Фильтрационное оборудование, фильтры EDM, HEPA/ULPA и модули FFU OSHITARI
Прямые поставки оборудования и фильтров OSHITARI: оригинальные фильтры OMF для электроэрозионных станков, воздушные фильтры HEPA/ULPA, потолочные модули FFU, чистые боксы и обдувочные шлюзы.
Линейки оборудования и фильтров OSHITARI
Ниже представлены основные линейки промышленной фильтрации и оборудования для чистых помещений Oshitari Laboratory с подробными техническими характеристиками и областями применения.
Фильтры для электроэрозионных проволочно-вырезных станков Oshitari OMF
Поставляем оригинальные промышленные фильтры серии OMF (Oshitari Machine Filter), разработанные Oshitari Laboratory на основе более чем 40-летнего опыта в прецизионной фильтрации. Фильтры OMF применяются в электроэрозионных проволочно-вырезных станках ведущих мировых марок: Sodick, Fanuc, Mitsubishi Electric, Makino, Seibu, Hitachi. Конструкция внутреннего давления исключает деформацию фильтрующей шторы под напором насоса. В производстве используются специальные синтетические и целлюлозные волокна высокой плотности, не выделяющие растворимых фракций и ионов в деионизированную воду. Это предотвращает вторичные электрические микроразряды при обработке, существенно снижает шероховатость получаемой поверхности детали и продлевает срок службы ионообменной деионизационной смолы. При отключении и включении насоса станка накопившийся на поверхности фильтра шлам легко осыпается, что обеспечивает быстрое восстановление рабочего давления фильтрации.
Тонкость фильтрации: номинальная 1–3 мкм и 3–5 мкм для стабильной зеркальной электроэрозионной резки
Совместимость с оборудованием: прямая установка на станки Sodick, Fanuc Robocut, Mitsubishi MV/BA, Makino U-серии
Высокоэффективные воздушные фильтры HEPA и ULPA Oshitari
Oshitari Laboratory — исторический первопроходец в области ультратонкой фильтрации воздуха: в 1965 году компания первой в Японии разработала HEPA-фильтр Super Air Filter, соответствующий американскому военному стандарту MIL-STD, а в 1980 году создала первый в мире коммерческий фильтр класса ULPA для полупроводниковых фабрик LSI. Современная линейка фильтров Oshitari включает фильтры сверхвысокой эффективности HEPA (улавливание более 99.97%–99.99% частиц размером 0.3 мкм) и ULPA (задержание 99.9999% частиц размером от 0.1 мкм). Конструкции используют микростекловолокно высокой прочности с гидрофобными свойствами и бессепараторную или алюминиевую гофрированную сепарацию с минимальным начальным аэродинамическим сопротивлением, что снижает энергопотребление вентиляционных установок чистых комнат.
Серии HEPA-фильтров: Super Air Filter (S, US), безрамочные Super Z (S-Z, US-Z), компактные V-образные Super V (S-V)
Серии высокой пропускной способности: Miracle Filter (M-P, M-P1-AZ) и энергосберегающие Super Excel (S-L-AFA, S-LV)
Ультратонкая очистка ULPA: фильтрующие пакеты с эффективностью 99.9999% для чистых помещений классов ISO 1–ISO 4
Исполнения рам: анодированный алюминиевый профиль, оцинкованная или нержавеющая сталь, антистатический уплотнитель
Сферы применения: чистые производственные зоны полупроводников, микроэлектроника, фотолитография, фармацевтика
Фан-фильтровальные модули FFU (Fan Filter Unit) марки Oshitari являются ключевыми элементами формирования чистых зон в современных чистых комнатах с рециркуляцией воздуха. Oshitari производит стандартные модули серии O·FU и ультратихие энергоэффективные блоки серии O·FL с EC-моторами постоянного тока. Агрегаты оснащаются прецизионными рабочими колесами с назад загнутыми лопатками, обеспечивающими равномерный профиль скорости нисходящего воздушного потока (0.35–0.45 м/с ±10%) по всей рабочей площади фильтра. В модули интегрируются высокоэффективные фильтры HEPA или ULPA с полиуретановым гелевым или сухим уплотнением. Модули O·SU применяются для систем с центральной приточной вентиляцией без собственного мотора.
