Высоковакуумные уплотнения и компоненты MICROFLEX / Microflex Technologies

Предлагаем металлические уплотнения C-Seal, вакуумные прокладки W-Seal, дроссели Orifice и сборки подложек K1S/K1H американского производителя MICROFLEX / Microflex Technologies.

Металлические C-образные уплотнения MicroSeal

Высоковакуумные C-образные уплотнения Microflex Technologies серии MicroSeal (типоразмеры MS-028, MS-043, MS-052) созданы для модульных систем подачи технологических газов. Упругая оболочка с компрессионным сердечником дает надежное уплотнение при пониженных моментах затяжки.

Типоразмеры MS-028 с внешним диаметром 0,282 дюйма для подложек стандарта 1.125"
Типоразмеры MS-043 с внешним диаметром 0,434 дюйма для подложек стандарта 1.500"
Нержавеющая сталь двойного переплава 316L VAR и коррозионностойкий сплав Hastelloy C-22
Шероховатость рабочей зоны Ra до 5 мкдюйм с защитным хромированным пассивированным слоем

Вакуумные W-образные уплотнения и прокладки

Металлические W-образные прокладки Microflex Technologies (серии W2A-031-074, W1A-040-078 и W2A-031-068-H) предназначены для узлов полупроводникового оборудования с жесткими требованиями к упругому отскоку. Многоволновая геометрия компенсирует температурные расширения и вибрационные нагрузки.

Типоразмер W2A-031 с внешним диаметром 0,31 дюйма из нержавеющей стали марки 316L SS
Типоразмер W1A-040 с внешним диаметром 0,40 дюйма для высоконагруженных соединений
Модификация W2A-031-068-H из сплава C-22 для агрессивных газов плазмохимического травления
Эффективное сохранение герметичности при глубоких циклических перепадах температуры

Дроссельные прокладки C-Seals Orifice

Прокладки Microflex Technologies со встроенными дроссельными жиклерами (серии MS-028-062-XXXX и MS-043-062-XXXX) совмещают функции вакуумного уплотнения и точного ограничения расхода газа. Решение устраняет необходимость установки отдельных массивных дросселей в модульных газовых системах.

Сверленые калиброванные отверстия диаметром от 0,012 до 0,180 дюйма с допуском ±0,0005"
Прецизионные калиброванные жиклеры высокой точности исполнения HP с допуском ±0,0002"
Синтетические рубиновые вставки серии SXXXX с отверстиями от 0,0004" с минимальным допуском
Стабильное дросселирование потока без пылеобразования и турбулентных завихрений газа

Монтажные узлы подложек 1.125 дюйма стиля K1S

Сборки подложек Microflex Technologies формата 1,125" (серия MSA-028) служат базовыми соединительными узлами для компактных модульных газовых линеек регуляторов расхода (MFC). Компоновка обеспечивает быструю смену газовой аппаратуры с сохранением проектного позиционирования уплотнений.

Сборки MSA-028-111 для прямого подключения регуляторов массового расхода технологического газа
Двухпортовые сборки MSA-028-211 и трехпортовые манифольды MSA-028-311 для разветвления линий
Фланцевые адаптеры MSA-028-111-F и панельные переходники MSA-028-111-M86 по SEMI F86
Высокоточная механическая посадка с фиксацией межцентровых расстояний крепежных шпилек

Высокорасходные сборки подложек 1.5 дюйма стиля K1H

Модульные сборки Microflex Technologies формата 1,5" (серия MSA-043) спроектированы для технологических узлов с увеличенным потоком газов на 300-миллиметровых установках. Увеличенное проходное сечение снижает гидравлическое сопротивление в вакуумных и продувочных контурах.

