Oshitari OMF 系列慢走丝线切割放电加工机专用滤芯
采用日本忍足研究所独创的深层梯度复合滤材与耐腐蚀内压结构，在超纯水介质中零离子析出。广泛适配沙迪克、发那科、三菱及牧野等慢走丝线切割机床，有效消除二次放电并显著改善工件加工面粗糙度。
- 规格型号：OMF-250 (高度250mm)、OMF-300 (300mm)、OMF-340 (340mm)、OMF-450 (450mm)、OMF-500 (500mm)
- 连接接口：中孔中心定位型 (Center) 及快速接头快速拔插型 (Coupler)
- 主流型号：OMF-340FK、OMF-340F、OMF-340FK-125、OMF-340FK-VL、OMF-340FK-X、OMF-500AK
- 过滤精度：1–3微米及3–5微米高精度滤材，有效抑制二次放电并显著提升工件表面粗糙度
- 机床适配：全面适用于沙迪克 (Sodick)、发那科 (Fanuc)、三菱电机 (Mitsubishi)、牧野 (Makino)、西部 (Seibu) 线切割机床
Oshitari 高效 (HEPA) 与超高效 (ULPA) 空气过滤器
依托1965年日本首台军标HEPA过滤器及1980年全球首台ULPA超高效滤网的技术积淀，采用超细低阻玻璃纤维滤纸与无隔板密褶成型工艺，针对0.1微米颗粒捕集效率达99.9999%，全面满足先进制程洁净室严苛要求。
- HEPA高效系列：Super Air Filter (S/US系列)、无隔板 Super Z (S-Z/US-Z) 及紧凑型V型 Super V (S-V)
- 大风量节能系列：Miracle Filter (M-P/M-P1-AZ) 以及低风阻 Super Excel (S-L-AFA、S-LV 系列)
- ULPA超高效等级：针对0.1微米超微颗粒过滤效率达99.9999%，满足 ISO 1 级至 ISO 4 级极致无尘环境
- 外框与密封工艺：阳极氧化铝合金型材、镀锌钢板或SUS304不锈钢，配备耐温无漏发泡密封胶条
- 核心应用行业：半导体晶圆厂、精密光刻车间、新型显示面板、生物制药及国家级重点实验室
Oshitari 风机过滤单元 FFU (O·FU、O·FL、O·SU 系列)
忍足原厂风机过滤机组配备后向离心高静压叶轮与低能耗无刷电机，出风面风速均匀度优于90%。超低噪音 O·FL 系列通过内部流道声学优化，额定风量下噪声低于 48–52 dB(A)，支持总线集群联网控制。
- 设备系列：自带动力送风单元 O·FU、超低噪音节能型 O·FL 以及无动力洁净送风末端 O·SU
- 标准外形尺寸：600x600mm、600x900mm、600x1200mm、1200x1200mm，完全匹配工业洁净室盲板及龙骨系统
- 送风面风速：0.35–0.45 m/s 垂直单向层流，支持无级数字风速精准调节
- 超静音运行：O·FL 采用流线型降噪内腔与高效无刷电机，额定风量下运行噪音低于 48–52 dB(A)
- 集群通讯控制：支持 RS-485 / Modbus 总线联网，实现多台 FFU 的集中监控与自动风量平衡
Oshitari 洁净工作棚与模块化洁净房 (O·AB、O·KB 系列)
O·AB 工业洁净棚采用高强度阳极氧化铝合金骨架与双面防静电垂帘，可在普通车间内快速构建局部 ISO 5 级 (百级) 洁净无尘作业区，标配一体化洁净照明与风速调节机构，模块化拆装极为灵活。
- 框架材质：轻量化高刚性铝合金型材，内嵌式走线槽设计，耐酸碱防腐蚀且便于深度清洁
- 围挡配置：透明防静电 PVC 软帘、网格防静电垂帘或双面防静电硬质亚克力/聚碳酸酯板
- 洁净等级：根据工艺需求快速构建局部 ISO 5 级 (百级) 至 ISO 7 级 (万级) 洁净空间
