Вакуумные датчики и контроллеры Granville-Phillips

Прецизионные вакуумные датчики и контроллеры Granville-Phillips (MKS Instruments) для полупроводникового производства, напылительных систем и исследовательских камер: подбор по артикулу и фланцу.

Конвекционные датчики вакуума Granville-Phillips 275 Convectron

Тепловые конвекционно-усиленные пирани-датчики серии 275 измеряют давление от атмосферы (1000 Торр) до 10^-4 Торр. За счёт конвекции прибор превосходит традиционные термопарные преобразователи. Индивидуальная заводская калибровка обеспечивает повторяемость показаний.

Диапазон измерений от 1000 до 10^-4 Торр с высокой точностью в форвакууме
Индивидуальная заводская калибровка каждой трубки без подстройки на месте
Фланцевые соединения KF16, KF25, KF40, ConFlat CF35 и резьбовые порты NPT
Быстрое время термического отклика в миллисекундах для контроля откачки

Высоковакуумные датчики Granville-Phillips 370 Stabil-Ion

Прецизионные ионизационные преобразователи горячего катода типа Байярда-Альперта в цельнометаллическом исполнении. Конструкция исключает повреждение стекла и диффузию гелия. Применяются в аналитических приборах, полупроводниковых кластерах и исследовательских вакуумных камерах.

Цельнометаллическая сварная колба без хрупкого стеклянного корпуса
Диапазон стабильных измерений от 10^-2 до 10^-11 Торр для сверхвысокого вакуума
Прецизионная геометрия электродов с фиксацией межэлектродных зазоров
Сниженное газовыделение и стабильные калибровочные коэффициенты во времени

Компактные ионизационные датчики Granville-Phillips 355 Micro-Ion

Миниатюрные датчики Байярда-Альперта с объёмом в несколько раз меньше стандартных колб. Генерируют меньше тепла, минимизируя воздействие на технологическую среду. Двойная нить накала продлевает межсервисный интервал технологических откачных линий и вакуумных шлюзов.

Миниатюрный внутренний объём менее 10 см3 для монтажа в тесных зонах
Двойной катод с автоматическим или ручным переключением при перегорании
Нити накала из оксидированного иридия или вольфрама под агрессивные среды
Диапазон измерений от 5*10^-2 до 10^-9 Торр при пониженном тепловыделении

Магниторазрядные датчики Granville-Phillips 423 I-Mag с холодным катодом

Датчики вакуума с инверсно-магнетронной схемой разряда не содержат нити накала. Прибор не подвержен разрушению при внезапном напуске атмосферного воздуха и устойчив к загрязнению парами масел. Применяются в высоковакуумных насосных агрегатах и установках вакуумного напыления.

Отсутствие нити накала исключает перегорание при скачках давления
Разборный корпус для механической очистки и промывки анодного узла
Диапазон измерений от 10^-2 до 10^-11 Торр для высоковакуумных систем
Устойчивость к парам технологических масел и органическим загрязнениям

Многоканальные вакуумные контроллеры Granville-Phillips 307 и 475

Аппаратные блоки питания, обработки аналоговых сигналов и цифровой индикации для датчиков Convectron, Micro-Ion и Stabil-Ion. Контроллеры оснащены программируемыми реле технологических уставок, аналоговыми выходами и интерфейсами связи RS-232/485 для интеграции в АСУ ТП.

Контроллер 307: одновременное подключение 2 датчиков Convectron и 1 ионизационного
Контроллер 475: компактный щитовой блок для 1 или 2 датчиков серии 275
Релейные выходы с независимой настройкой порогов блокировок насосов и клапанов
Цифровые порты RS-232, RS-485 и аналоговые выходы напряжения 0–10 В

Соединительные кабели, фланцы и адаптеры Granville-Phillips

Экранированные кабели передачи сигналов, вакуумные фитинги и адаптеры для подключения измерительных датчиков к контроллерам. Термостойкая изоляция и байонетные разъёмы предотвращают наводки от высокочастотных генераторов плазмы и силового оборудования технологических линий.

Кабели Convectron длиной от 3 до 30 метров с двойным электростатическим экраном
Высоковольтные термостойкие кабели для ионизационных датчиков Stabil-Ion и 307
Переходные вакуумные фланцы KF16, KF25, CF16, CF35, фитинги VCR и адаптеры NPT
Запасные сменные нити накала, прокладки и калибровочные модули памяти

Технологические основы и архитектура вакуумных измерений Granville-Phillips

Оборудование марки Granville-Phillips корпорации MKS Instruments занимает ведущие позиции в полупроводниковом машиностроении, установках вакуумного напыления, электронной микроскопии и аналитическом приборостроении.

