка функциональных полярных химических групп (карбонильных, гидроксильных, карбоксильных), что повышает смачиваемость поверхности полимеров (PTFE, PEEK, PDMS, полиимид) и гарантирует надежную адгезию клеев, компаундов и металлических покрытий.
Подбор конфигурации: настольные комплексы HPT, камеры Nebula и атмосферные модули
Выбор оптимальной конфигурации Henniker определяется производственными объемами, геометрией изделий и требованиями техпроцесса.
Для исследовательских лабораторий и мелкосерийных задач предназначены настольные системы HPT-100 и HPT-200 с цилиндрическими камерами и прецизионными контроллерами расхода газов MFC.
Для серийных сборочных линий рекомендуются промышленные камеры Nebula объемом до 150 литров с возможностью оснащения вращающимся перфорированным барабаном для сыпучих мелких компонентов.
Для непрерывной конвейерной интеграции без вакуума применяются атмосферные горелки Cirrus и Nimbus, а также роботизированные комплексы Stratus.
Henniker Plasma и названия моделей — товарные знаки их правообладателей. Они указаны только для обозначения оборудования, для которого мы подбираем запчасти. Компания SpareX не является официальным дилером, дистрибьютором или представителем Henniker Plasma и не связана с правообладателем. Происхождение, документы и гарантия указываются по каждой позиции в коммерческом предложении.
Другие производители оборудования
- Оборудование и запчасти Welch Vacuum
- Оборудование и запчасти Woosung Vacuum
- Оборудование и запчасти PVR
- Оборудование и запчасти UPCAST
Документы и источники
- Официальный портал Henniker Plasma: вакуумные и атмосферные системы плазменной обработки поверхности
- Брошюра изготовителя по атмосферным плазменным системам Cirrus и Nimbus с данными мировой базы инсталляций
- Техническое описание настольных вакуумных плазменных очистителей Henniker HPT-100 и HPT-200
- Специализированная система очистки держателей образцов электронной микроскопии HPT-100 TEM
- Промышленные вакуумные плазменные камеры большой вместимости Henniker Nebula
- Технические характеристики атмосферных плазменных горелок Henniker Cirrus и Altus
- Руководство по роботизированным ячейкам атмосферной плазменной обработки Henniker Stratus
- Контрольно-измерительные материалы для оценки поверхностной энергии Dyne
