专业直供美国 Brooks Instrument (ITW 集团旗下) 全系列高精度流量与压力测量及控制仪表，广泛应用于半导体前道制造、生物制药发酵、光伏真空镀膜、石油化工及精密分析仪器。产品覆盖 SLA5800 系列数字热式质量流量计、GF40/GF80 超高纯快速响应控制器、Quantim QMC 科里奥利微小流量计、MT3809 金属管转子流量计、Sho-Rate 玻璃转子流量计及 PC100 闭环压力控制器。
Brooks Instrument SLA5800 系列 (SLA5850、SLA5860、SLA5851、SLA5853) 热式气体质量流量控制器，专为先进工业制造、生物发酵、分析仪器及高温高压气体精确控制设计。
Brooks GF40、GF80、GF100 及 GF120/125 系列超高纯数字热式质量流量控制器，专为半导体前道晶圆制造、CVD/ALD 薄膜沉积、光伏电池及真空镀膜关键工序打造。
Brooks Quantim® 系列 (QMC / QMBC) 微小流量科里奥利质量流量计与控制器，实现液体和气体超低流速工况下的直接质量流量测量与闭环控制。
Brooks MT3809 与 MT3750 系列全金属铠装转子流量计，专为石化炼油、海上平台、高压蒸汽及严苛腐蚀性流体测量提供坚固耐用的机械与电远传监测方案。
Brooks Sho-Rate™ 系列 (1350G / 1355G) 与 GT1600 经典玻璃管浮子流量计，专为气体与液体微小流量的直观目视监测与精密微调设计。
Brooks GP200 系列压差式质量流量控制器，专为半导体 ALD/CVD 前驱体与低蒸汽压特气精准输送设计，彻底克服传统热式传感器的热解与冷凝问题。
Brooks PC100 与 SLA5800 系列闭环压力控制器及 XacTorr® 系列高精度温控电容薄膜真空规，专为半导体工艺腔体、分析质谱及超洁净真空系统提供压力测控。
Brooks DLI (Direct Liquid Injection) 直接液体注射气化系统与 VCS 蒸汽输送模块，为半导体 MOCVD、ALD、CVD 工艺腔体提供超高稳定性气态前驱体输送总成。
资深流体工程团队根据客户现场工况 (最高工作压力 1379 bar，工作温度最高 +420 °C，微小压差至高压差) 精确核算工艺气体与液体流量换算系数，提供 316L VIM/VAR、哈氏合金 C-276、钛合金及 Kalrez 全氟密封等接液材质与密封方案。
Brooks 流量控制与压力仪表广泛应用于全球半导体晶圆厂前道刻蚀沉积机台、光伏太阳能电池产线、生物制药生物反应器发酵补料系统、分析仪器取样总成及石化加氢中试装置。
Brooks 拥有业界领先的 MultiFlo™ 免拆卸现场气体编程切换技术、用于 1 g/h 超微小流量的高频科里奥利测量管技术、防止前驱体热解的非加热音速喷嘴 P-MFC 架构以及 200 °C 恒温加热 XacTorr® 真空薄膜电容规。
所有 Brooks 流量与压力仪表出厂前均经过自动化高精度校准台多点精密标定，溯源至美国国家标准与技术研究院 (NIST) 及 ISO 17025 规范。全系持有 ATEX、IECEx、FM 本安隔爆认证、PED/ASME 承压认证、SEMI 洁净认证及 SIL 2 安全等级认证，随附原厂出厂校准报告。
我们为 Brooks Instrument 全系产品提供全生命周期技术保障服务：从前期技术协议与总线协议 (EtherCAT / Profibus / Modbus) 确认，到安装调试指导，以及原厂备用测量管、针型阀、Kalrez 密封圈及控制驱动板卡快速直供。
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