Granville-Phillips 真空传感器与控制仪表

Granville-Phillips（MKS Instruments）高精度真空传感器与控制仪表，广泛应用于半导体制造、镀膜设备及科研腔体：按型号及法兰规格提供选型支持。

Granville-Phillips 275 系列 Convectron 对流增强型真空计

275 系列对流增强型皮拉尼真空传感器测量范围覆盖从大气压（1000 Torr）至 10^-4 Torr。该产品利用气体分子对流换热原理，测量精度与量程显著优于传统热电偶规管。出厂校准工艺可确保在连续生产中的稳定读数。

测量跨度覆盖 1000 至 10^-4 Torr，适用于粗真空与前级管路监测
每支规管出厂独立校验曲线，更换新规管时无需现场繁琐微调
可选 KF16、KF25、KF40 快卸法兰、CF35 超高真空法兰及螺纹接口
毫秒级热传导响应速度，可实时跟踪真空系统抽气与充气过程

Granville-Phillips 370 系列 Stabil-Ion 高精度全金属电离真空计

370 系列是基于贝阿结构的精密热阴极电离真空计，采用全金属不锈钢外壳构造。该结构规避了传统玻璃规管易破碎及氦气渗透的缺陷。产品广泛应用于半导体工艺设备、分子束外延、质谱分析仪以及高能物理研究腔体。

全金属焊接密封结构，彻底免除玻璃管体破碎与热变形风险
量程覆盖 10^-2 至 10^-11 Torr，适用于高真空与超高真空环境
刚性电极装配公差极小，避免因振动或烘烤导致的电极间距偏移
超低自身放气率设计，出厂校验参数在长期连续运行中高度稳定

Granville-Phillips 355 系列 Micro-Ion 微型热阴极电离传感器

355 系列是微型化贝阿式热阴极电离规，体积仅为传统规管的数分之一。极低的工作功耗显著减少了对周围真空测量环境的热辐射影响。配备双灯丝阴极结构，能够在工艺排气管路和半导体进样锁室中大幅延长维护间隔周期。

内部容积小于 10 cm3，非常适合安装在紧凑型阀岛与真空管道夹缝中
双灯丝阴极构造，当主灯丝老化断开时可迅速切换至备用灯丝继续工作
提供氧化钇涂层铱灯丝与耐用钨灯丝两种材质，适应不同工艺混合气体
测量范围 5*10^-2 至 10^-9 Torr，热辐射极低，避免对样品造成热扰动

Granville-Phillips 423 系列 I-Mag 反转磁控冷阴极真空传感器

423 系列采用反转磁控放电结构的冷阴极真空传感器，内部完全没有易损灯丝。传感器在遭遇突发性大气冲入时绝不会发生烧毁事故，并且对碳氢化合物与油脂污染具有极高耐受力。广泛用于工业真空镀膜机与高真空泵组监控。

无灯丝放电设计，完全避免因误充气或前级管道漏气引发的规管损坏
可拆卸式阳极与收集极结构，支持机械擦拭与化学溶剂清洗重复使用
测量范围覆盖 10^-2 至 10^-11 Torr，满足各类高真空系统工艺需求
耐受油蒸气返流与溅射粉尘沉积，电极放电稳定且维护更换极为简便

Granville-Phillips 307 与 475 系列多通道真空显示控制仪

307 与 475 系列控制仪表为 Convectron、Micro-Ion 及 Stabil-Ion 传感器提供稳定电源供应、微弱信号放大与数字化读数显示。仪表配备可编程过程设定点控制继电器、模拟量输出端口以及 RS-232/485 通信接口，方便接入上位机系统。

307 系列控制器可同时接入 2 路 Convectron 规管与 1 路高真空电离规管
475 系列为紧凑型导轨或机架仪表，专用于 1 路或 2 路 275 对流规管
内置独立整定继电器输出，用于联锁保护分子泵、扩散泵与真空隔离阀
具备 RS-232、RS-485 数字通信接口与 0–10V 对数模拟量信号传输功能

Granville-Phillips 连接电缆、真空法兰转接头与配套附件

屏蔽型信号连接电缆、真空法兰及安装转接套件，用于将各型号真空传感器与控制仪表可靠连接。高等级耐温绝缘层与带锁扣连接插头有效屏蔽射频等离子体源与大功率变频电机的电磁干扰，保障微弱测量信号的高保真度传输。

