新莱应材 / AdvanTorr / King Lai 超高真空阀门与组件
新莱应材（King Lai Group）旗下 AdvanTorr 超高真空与高真空核心组件全球直供，覆盖半导体工艺腔体、光伏电池生产、PVD/CVD 镀膜设备及科研仪器管路配件。
ConFlat (CF) 超高真空法兰
新莱应材旗下 AdvanTorr 系列 ConFlat (CF) 超高真空法兰采用 304L 与 316LN ESR 不锈钢精工制造，配合 OFHC 无氧铜密封垫圈实现高达 1×10⁻¹⁰ Torr 的极限真空度。提供 1.33 至 16.5 英寸固定与旋转法兰，耐温达 450 ℃，氦质谱检漏出厂。
- 304L与316LN材质
- 真空度 1×10⁻¹⁰ Torr
- OFHC无氧铜密封圈
- 尺寸 1.33至16.5英寸
KF 与 ISO 快卸真空法兰
AdvanTorr King Lai 的 KF 与 ISO 系列快卸法兰选用 304L 与 316L 不锈钢精制，采用标准 15 度锥面配合铝合金单翼卡箍及带居中环的氟橡胶密封圈。支持免工具频繁拆装，工作真空度达到 1×10⁻⁸ Torr，耐温可达 200 ℃。
- NW16至NW50规格
- ISO-KF与ISO-K标准
- FKM氟橡胶密封圈
- 铝合金快拆卡箍
真空插板闸阀与 SMART 阀门
AdvanTorr King Lai 生产的高真空插板闸阀专用于隔离工艺腔体并保护分子泵。SMART 系列智能闸阀采用创新的减振密封机构，大幅减少动作过程中的微颗粒产生。支持气动与手动控制，并具备开闭双向物理位置锁定保护功能。
- SMART低振动低颗粒
- 气动与手动双驱可选
- 腔体安全物理锁止
- 适用于超净真空环境
L-Motion 运动传输狭缝阀
AdvanTorr King Lai 研发的 L-Motion 传输狭缝阀专为半导体负载锁与晶圆搬运腔设计。独特的 L 型两步联动机构实现密封圈垂直压紧阀座，杜绝摩擦损伤与胶条磨损。阀体机构经久耐用，整体动作寿命突破一百万次工艺循环。
- L-Motion无摩擦密封
- 半导体晶圆传输标准
- 超100万次循环寿命
- 精密非接触位置感应
超高真空角阀与直通阀
AdvanTorr King Lai 生产的角阀与直通阀提供 KF、CF 及 ISO 多种接口形式。针对半导体 ALD 与 CVD 工艺推出加热型角阀，防止反应前驱体管路冷凝结垢。阀杆部位采用高耐腐蚀不锈钢精密焊接波纹管密封，确保超高气密性能。
- 气动与手动控制形式
- 带加热套防止管路凝结
- 不锈钢焊接波纹管密封
- KF与CF多规格法兰
真空柔性波纹管与管件配件
AdvanTorr King Lai 柔性不锈钢波纹管与真空管件有效隔离前级泵与分子泵的机械振动，吸收管道热膨胀位移。产品采用 316L 不锈钢精制，包含三通、四通、弯头及异径转接头。全部焊接管件均通过严格的氦质谱检漏仪检测，杜绝虚漏。
- 316L柔性成型波纹管
- 消除机械泵振动传递
- CF-KF-ISO跨标准接头
- 全数出厂氦质谱检漏
Kodial 观察视窗与保护快门
AdvanTorr King Lai 零长度（zero-length）超高真空观察视窗避免光学镜片超出法兰端面，消除碰伤隐患。提供 Kodial 硼硅玻璃、熔融石英及蓝宝石窗口，采用先进的真空钎焊工艺牢固结合。可选配防镀膜遮挡快门，满足工艺观测需求。
- 零长度平齐紧凑结构
- Kodial石英蓝宝石视窗
- 高温真空陶瓷金属钎焊
- 配套防污染旋转快门
超高真空腔体与半导体源瓶
AdvanTorr King Lai 为 CVD 及 ALD 工艺定制高洁净真空腔体与化学源瓶（Bubbler），组装于百级与千级洁净室。不锈钢源瓶符合严格的 DOT 4B 容器规范。腔体表面电抛光达到 Ra < 0.13 μm，配备快开式维护门与多维度传感器法兰接口。
- 百级与千级洁净室制造
- 符合DOT 4B安全规范
- 快开检修门双道密封
- 内表面电抛光Ra<0.13μm
新莱应材 AdvanTorr 超高真空硬件技术标准
新莱集团（King Lai Group）针对半导体制造、薄膜沉积及表面分析设备，研发生产各类 AdvanTorr 超高真空组件。
全线阀门与法兰采用高纯度 304L 与 316LN ESR 不锈钢材料精密加工，严格控制非金属夹杂物。零部件于万级洁净室完成超声波清洗与封装，附带独立炉号与批次追溯标签。
SMART 闸阀与 L-Motion 狭缝阀在真空集群中的应用
AdvanTorr SMART 系列插板闸阀与 L-Motion 运动狭缝阀专为半导体晶圆传输与真空互联腔设计，实现超低颗粒物产生。
两步垂直落座密封机构杜绝密封条与阀座摩擦，动作寿命超过 100 万次。集成高可靠位置传感器，完美适配全自动半导体工艺设备群。
AdvanTorr / King Lai及型号名称为其各自权利人的商标，仅用于说明我们为之寻找配件的设备。SpareX 不是AdvanTorr / King Lai的官方经销商、分销商或代表，与商标权利人无关联。每项产品的来源、文件和质保在报价单中逐项说明。