Высокорасходные сборки MSA-043-115 для мощных регуляторов потока агрессивных сред
Двухпортовые блоки MSA-043-215 и трехпортовые магистральные манифольды MSA-043-315
Усиленные фланцевые узлы MSA-043-115-F для работы при повышенных рабочих давлениях
Исполнения из стали 316L SS и никель-хромового сплава C-22 для чистых помещений

Уплотнения из сплавов Hastelloy C-22 и 316L VAR

Для технологических газов с повышенной агрессивностью (хлор, фтор, бромистый водород, аммиак) Microflex Technologies производит прокладки и уплотнения из сплава Hastelloy C-22 и стали двойного переплава 316L VAR. Материалы предотвращают точечную коррозию и растрескивание под напряжением.

Нержавеющая сталь 316L VAR двойного вакуумно-дугового переплава с низким содержанием марганца
Никель-хромовый сплав Hastelloy C-22 для линий влажного хлора и галогенидных соединений
Устойчивость к межкристаллитной коррозии при высокотемпературном нагреве газовых линий
Низкий уровень газоотделения и полная совместимость с глубоким ультравысоким вакуумом

Монтажные фиксаторы и переходные адаптеры CXW

Для удобства монтажа уплотнений в ограниченном пространстве газовых панелей Microflex Technologies поставляет пластиковые и металлические монтажные фиксаторы (retainers), а также переходные адаптерные прокладки серии CXW-028-111 для стыковки портов стандартов C-seal и W-seal.

Монтажные фиксаторы для удерживания уплотнений при вертикальной установке компонентов
Переходные прокладки CXW-028-111 для соединения портов C-seal и W-seal регуляторов расхода
Исключение перекоса прокладки при затягивании болтовых соединений газового манифольда
Защита зеркальных уплотнительных кромок от механических повреждений при монтаже

Архитектура металлических уплотнений MicroSeal с высоким упругим отскоком

Фирменные металлические уплотнения MicroSeal компании Microflex Technologies созданы на базе запатентованной геометрии с интегрированным компрессионным кольцом.

В отличие от жестких традиционных металлических прокладок, конструкция MicroSeal сочетает податливую наружную контактную оболочку и внутренний упругий сердечник.

При затяжке крепежных шпилек внешняя кромка пластично адаптируется к микронеровностям уплотнительного седла фланца, а внутреннее кольцо аккумулирует механическую энергию сжатия.

Это обеспечивает более чем десятикратное увеличение упругого отскока (rebound) по сравнению со стандартными прокладками, предотвращая разгерметизацию вакуумных соединений при термических ударах и вибрациях.

Инженерные стандарты SEMI PR 3.1, SEMI PR 3.5 и SEMI F86 для модульных газовых линий

Продукция Microflex Technologies спроектирована в строгом соответствии с требованиями стандартов Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI).

Спецификации SEMI PR 3.1 и SEMI PR 3.5 регламентируют габариты контактных кромок, посадочные глубины и предельные контактные усилия для уплотнений поверхностного монтажа типа C-seal и W-seal.

Стандарт SEMI F86 задает единую сетку размещения крепежных отверстий и гидравлических каналов для двухпортовых и трехпортовых подложек.

Благодаря соблюдению международных нормативов компоненты Microflex гарантируют стопроцентную размерную взаимозаменяемость с аппаратурой ведущих изготовителей регуляторов расхода и вакуумных клапанов.

Дроссельные прокладки C-Seals Orifice с прецизионными жиклерами

Линейка прокладок C-Seals Orifice объединяет функцию торцевого вакуумного уплотнения и точного дозирования технологического газа в едином монолитном узле.

Сверленые калиброванные отверстия серии MS-028-062-XXXX изготавливаются методом лазерной микрообработки с предельным отклонением диаметра не более 0,0002 дюйма, исключая образование заусенцев и микротрещин.

Для особо малых потоков газа в прокладку запрессовывается синтетическая рубиновая фильера серии SXXXX с диаметром от 0,0004 дюйма.

Интеграция жиклера непосредственно в уплотнение исключает мертвые зоны и сокращает число резьбовых стыков, сводя к минимуму общее гидравлическое сопротивление и объем газовой магистрали.

Особенности компоновки сборок подложек 1.125" K1S и 1.5" K1H

Модульные соединительные сборки подложек Microflex Technologies выпускаются в двух базовых индустриальных форматах: компактном 1,125 дюйма (стиль K1S) и высокорасходном 1,5 дюйма (стиль K1H).