Convectron 专用电缆长度覆盖 3 至 30 米，具备双层静电屏蔽隔离网
适用于 370 系列与 307 控制器的高压耐高温烘烤专用高绝缘电缆组件
丰富真空法兰接头可选：KF16、KF25、CF16、CF35、VCR 压接端头与 NPT 螺纹
提供对应规格备用替换灯丝组件、耐高温无氧铜密封垫片与校准存储模块

Granville-Phillips 真空测量技术架构与工业仪表体系

MKS Instruments 旗下的 Granville-Phillips 品牌在半导体芯片制造、真空镀膜系统、质谱分析及表面物理研究领域占据重要地位。其产品线覆盖从大气压（1000 Torr）到超高真空（10^-11 Torr）的完整测量区间。核心产品包括 Convectron 对流增强型皮拉尼规、Micro-Ion 微型电离模块、全金属 Stabil-Ion 贝阿式高真空规管以及 I-Mag 反转磁控冷阴极传感器。整套仪表体系以测量重复性高、温漂低和抗干扰性能稳定著称。

对流换热与热阴极电离真空传感器的物理工作原理

275 系列 Convectron 真空规利用气体分子热传导与自然对流换热相结合的方式，将传统皮拉尼传感器的测量上限拓展至大气压范围。在高真空与超高真空区域，贝阿式热阴极规管通过受控发射电子使气体分子电离并收集正离子流以确定压力。Stabil-Ion 规管采用全金属不锈钢焊接外壳，免除了玻璃管破裂与烘烤电极变形问题；423 系列 I-Mag 冷阴极传感器利用反转磁控放电原理，无需热阴极灯丝即可稳定工作，不怕突发性漏气冲击。

真空接口法兰标准、空间安装方位与屏蔽电缆连接规范

真空传感器的规范安装需要严格遵循接口法兰规格与安装姿态要求。Convectron 规管在安装时必须保持轴线严格水平，以确保内部气体对流状态与出厂校验基准完全一致。传感器提供 ISO-KF 快速卡箍法兰（KF16、KF25、KF40）、CF 超高真空金属垫片法兰（CF16、CF35）及 VCR 金属面密封接头。各传感器通过带高密度屏蔽层的低噪声专用电缆与 307、350 或 475 控制器连接，有效屏蔽射频电源与等离子体发生器的电磁谐波干扰。

传感器日常维护清理、电极清洗与双灯丝切换管理

在溅射镀膜或化学气相沉积工艺中，传感器内部电极会逐渐附着工艺薄膜与油脂残渣。423 系列 I-Mag 冷阴极规管支持机械拆卸，可通过超声波溶剂清洗阳极柱并擦拭收集极恢复测量灵敏度。355 系列 Micro-Ion 微型规管内部集成双灯丝设计，当主灯丝老化断开时可迅速切换至辅助备用灯丝，避免因单根灯丝损坏导致整机真空室破空停机。定期检测发射电流与灯丝阻值有助于制定预防性维护计划。

真空控制仪表集成与自动化工艺联锁保护功能

Granville-Phillips 的 307、475、937B 及 946 控制器具备多通道信号采集与工艺联锁保护逻辑功能。内置可编程继电器设定点支持全自动抽气控制：在前级粗抽达到安全阈值后联锁启动分子泵，自动开启高真空插板阀，并在系统意外失真时紧急切断基底加热电源。具备 0–10V 对数模拟量输出与 RS-232/485 数字化通信接口，能够将实时真空度读数无缝传输至设备主 PLC 控制系统。

设备部件选型校核、参数确认与全套技术支持

SpareX 为各行业制造工厂及科研单位提供 Granville-Phillips 真空传感器、测量规管、控制仪表及信号电缆的专业选型与技术支持服务。我们依据设备型号、法兰标准、控制器接口及机身铭牌照片，协助用户精准匹配适用的备品配件。我们提供详尽的技术参数表与正规商业报价单，协助用户完成进出口报关与安全物流运输，确保真空关键部件能够可靠交付至用户现场。

Granville-Phillips及型号名称为其各自权利人的商标，仅用于说明我们为之寻找配件的设备。SpareX 不是Granville-Phillips的官方经销商、分销商或代表，与商标权利人无关联。每项产品的来源、文件和质保在报价单中逐项说明。