- 送风单元：顶部一体化集成 O·FL 低噪音 FFU 单元及 LED 净化平板灯具，保证下沉流场均匀
- 移动与安装：可选用高承重防震调平地脚或导电聚氨酯脚轮，方便车间工位快速重构
Oshitari 超级风淋室与货淋通道 (O·AS 系列)
O·AS 超级风淋通道配置360度可旋转不锈钢喷嘴，出风风速高达 25–28 m/s 以上，强力剥离并吹除人员及工件表面的浮尘微粒。标配微电脑双门互锁控制器及应急逃生装置，提供防爆与快速卷帘门等定制选型。
- 喷嘴吹淋风速：360度可旋转不锈钢喷嘴喷射风速高达 25–28 m/s 以上，实现强效剥离剥离微尘
- 门体配置形式：手动双开/单开密闭门、感应式自动平移门以及适配叉车/推车通行的快速卷帘门
- 安全互锁机制：双门电子联锁装置，吹淋过程中双门强制闭锁，配备发光应急逃生断电按钮
- 微电脑程控：智能控制面板与数码倒计时显示，吹淋时间支持 10 至 30 秒自由设定
- 特殊防爆规格：提供通过认证的防爆型风淋室 NA-S-Sd 及带循环温控与静电消除功能的高阶机型
Oshitari 洁净传递窗与风淋传递箱 (O·PB 系列)
O·PB 洁净传递窗采用拉丝不锈钢 SUS304 内胆与大半径圆弧死角过渡设计，便于彻底清洁消毒。配备双门电子互锁、双层中空钢化玻璃视窗，支持加装紫外线杀菌灯及主动式 HEPA 自净风淋功能。
- 内胆工艺结构：采用优质 SUS304 砂光或拉丝不锈钢内胆，圆弧过度无死角设计，耐受各类消毒液擦拭
- 门联锁系统：高可靠性机械互锁或电子电磁互锁装置，杜绝双门同时开启，带红绿状态指示灯
- 功能型号细分：标准静态传递窗 O·PB、带风机和 HEPA 循环过滤的主动自净风淋传递窗及转角异形窗口
- 辅助配置方案：内置紫外线杀菌灯、智能杀菌倒计时器、对讲机及压差显示仪表
- 密封观察窗：汽车级双层钢化玻璃视窗，配备无缝硅橡胶发泡高回弹耐老化密封胶条
Oshitari 自动卷绕式空气过滤器 (AF-C、AF-W、C-AF 系列)
AF-C 自动卷绕式过滤器通过内置高精度压差开关感应积尘阻力，自动步进更换全新合成纤维滤料卷，专为重粉尘环境进风净化设计，无需停机人工清灰，大幅缩减设备停运运维成本。
- 设备系列：重工业标准型 AF-C、经济实用型 AF-W、紧凑小巧型 C-AF 以及模块化嵌入箱体 D-AF
- 驱动控制方式：高精度微差压开关及定时器双重控制，滤网积灰阻力超限时电机自动卷动新滤料
- 专用过滤滤料：高强度渐密结构合成纤维无纺布卷料，容尘量巨大且抗拉伸撕裂性能优异
- 维护效益：无需停机人工逐块更换滤网，极大降低日常运维工作量并延长末端高效过滤器寿命
- 机械结构设计：防腐镀锌冷轧钢板框架，配备滤料耗尽声光报警及安全限位开关
Oshitari SACC 系列化学分子过滤器及净化单元
SACC 系列化学分子过滤器针对半导体晶圆光刻与芯片制造中的气态分子污染物 (AMC) 设计，利用高性能改性化学浸渍活性炭与离子交换介质，高效去除极微量酸性气体、氨气与挥发性有机物 (VOC)。
- 产品构成：SACC 模块化可更换化学滤网板件以及一体式独立化学净化过滤机组 SACC Unit
- 捕集气体靶标：酸性气相物 (HF、HCl、SOx)、碱性微量气体 (氨气 NH3、各类胺类) 以及挥发性有机化合物 (VOCs)
- 高效吸附材料：高比表面积特殊浸渍活性炭晶体颗粒与高选择性改性化学离子交换纤维复合填装
- 应用工序节点：光刻曝光机进风防护、晶圆存储微环境 (FOUP/EFEM)、洁净室内循环空气化学脱毒
- 低脱粉阻力控制：专业防脱落二次拦截滤网结构，保证超低气流阻力与零二次粉尘脱落
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