Серии модулей: FFU с вентилятором O·FU, малошумные энергосберегающие O·FL, пассивные фильтр-боксы O·SU
Габаритные стандарты: 600x600 мм, 600x900 мм, 600x1200 мм, 1200x1200 мм под потолочные системы T-Grid
Скорость воздушного потока: ламинарный поток 0.35–0.45 м/с с плавной электронной регулировкой оборотов
Низкий уровень шума: малошумная серия O·FL генерирует менее 48–52 дБ(А) при номинальной производительности
Управление и мониторинг: групповое сетевое управление FFU по протоколам RS-485 / Modbus для чистых комнат
Локальные чистые боксы и модульные кабины Oshitari (O·AB, O·KB)
Для организации зон с повышенным классом чистоты (ISO 5–ISO 7) внутри общепромышленных цехов Oshitari предлагает модульные чистые боксы серии O·AB (с анодированным алюминиевым жестким каркасом) и компактные быстросборные кабины O·KB. Конструкция бокса формирует изолированное пространство с постоянным избыточным давлением очищенного воздуха, подаваемого потолочными модулями FFU. Стены выполняются из прозрачных антистатических ПВХ-ламелей или жестких акриловых/поликарбонатных панелей, предотвращающих притяжение пыли электростатическим зарядом. Боксы поставляются в виде готовых сборочных комплектов, оснащаются светодиодным чистым освещением и дифференциальными манометрами контроля давления.
Каркас: легкий высокопрочный анодированный алюминиевый профиль с пазами для скрытого монтажа кабелей
Ограждение: прозрачный антистатический ПВХ (шторы или ламели) либо жесткие антистатические панели
Классы чистоты: достижение локального класса ISO 5 (класс 100) или ISO 6 (класс 1000) по стандарту ISO 14644-1
Потолочная группа: встроенные потолочные блоки FFU O·FL с фильтрами HEPA 99.99% и чистыми светильниками
Мобильность: исполнение на регулируемых виброопорах или поворотных колесах с тормозом для перемещения по цеху
Обдувочные воздушные шлюзы Oshitari Super Air Shower (O·AS)
Обдувочные шлюзы Oshitari серии Super Air Shower (O·AS) предотвращают занос пыли и микрочастиц в чистые производственные зоны. В шлюзе установлены регулируемые сопла из нержавеющей стали, выбрасывающие струи очищенного HEPA-фильтрами воздуха со скоростью более 25–28 м/с. Воздушные струи эффективно сдувают осевшие на спецодежде частицы, которые затем затягиваются через нижние рециркуляционные решетки в систему грубой и финишной фильтрации. Линейка O·AS включает модели с распашными дверями (O·AS-S/W), автоматическими сдвижными дверями (O·AS-AS), скоростными рулонными полотнами (O·AS-T-AR), рециркуляционные модели с контролем влажности (SR/WR), а также взрывозащищенные исполнения NA-S-Sd.
Скорость сопел: скорость струи воздуха на выходе из сопел не менее 25–28 м/с для эффективного обеспыливания
Конструкции дверей: распашные остекленные, автоматические раздвижные и скоростные рулонные ворота для тележек
Блокировка и безопасность: электромагнитная взаимоблокировка дверей (интерлок) с кнопками аварийной разблокировки
Цикл обдува: настраиваемое микропроцессорное реле времени с индикацией обратного отсчета (стандарт 10–30 с)
Специальные модификации: взрывозащищенные шлюзы NA-S-Sd и рециркуляционные камеры с подогревом воздуха
Передаточные шлюзы Pass Box марки Oshitari серии O·PB служат для безопасной передачи инструментов, полуфабрикатов и деталей между помещениями с разным классом чистоты без необходимости входа персонала. Внутренняя рабочая камера изготавливается из полированной нержавеющей стали SUS304 с плавными радиусными скруглениями углов для облегчения дезинфекции. Шлюзы оснащаются надежной взаимоблокировкой (Interlock), исключающей одновременное открытие обеих дверей и предотвращающей переток неочищенного воздуха. Oshitari производит стандартные пассивные шлюзы O·PB, активные шлюзы с встроенным модулем FFU/HEPA и обдувочными соплами (Air Shower Pass Box), а также шлюзы с бактерицидными УФ-лампами для фармацевтических производств.
