Вакуумная арматура и компоненты AdvanTorr / King Lai
Официальные поставки компонентов сверхвысокого и высокого вакуума AdvanTorr тайваньского машиностроительного концерна King Lai Group для полупроводникового и исследовательского оборудования.
Фланцы ConFlat (CF) сверхвысокого вакуума UHV
Фланцы ConFlat CF линейки AdvanTorr King Lai из нержавеющей стали 304L и 316LN ESR обеспечивают герметичность до 1×10⁻¹⁰ Торр с медными прокладками OFHC для сверхвысокого вакуума. Поворотные и глухие версии от 1.33 до 16.5 дюймов прогреваются до 450 °C. Сварные швы проверены гелием.
- Сталь 304L и 316LN ESR
- Вакуум до 1×10⁻¹⁰ Торр
- Медные прокладки OFHC
- Размеры от 1.33" до 16.5"
Быстроразъемные фланцы KF и соединители ISO
Фланцы стандартов KF и ISO линейки AdvanTorr King Lai предназначены для быстрого монтажа высоковакуумных магистралей. Изделия из стали 304L и 316L снабжены конической фаской 15 градусов под хомут и центрирующее кольцо с уплотнением FKM. Рабочий вакуум достигает 1×10⁻⁸ Торр.
- Типоразмеры NW16–NW50
- Стандарты ISO-KF и ISO-K
- Уплотнения FKM / NBR
- Монтаж без инструмента
Вакуумные шиберные затворы и заслонки SMART
Шиберные вакуумные затворы AdvanTorr King Lai изолируют технологические камеры и защищают турбомолекулярные насосы. Серия SMART Gate Valves оснащена механизмом демпфирования вибраций для подавления генерации микрочастиц. Затворы снабжены двусторонней фиксацией заслонки.
- Серия SMART с виброгашением
- Пневмопривод и ручной привод
- Минимум микрочастиц
- Блокировка open/closed
Щелевые перегрузочные клапаны L-Motion
Щелевые перегрузочные затворы L-Motion марки AdvanTorr King Lai разработаны для шлюзовых камер и перемещения кремниевых пластин. Кинематика L-Motion обеспечивает прямолинейный прижим заслонки без трения уплотнения о седло. Ресурс узла превышает миллион технологических циклов.
- Кинематика L-Motion
- Бестеневой перенос пластин
- Ресурс свыше 1 млн циклов
- Шлюзовой интерфейс SEMI
Уголковые и прямоточные клапаны вакуумных систем
Вакуумные клапаны AdvanTorr King Lai выпускаются в угловой и прямоточной конфигурациях с портами CF, KF и ISO. Доступны исполнения с подогревом корпуса для исключения конденсации газов в процессах ALD и CVD. Шток изолирован сильфоном из коррозионностойкой стали.
- Ручной и пневмопривод
- Опция нагрева корпуса
- Сильфонная изоляция штока
- Фланцы KF16-50 и CF
Сильфонные компенсаторы и вакуумные фитинги
Гибкие сильфоны и соединительные фитинги AdvanTorr King Lai компенсируют вибронагрузки вакуумных насосов и тепловые деформации линий. Изделия из стали 316L выпускаются в виде тройников, крестовин и адаптеров. Каждое изделие проходит гелиевый контроль герметичности.
- Гибкие рукава из стали 316L
- Виброизоляция форнасосов
- Переходники CF-KF-ISO
- 100% тест на утечку гелием
Смотровые окна Kodial и защитные заслонки
Вакуумные смотровые окна AdvanTorr King Lai выполнены в конструктиве zero-length profile без выступания стекла за плоскость фланца. Оптические элементы из боросиликата Kodial, плавленого кварца и сапфира соединены вакуумной пайкой. Окна комплектуются защитными шторками.
- Профиль zero-length
- Оптика Kodial и сапфир
- Вакуумная пайка металла со стеклом
- Встроенные защитные заслонки
Вакуумные камеры и специализированные барботеры
Технологические камеры и барботеры AdvanTorr King Lai производятся в чистых комнатах классов 100 и 1000 для процессов CVD и ALD. Емкости из нержавеющей стали выполнены по стандарту DOT 4B. Камеры оснащаются быстродействующими сервисными дверями и портами.
- Чистые комнаты Class 100/1000
- Стандарт емкостей DOT 4B
- Быстрооткрываемые двери
- Электрополировка Ra<0.13 мкм
Технические стандарты сверхвысоковакуумной арматуры AdvanTorr King Lai
Концерн King Lai Group проектирует и производит полную номенклатуру вакуумных компонентов AdvanTorr для полупроводникового и аналитического оборудования.
Вся арматура изготавливается из высокочистых аустенитных сталей 304L и 316LN ESR с контролем неметаллических включений. Продукция упаковывается в чистых помещениях Class 10000 с индивидуальным штрихкодированием партий.
Применение затворов серии SMART и L-Motion в вакуумных кластерах
Вакуумные затворы SMART Gate Valves и щелевые клапаны L-Motion разработаны для минимального образования микрочастиц в шлюзовых камерах нанесения покрытий PVD/CVD.
Прецизионная кинематика обеспечивает плавное закрытие без вибраций, защищая чувствительные кремниевые пластины и стеклянные подложки. Затворы оснащаются датчиками положения и поддерживают интеграцию в автоматизированные линии.
AdvanTorr / King Lai и названия моделей — товарные знаки их правообладателей. Они указаны только для обозначения оборудования, для которого мы подбираем запчасти. Компания SpareX не является официальным дилером, дистрибьютором или представителем AdvanTorr / King Lai и не связана с правообладателем. Происхождение, документы и гарантия указываются по каждой позиции в коммерческом предложении.
