Установки термического отжига и запасные части Annealsys

Технологический подбор узлов и комплектующих для оборудования Annealsys: установки отжига AS-One и AS-Micro, печи Zenith, реакторы DLI-CVD и блоки управления.

Компактные установки быстрого термического отжига Annealsys серии AS-Micro

Лабораторные системы термического отжига Annealsys AS-Micro с трубчатой кварцевой камерой предназначены для термообработки пластин диаметром до 76 мм (3 дюйма). Галогенные инфракрасные лампы обеспечивают нагрев до 1250 °C со скоростью нарастания температуры до 250 °C в секунду.

Трубчатый реактор из высокочистого оптического кварца с фланцами из нержавеющей стали
Водоохлаждаемый трубчатый отражатель с массивом инфракрасных галогенных ламп нагрева
Цифровой ПИД-регулятор температуры с вводом термопарного датчика и пирометра
Многоканальный газовый блок смешения с регуляторами массового расхода РРГ

Универсальные печи термического отжига Annealsys серии AS-One 100 и AS-One 150

Установки термического отжига Annealsys серии AS-One с камерой с холодными стенками предназначены для обработки пластин диаметром 100 мм и 150 мм. Система поддерживает режимы импульсного отжига, оксидирования RTO, нитридизации RTN и химического осаждения RTCVD графена.

Камера из нержавеющей стали с водоохлаждаемыми стенками и кварцевым окном
Двухсторонний ламповый нагрев с независимым зонным управлением мощностью
Широкий вакуумный диапазон от атмосферного давления до глубокого вакуума 10-6 Торр
Графитовые подложки с карбидокремниевым покрытием SiC для равномерного термополя

Промышленные комплексы термического отжига Annealsys серии AS-Master 200

Высокопроизводительные платформы Annealsys AS-Master 200 разработаны для пилотного и серийного производства полупроводниковых пластин диаметром 200 мм. Комплекс оснащается шлюзовой камерой Loadlock и автоматическим манипулятором для непрерывной круглосуточной загрузки.

Автоматическая кассетная шлюзовая камера Loadlock с роботизированным манипулятором
Многозонная матрица нагревателей с радиальным профилированием теплового поля
Оптическая пирометрическая система контроля температуры тыльной стороны пластины
Интеграция с турбомолекулярными насосными станциями и азотными ловушками паров

Высокотемпературные печи отжига Annealsys серии Zenith до 2000 °C

Специализированные термические комплексы Annealsys Zenith предназначены для высокотемпературного отжига широкозонных полупроводников SiC и GaN при температуре до 2000 °C. Оборудование обеспечивает проведение длительных ростовых и отжиговых процессов в среде аргона и вакууме.

Высокотемпературный нагревательный модуль с рабочей температурой до 2000 °C
Многослойные графитовые тепловые экраны с гидроохлаждением наружного кожуха
Специализированные подложки из SiC для отжига имплантированных примесей в карбиде
Оптический спектропирометр с калибровкой по эталонным температурным точкам

Многопроцессные установки осаждения Annealsys серий MC-050 и MC-100

Реакторы прямого жидкостного впрыска Annealsys MC-050 и MC-100 объединяют возможности химического DLI-CVD и атомно-слоевого DLI-ALD осаждения в единой рабочей камере. Оборудование предназначено для синтеза оксидных пленок, нитридов металлов и двумерных наноструктур.

Импульсные форсунки DLI для точной дозировки термически нестабильных прекурсоров
Испаритель мгновенного действия с минимизированным мертвым внутренним объемом
Вертикальная ориентация камеры с подогревом стенок для предотвращения конденсации
Совместимость с агрессивными металлоорганическими растворами и прекурсорами

Установки термического отжига Jipelec JetFirst и JetLight в портфеле Annealsys

Классические системы быстрого термического отжига Jipelec JetFirst и JetLight выпускаются на предприятии Annealsys с сохранением оригинальных стандартов надежности. Системы востребованы для кремниевых пластин диаметром до 300 мм в исследовательских и промышленных лабораториях.

Холодная прямоугольная камера из алюминиевого сплава с кварцевым разделителем
Матрица трубчатых кварцевых галогенных ламп инфракрасного спектрального диапазона
Модернизированный цифровой блок управления температурой с современным интерфейсом
Полная номенклатура сменных уплотнительных прокладок, кварцевых лодочек и ламп

Регламент настройки оптических пирометров и калибровки термопар Annealsys

Прецизионный контроль температуры в установках быстрого термического отжига Annealsys требует регулярной юстировки измерительных каналов.