Материал камеры: нержавеющая сталь SUS304 с зеркальной или матовой полировкой, устойчивая к дезинфицирующим средствам
Тип блокировки: механическая или электронная электромагнитная блокировка дверей с сигнальной индикацией
Модификации шлюзов: пассивные базовые O·PB, активные продувные шлюзы с соплами и фильтрами HEPA, угловые L-образные
Оснащение: бактерицидные УФ-лампы с таймером экспозиции, светодиодная внутренняя подсветка, переговорные устройства
Герметичность: двойной силиконовый контурный уплотнитель по периметру дверей и закаленное смотровое стекло
Автоматические рулонные фильтры Oshitari серии AF-C (Auto Air Filter) и AF-W (Economy Auto Air Filter) разработаны для объектов с высокой концентрацией пыли и непрерывным технологическим циклом (металлургические цеха, электростанции, текстильные комбинаты, приточные венткамеры заводов). Принцип действия основан на непрерывном измерении перепада давления на фильтрующем полотне дифференциальным реле. При достижении заданного сопротивления из-за осевшей пыли электропривод автоматически проматывает порцию чистого синтетического полотна из верхнего рулона в нижний приемный барабан, восстанавливая номинальную пропускную способность без остановки вентилятора. Для компактных приточных агрегатов выпускается серия C-AF и модульные блоки D-AF.
Серии установок: полноразмерные промышленные AF-C, экономичные AF-W, компактные кассетные C-AF и блоки D-AF
Принцип перемотки: автоматическая смена загрязненного участка по сигналу дифманометра или таймера
Фильтрующий материал: нетканое термоскрепленное синтетическое полотно с высокой пылеемкостью и прочностью на разрыв
Экономический эффект: резкое сокращение трудозатрат на обслуживание и предотвращение аварийных остановов вентиляции
Конструктивное исполнение: коррозионностойкий оцинкованный корпус, защитные концевые датчики окончания рулона
Химические сорбционные фильтры и блоки Oshitari SACC
Наряду с аэрозольной очисткой Oshitari Laboratory производит высокоэффективные химические фильтры серии SACC (SACC Filter) и комплексные сорбционные блоки SACC Unit. Они предназначены для нейтрализации молекулярных химических загрязнений (AMC — Airborne Molecular Contamination) в чистых комнатах производства полупроводников, микромеханических датчиков (MEMS), литиевых аккумуляторов и фармацевтических лабораторий. В фильтрах SACC используется активированный уголь с каталитической и хемосорбционной импрегнацией, эффективно задерживающий пары аммиака, кислые газы (SOx, NOx, HCl, HF), летучие органические растворители и силоксаны, вызывающие дефекты кристаллов при фотолитографии.
Типы фильтров: сменные кассетные химические панели SACC Filter и автономные сорбционные модули SACC Unit
Газодинамика: оптимизированный профиль прохождения газа с минимальным пылевыделением и падением давления
Инженерный подбор фильтров OMF под электроэрозионные станки
Наши специалисты проверяют соответствие фильтров Oshitari посадочным местам станков Sodick, Fanuc Robocut, Mitsubishi Electric и Makino, точно определяя диаметр, высоту, тип соединения (каплер или центр) и номинальную тонкость отсева.
Сертифицированная чистота воздуха HEPA и ULPA для чистых зон
Все воздушные фильтры и модули FFU Oshitari проходят индивидуальное заводское тестирование на счетчиках частиц. Поставляются в герметичной заводской упаковке с протоколами испытаний по стандартам ISO 14644-1 и MIL-STD.
Отправьте заявку с указанием требуемых артикулов фильтров OMF, марки станка, класса чистоты чистой зоны или габаритов для получения официального коммерческого предложения с технической спецификацией и точными сроками доставки.
