Bronkhorst 荷兰博朗霍斯特高精度气体/液体质量流量计、数字压力控制器与受控蒸发混气系统

专业直供荷兰 Bronkhorst High-Tech B.V.(博朗霍斯特)全系列高精度流体测量与控制仪器。涵盖热式与科里奥利微小质量流量计、FLEXI-FLOW 紧凑型多参数模块、MASS-STREAM 工业级直通式流量计、ES-FLOW 卫生级超声波流量计、EL-PRESS 数字化压力控制器以及 CEM 受控蒸发混气系统,广泛应用于半导体微电子制造、分析测试仪器、制药生物工程、薄膜真空镀膜及新能源燃料电池研发领域。

Bronkhorst 核心产品系列与设备选型

EL-FLOW Prestige 热式气体质量流量计与控制器

旗舰级热式气体质量流量计和控制器,具备专利动态压力补偿技术和内置100多种气体的数据库。在管线压力波动时仍能保持高精度和超稳定设定点控制。

旗舰级热式气体质量流量计和控制器,具备专利动态压力补偿技术和内置100多种气体的数据库。在管线压力波动时仍能保持高精度和超稳定设定点控制。

  • 测量范围:0.014...0.7 mln/min 至 2...100 ln/min
  • 测量精度:读数的 ±0.5% + 满量程的 ±0.1%
  • 工作压力:最高 64 bar(可选 100 bar)
  • 量程比:标准配置达 1:150
  • 通讯接口:FLOW-BUS, Modbus, PROFINET, EtherCAT, CANopen

EL-FLOW Select 通用型热式气体质量流量计与控制器

广泛应用的模块化热式气体流量计系列,适用于实验室及工业级洁净气体。提供弹性体密封、全金属密封(高纯度)及防爆外壳选型。

广泛应用的模块化热式气体流量计系列,适用于实验室及工业级洁净气体。提供弹性体密封、全金属密封(高纯度)及防爆外壳选型。

  • 流量范围:0.014...0.7 mln/min 至 8...1670 ln/min
  • 传感器技术:316L 不锈钢旁通毛细管热式传感器
  • 控制阀:直接作用电磁控制阀 F-001, F-002, F-003
  • 密封材质:Viton, Kalrez (FFKM), EPDM, 全金属密封
  • 防爆认证:可选 ATEX Cat.3 Zone 2 及 IECEx 认证

mini CORI-FLOW & CORI-FLOW 高精度微小流量科里奥利质量流量计

直接测量液体和气体真实质量流量的科里奥利仪器,不受流体粘度、密度、温度和压力变化影响。可直接与调节阀和微型齿轮泵连接组成闭环微加料系统。

直接测量液体和气体真实质量流量的科里奥利仪器,不受流体粘度、密度、温度和压力变化影响。可直接与调节阀和微型齿轮泵连接组成闭环微加料系统。

  • 质量流量范围:0.1...5 g/h (M12) 至 6...600 kg/h (M55)
  • 测量精度:液体读数的 ±0.2%,气体读数的 ±0.5%
  • 多参数输出:质量流量、流体密度、温度
  • 耐压等级:最高 200 bar(可选高压型 400 bar)
  • 执行机构联动:可直接闭环驱动微型泵及调节阀

FLEXI-FLOW Compact 紧凑型多参数质量流量与压力控制模块

基于微机械硅MEMS芯片的紧凑型仪器,集成了气体质量流量、进出口压力和介质温度测量。响应时间极快(<150ms),体积小巧,支持蓝牙与多协议数字总线通信。

基于微机械硅MEMS芯片的紧凑型仪器,集成了气体质量流量、进出口压力和介质温度测量。响应时间极快(<150ms),体积小巧,支持蓝牙与多协议数字总线通信。

  • 量程范围:0.5 mln/min 至 20 ln/min
  • 响应时间:t98 < 150 ms
  • 内置压力传感器:最高 17 bar 表压
  • 通信方式:Modbus RTU/ASCII, FLOW-BUS, 蓝牙
  • 安装体积:相比传统质量流量控制器体积缩小 35% 以上

MASS-STREAM D-6300 工业级直通式热式气体流量计

采用直通流道(直热式CTA)技术的工业级质量流量计与控制器,无旁通毛细管。耐受粉尘、微粒及湿气,配备IP65防护等级工业外壳。

采用直通流道(直热式CTA)技术的工业级质量流量计与控制器,无旁通毛细管。耐受粉尘、微粒及湿气,配备IP65防护等级工业外壳。

  • 流量范围:0.01...0.2 ln/min 至 200...10,000 ln/min
  • 外壳防护:IP65 工业防护等级
  • 工作压力:最高 20 bar(可选 100 bar)
  • 显示选项:集成多功能彩色 TFT 屏,支持按键操作与趋势显示
  • 典型应用:工业气体计量、燃烧器配气、气调包装