Блоки K1S оптимизированы для плотной компоновки многоканальных газовых распределительных щитов технологических установок травления и химического осаждения.

Увеличенный формат K1H обеспечивает повышенную пропускную способность для линий продувки, вакуумной откачки и главных магистралей подачи газов-носителей на 300-миллиметровых кремниевых пластинах.

Высокоточная металлообработка посадочных гнезд гарантирует равномерное распределение прижимного усилия по всему периметру уплотнительного кольца.

Металлургические свойства нержавеющей стали 316L VAR и сплава Hastelloy C-22

Для обеспечения безупречной коррозионной стойкости в агрессивных полупроводниковых средах Microflex Technologies применяет нержавеющую сталь марки 316L VAR двойного вакуумно-дугового переплава.

Технология двойного переплава снижает концентрацию неметаллических включений, серы и фосфора, формируя однородную аустенитную микроструктуру без микропор.

Для линий особо агрессивных газов, таких как хлор, фтор, трихлорид бора и бромистый водород, уплотнения изготавливаются из никель-хромового сплава Hastelloy C-22.

Данный сплав полностью исключает точечную, щелевую и межкристаллитную коррозию, гарантируя целостность уплотнений при высокотемпературном вакуумном прогреве газовых магистралей.

Предотвращение виртуальных течей и микроструктурная подготовка уплотнений

Одной из ключевых проблем высоковакуумных газовых систем являются виртуальные течи, вызванные захватом микроскопических объемов газа в микропорах и шероховатостях уплотнительного интерфейса.

В уплотнениях MicroSeal данная проблема решена за счет финишной электрохимической полировки с обогащением поверхностного слоя хромом и снижением шероховатости Ra до 5 мкдюйм (0,13 мкм).

При смыкании фланцев пластичный поверхностный слой уплотнения заполняет микронеровности сопрягаемого седла без пластической деформации самого корпуса компонента.

Это предотвращает появление микрополостей, сокращает время откачки вакуумной камеры и обеспечивает скорость натекания по гелию менее 10^-10 куб.см/с.

Методы гелиевого масс-спектрометрического течеискания соединений

Для проверки качества сборки модульных газовых линий и высоковакуумных полупроводниковых систем применяется метод гелиевого масс-спектрометрического контроля герметичности.

Уплотнения MicroSeal компании Microflex Technologies обеспечивают фоновый уровень натекания менее 10^-10 атм·куб.см/с при испытаниях методами вакуумной камеры и обдува гелием.

Отсутствие микротрещин, контролируемая шероховатость контактных кромок и пластичность уплотнительного пояска исключают капиллярные перетоки тестового газа.

Это гарантирует прохождение строгой выходной приемки газовых шкафов и технологических камер перед подачей пожаровзрывоопасных, токсичных и сверхчистых газов.

Регламент затяжки болтовых соединений и предотвращение перекоса фланцев

Корректный монтаж полупроводниковых уплотнений требует строгого соблюдения последовательности и моментов затяжки крепежных винтов.

При сборке модульных блоков K1S и K1H на подложках стандарта SEMI F86 рекомендуется применять динамометрический инструмент с перекрестной схемой протяжки в два этапа: предварительная фиксация с моментом сорок процентов от номинала и окончательная доводка до проектного усилия.

Фирменные монтажные фиксаторы Microflex Technologies удерживают металлическое кольцо строго соосно проточке седла, предотвращая радиальное смещение прокладки, защемление контактной кромки и неравномерную осадку уплотнительного профиля.

MICROFLEX / Microflex Technologies и названия моделей — товарные знаки их правообладателей. Они указаны только для обозначения оборудования, для которого мы подбираем запчасти. Компания SpareX не является официальным дилером, дистрибьютором или представителем MICROFLEX / Microflex Technologies и не связана с правообладателем. Происхождение, документы и гарантия указываются по каждой позиции в коммерческом предложении.