Оборудование и запчастиКаталог брендов Поиск по производителюОтправьте заявкуorder@equipguo.comФото или описание задачи
Позвоните или напишите+86 130 1429 3091
Оборудование и запчастиКаталог брендов Поиск по производителюПрямые поставки контрольно-измерительного оборудования и регуляторов расхода Brooks Instrument (ITW) для полупроводниковой промышленности, биотехнологий, химических реакторов и аналитических лабораторий. Полный спектр решений: цифровые термомассовые расходомеры SLA5800, сверхчистые регуляторы GF40/GF80, кориолисовые расходомеры малых расходов Quantim QMC, бронированные ротаметры MT3809, стеклянные расходомеры Sho-Rate и контроллеры давления PC100.
Прецизионные термомассовые расходомеры и регуляторы расхода газов серии SLA5800 (SLA5850, SLA5860, SLA5851, SLA5853, SLA5863) для технологических и исследовательских установок. Оборудование оснащено цифровой электроникой с долговременной стабильностью нуля (< 0,2% ВПИ в год) и высокой точностью до ±0,9% от измеренного значения.
Специализированные регуляторы массового расхода газов GF40, GF80, GF100, GF120 и GF125 для полупроводникового производства, осаждения тонких пленок, фотовольтаики и вакуумных процессов. Приборы построены на базе запатентованной технологии MultiFlo™, которая позволяет программно переключать калибровки под различные газы и диапазоны расхода без демонтажа расходомера и физической перекалибровки.
Миниатюрные кориолисовые расходомеры и регуляторы расхода Quantim® QMC и QMBC для прямого измерения массы жидкостей и газов при сверхнизких расходах. В отличие от тепловых расходомеров, приборы Quantim измеряют истинный массовый расход напрямую через силу Кориолиса, что делает показания абсолютно независимыми от изменений плотности, вязкости, давления, температуры и теплоемкости рабочей среды.
Бронированные расходомеры переменного сечения (ротаметры) в металлическом корпусе MT3809 и MT3750 для тяжелых условий эксплуатации в нефтехимии, энергетике и металлургии. Ротаметры серии MT3809 представляют собой эталон надежности для измерения расхода агрессивных, высоковязких, непрозрачных жидкостей, газов и пара при экстремальных давлениях до 1379 бар и температурах от -198 °C до +420 °C.
Классические стеклянные расходомеры переменного сечения Sho-Rate™ (модели 1350G, 1355G) и GT1600 для визуального контроля и точного дозирования малых расходов газов и жидкостей. Приборы оснащены трубками из термостойкого боросиликатного стекла с прецизионной внутренней конической калибровкой и миллиметровой или прямой шкалой расхода.
Специализированные регуляторы массового расхода газов GP200, использующие принцип измерения критического перепада давления для управления газами с низким давлением паров. Серия GP200 разработана для полупроводниковых процессов осаждения (CVD, ALD) и травления, в которых используются сложные химические прекурсоры с низкой упругостью насыщенного пара (например, WF6, BCl3, TEOS).
Системы измерения и автоматического регулирования давления газов в чистых и вакуумных технологических объемах: контроллеры давления PC100, SLA5800 Pressure и манометры XacTorr®. Контроллеры давления PC100 и SLA5800 объединяют встроенный прецизионный пьезорезистивный или емкостный датчик давления с быстродействующим электромагнитным регулирующим клапаном для поддержания стабильного давления на входе (Upstream) или выходе (Downstream).
Комплексные модули испарения и подачи жидких реагентов Direct Liquid Injection (DLI) и Vapor Delivery Modules (VCS) для тонкопленочных реакторов CVD/MOCVD/ALD. Системы DLI объединяют кориолисовый или термомассовый дозатор жидкости Quantim, смесительный инжектор и термостатируемую испарительную камеру.
Наши инженеры выполняют точный гидродинамический расчет и пересчет коэффициентов сжимаемости и теплоемкости газов под рабочие условия заказчика (температура среды до +420 °C, давление до 1379 бар, перепад давления от 0,1 бар). Подбираем оптимальные уплотнения (металл, Kalrez, Viton, PTFE) и материалы проточной части (316L VIM/VAR, Hastelloy C-276, Monel, титан).
Приборы Brooks Instrument эксплуатируются в чистых комнатах фабрик по производству интегральных микросхем, фотоэлектрических преобразователей, установках биореакторного культивирования, аналитических хроматографических комплексах, установках гидрокрекинга и в распределительных сетях технологических газов.
Инновационные разработки Brooks Instrument включают технологию программной адаптации MultiFlo™, высокочастотные кориолисовые сенсоры для потоков от 1 г/ч, безнагревные сопловые расходомеры критического истечения GP200 и вакуумные емкостные манометры XacTorr® с термостатированием измерительной мембраны.
Все приборы Brooks Instrument проходят индивидуальную заводскую калибровку на прецизионных автоматизированных стендах с прослеживаемостью к эталонам NIST и ISO 17025. Оборудование сертифицировано по стандартам взрывозащиты ATEX, IECEx, FM, ТР ТС 012/2011, директивам давления PED/ASME, полупроводниковым стандартам SEMI и функциональной безопасности SIL 2.
Обеспечиваем комплексную техническую поддержку на всех этапах эксплуатации приборов Brooks Instrument: от согласования опросных листов и выбора коммуникационных протоколов (EtherCAT, Profibus, Modbus) до шефмонтажа и поставки оригинальных сенсорных трубок, уплотнений Kalrez и плат электроники.
Написать нам напрямую