Измерительные приборы охватывают широкий диапазон давлений от атмосферного (1000 Торр) до сверхвысокого вакуума (10^-11 Торр).

Линейка включает конвекционные датчики Convectron, миниатюрные модули Micro-Ion, цельнометаллические датчики высокой стабильности Stabil-Ion и магниторазрядные преобразователи I-Mag с холодным катодом.

Приборы отличаются высокой точностью калибровки, долговременной стабильностью передаточной характеристики и устойчивостью к технологическим сбоям производственных линий.

Принципы работы конвекционных и ионизационных датчиков вакуума

Конвекционные датчики Convectron серии 275 используют комбинированный теплообмен: при низких давлениях теплопередача определяется теплопроводностью разреженного газа, а в области выше 1 Торр включается естественная конвекция, расширяющая рабочий диапазон до атмосферы.

В области высокого и сверхвысокого вакуума применяются датчики типа Байярда-Альперта: свободные электроны с термокатода ионизируют молекулы остаточных газов, а ионный ток пропорционален давлению.

В датчиках Stabil-Ion цельнометаллическая конструкция фиксирует зазоры электродов, а в серии 423 I-Mag инверсно-магнетронный разряд с холодным катодом работает без нити накала, исключая перегорание при внезапном срыве технологического вакуума.

Стандарты вакуумных соединений, кабельной обвязки и монтажа

Правильный монтаж измерительных датчиков требует соблюдения требований к вакуумным фланцам, ориентации в пространстве и герметичности стыков. Датчики Convectron монтируются строго горизонтально для сохранения заводской калибровки конвекционного потока.

Производитель предлагает стандартные присоединительные фланцы ISO-KF (KF16, KF25, KF40), сверхвысоковакуумные соединения ConFlat с медными прокладками (CF16, CF35) и металлические резьбовые адаптеры VCR.

Для передачи аналоговых и цифровых сигналов на контроллеры серий 307, 350 и 475 применяются многожильные экранированные кабели с низким уровнем шума и байонетными разъёмами. Надежная изоляция предотвращает наводки от мощных индукторов и плазмотронов.

Регламентное обслуживание, очистка и замена чувствительных элементов

В процессе длительной эксплуатации в условиях вакуумного напыления или откачки паров электроды датчиков покрываются технологическими плёнками и окислами.

Датчики с холодным катодом серии 423 I-Mag подлежат регулярной механической разборке, ультразвуковой очистке в растворителях и замене изношенного анодного узла.

В ионизационных датчиках Micro-Ion серии 355 конструктивно предусмотрен двухнитевой узел катода: при выработке ресурса основной нити прибор оперативно переключается на дублирующую, сохраняя непрерывность цикла вакуумной обработки.

Постоянный контроль токов эмиссии и омического сопротивления нити накала предотвращает внезапный аварийный останов технологических кластеров и шлюзов.

Интеграция датчиков в автоматизированные системы управления технологиями

Контроллеры Granville-Phillips серий 307, 475, 937B и 946 обеспечивают прецизионную аналого-цифровую обработку сигналов и формирование технологических блокировок вакуумного поста.

Программируемые релейные уставки переключают режимы работы вакуумной системы: запуск турбомолекулярных насосов при достижении форвакуума, открытие высоковакуумных затворов и аварийное отключение нагревателей при росте давления.

Аналоговые выходы напряжения (0–10 В с логарифмической характеристикой) и цифровые порты RS-232/485 позволяют непрерывно передавать текущие значения вакуума в центральный ПЛК технологической установки или цеховой диспетчерский пункт предприятия.

Это гарантирует безопасность дорогостоящих технологических кластеров.

Подбор приборов, проверка совместимости и поставка по артикулам

Команда SpareX осуществляет квалифицированный подбор вакуумных датчиков, блоков питания, контроллеров и соединительных кабелей Granville-Phillips для предприятий микроэлектроники, исследовательских лабораторий и машиностроительных производств.

Подбор выполняется по каталожному номеру производителя, коду типа фланца, марке технологического контроллера или фотографии заводского шильдика. Предлагаются стандартные промышленные модификации, высоковольтные соединительные кабели и монтажные переходники.

Все поставки сопровождаются технической документацией и расчётом с НДС 22% для юридических лиц с доставкой до предприятия заказчика надежными транспортными компаниями.

Granville-Phillips и названия моделей — товарные знаки их правообладателей. Они указаны только для обозначения оборудования, для которого мы подбираем запчасти. Компания SpareX не является официальным дилером, дистрибьютором или представителем Granville-Phillips и не связана с правообладателем. Происхождение, документы и гарантия указываются по каждой позиции в коммерческом предложении.