LIQUI-FLOW & ES-FLOW 热式及超声波液体流量计与控制器

高灵敏度液体流量计,适用于微小及小流量流体。包含毛细管热式 LIQUI-FLOW 以及采用直管无死角声波传输时间技术的 ES-FLOW 超声波流量计。

高灵敏度液体流量计,适用于微小及小流量流体。包含毛细管热式 LIQUI-FLOW 以及采用直管无死角声波传输时间技术的 ES-FLOW 超声波流量计。

  • 流量范围:LIQUI-FLOW 为 0.04...2 g/h 至 20...1000 g/h;ES-FLOW 为 2 至 1500 ml/min
  • 接液材质:316L 不锈钢, PEEK, 哈氏合金 C-22
  • 卫生级标准:符合 3-A 卫生标准及 USP Class VI 生物相容性要求
  • 耐压等级:最高 100 bar
  • 适用介质:去离子水、溶剂、酸碱溶液、单体及药液

EL-PRESS & IN-PRESS 数字化电子压力计与压力调节器

用于气体和液体的数字化正压(减压)及背压(泄压/稳压)控制器。单体集成高频压阻压力传感器、比例调节阀和数字式PID控制器。

用于气体和液体的数字化正压(减压)及背压(泄压/稳压)控制器。单体集成高频压阻压力传感器、比例调节阀和数字式PID控制器。

  • 压力调节范围:2...100 mbar 至 8...400 bar
  • 控制模式:前压控制(减压)、背压控制(稳压)、差压控制
  • 控制精度:满量程的 ±0.5%
  • 外壳形式:实验室级 EL-PRESS 与 IP65 工业级 IN-PRESS
  • 适用介质:惰性气体、腐蚀性/有毒气体、高洁净及工业液体

CEM 受控蒸发混合汽化供气系统 (Controlled Evaporation & Mixing)

液体前驱体与水的高精度受控蒸发混气系统。将精确计量的液体注入载气并在混气加热室彻底汽化,避免热敏性化合物分解,提供无脉动的连续蒸汽流。

液体前驱体与水的高精度受控蒸发混气系统。将精确计量的液体注入载气并在混气加热室彻底汽化,避免热敏性化合物分解,提供无脉动的连续蒸汽流。

  • 液体流量范围:0.1...2 g/h 至 20...1200 g/h
  • 载气流量范围:0.1...5 ln/min 至 4...100 ln/min
  • 加热混合温度:最高 200 °C(控温稳定性 ±1 °C)
  • 蒸汽浓度稳定性:变异系数 < 1%,无液滴脉动
  • 典型应用:半导体 CVD / ALD 薄膜沉积、光学真空镀膜、分析仪标定

Bronkhorst 比例电磁阀、密封件与工业总线通讯模块

原装流量与压力仪器配件及备件:比例电磁调节阀组件、耐腐蚀密封圈包、压电阀、连接线缆以及多协议工业总线转换模块。

原装流量与压力仪器配件及备件:比例电磁调节阀组件、耐腐蚀密封圈包、压电阀、连接线缆以及多协议工业总线转换模块。

  • 调节阀组:直动式 F-001AI / F-002AI 系列、压电式超快响应阀
  • 密封组件:原厂全氟橡胶 FFKM (Kalrez)、氟橡胶 FKM (Viton)、EPDM 密封圈包
  • 过滤元件:316L 不锈钢烧结入口过滤器滤芯,保护传感毛细管
  • 总线模块:FLOW-BUS 转 Modbus, PROFIBUS DP, PROFINET, EtherCAT 转换器
  • 连接附件:8-pin DIN, M12 工业插头, Sub-D 9-pin/15-pin 屏蔽线束

针对复杂流体特性的专业工程选型、流体力学模拟与多组分介质计算

资深流体动力学工程团队针对用户实际工况介质(高纯工艺气、腐蚀性化学试剂、超低温流体或低沸点液体前驱体)、进出口压力、工作温度范围及系统允许差压(Delta P),进行严谨的流体力学与热力学模拟计算。精准核算流量系数(Cv 与 Kv),匹配最佳阀芯孔径与节流结构,彻底消除液体气蚀与气体声速阻塞风险。精选接液材质(316L 不锈钢、哈氏合金 C-22、PEEK)以及全氟橡胶(Kalrez FFKM)、氟橡胶与全金属密封等级,确保仪器在长期严苛运行中保持超高测量精度、长期零点稳定性与卓越安全性。

撬装化微加料、受控蒸发混气与高纯配气成套系统集成交付

我们不仅提供单台流量与压力测量控制仪器,更可提供完整的成套微流体系统、高纯混气撬装与自动化微加料站:包括集成了液体微小流量计、载气质量流量控制器、气液混合注入阀与恒温加热蒸发室的 CEM 受控蒸发汽化供气系统,多通道精密配气混气柜,以及基于 mini CORI-FLOW 科里奥利流量计与微型齿轮泵/隔膜泵闭环联动的超高精度连续微加料站。成套系统均在出厂前完成高压耐压试验、超高真空氦质谱检漏、电气安全测试与多点实流标定。

国际权威计量溯源认证、严苛欧标出厂检测与品质保障体系

所有供应的 Bronkhorst 流量计、压力控制器及阀门配件均严格遵循荷兰工厂 ISO 9001 和 ISO 14001 国际质量与环境管理体系制造。全线产品获得 ATEX Cat. 3 Zone 2 / IECEx 国际防爆认证、3-A 卫生级认证及 USP Class VI 生物相容性测试。每台出厂设备均配带国际标准溯源的原厂实流标定证书、EN 10204 3.1 金属材质报告、无尘室包装证明及官方质量保修。

工业设备

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