На низкотемпературных стадиях до 800 °C система использует термопары K-типа или вольфрам-рениевые спаи, контактирующие с графитовым сасцептором либо тыльной стороной пластины. При высокотемпературных режимах свыше 800 °C цифровой контроллер автоматически переключается на оптический пирометр.

Инженеры калибруют оптический канал по эталонной точке плавления чистого кремния, учитывая динамическое изменение коэффициента излучения поверхности. Двухканальный контроль исключает температурный перелет и гарантирует воспроизводимость профиля.

Обслуживание кварцевых трубчатых камер и замена уплотнений в печах AS-Micro

В компактных установках отжига Annealsys AS-Micro технологическая реакция протекает в трубчатой камере из высокочистого оптического кварца. Плановое техническое обслуживание включает визуальный осмотр кварцевой трубы на отсутствие микротрещин, сколов кромок и следов травления агрессивными газами.

При замене фланцевых соединений техники используют комплекты вакуумных уплотнительных колец из фторэластомера со специальной вакуумной смазкой сверхнизкого газовыделения.

Перед установкой нового кварцевого изолятора проводится химическая очистка поверхности в растворе деионизованной воды и последующая вакуумная дегазация при температуре 600 °C, что гарантирует поддержание базового давления рабочей камеры на уровне 1e-2 Торр.

Контроль равномерности теплового поля и импульсный отжиг в установках AS-One

Многофункциональные платформы Annealsys серии AS-One реализуют двухсторонний инфракрасный нагрев с индивидуальной зонной регулировкой мощности линейных галогенных ламп.

Инженерный персонал проводит картирование температурного поля по диаметру пластины с использованием калибровочной матрицы термопарных датчиков.

Корректировка коэффициентов зональных ПИД-контуров позволяет устранить краевые тепловые потери и снизить градиент температуры по поверхности подложки до величины менее одного процента.

В режиме импульсного отжига программируется длительность вспышек ламп от десятков миллисекунд, что позволяет термоактивировать легирующие примеси в приповерхностном слое кремния без паразитного прогрева объема кристалла.

Регламент промывки форсунок DLI и испарителей прекурсоров в системах MC-100

Системы химического осаждения Annealsys MC-100 и MC-050 оснащаются узлами прямого впрыска жидких прекурсоров DLI с высокочастотными электромагнитными форсунками.

Для предотвращения закоксовывания распылительных каналов термически нестабильными металлоорганическими растворами регламент предусматривает автоматическую продувку сольвентом высокой степени чистоты после завершения технологического рецепта.

Испарительная смесительная камера с ультразвуковым диспергированием регулярно подвергается ультразвуковой отмывке с контролем чистоты сопел микроскопом. Замена тефлоновых уплотнений и калибровка амплитуды импульсов подачи исключают колебания концентрации паров реагентов в зоне осаждения слоев.

Эксплуатация высокотемпературных графитовых нагревателей печей серии Zenith

Сверхвысокотемпературные печи Annealsys Zenith работают в диапазоне температур до 2000 °C при термообработке монокристаллов карбида кремния SiC и нитрида галлия GaN.

Термический блок содержит многослойные тепловые экраны из высокоплотного графита и углерод-углеродных композитов, защищенные водоохлаждаемым кожухом из нержавеющей стали.

Сервисный регламент предписывает контроль сопротивления графитовых резистивных элементов и проверку целостности изоляционных пилонов после серии термических циклов.

Защитная атмосфера осушенного аргона высокой степени чистоты предотвращает окисление графитовых деталей, а использование SiC-подложек исключает перекрестное загрязнение пластин парами углерода.

Модернизация цифровых контроллеров и вакуумной обвязки печей Jipelec JetFirst

Парк находящихся в эксплуатации печей отжига Jipelec JetFirst и JetLight успешно модернизируется инженерами с установкой современных цифровых платформ Annealsys.

Программа модернизации включает замену устаревших микропроцессорных плат управления на скоростные промышленные контроллеры с подключением по интерфейсу Ethernet.

В вакуумной обвязке монтируются быстродействующие электропневматические клапаны, турбомолекулярные насосные агрегаты с керамическими подшипниками и цифровые датчики Пирани.

Такое обновление продлевает ресурс технологического оборудования на десятилетия, обеспечивает точную регистрацию всех параметров технологического процесса и полную совместимость с требованиями чистых комнат.

Annealsys и названия моделей — товарные знаки их правообладателей. Они указаны только для обозначения оборудования, для которого мы подбираем запчасти. Компания SpareX не является официальным дилером, дистрибьютором или представителем Annealsys и не связана с правообладателем. Происхождение, документы и гарантия указываются по каждой позиции в коммерческом предложении.