Oxford Instruments Ultim Max Infinity 系列超大面积硅漂移 EDS 能谱仪系统
牛津仪器 Oxford Instruments Ultim Max Infinity 新一代超大面积硅漂移探测器(SDD)专为扫描电镜(SEM)与双束聚焦离子束系统(FIB-SEM)的高速微区元素定性与定量分析设计。该系列结合大尺寸芯片几何构型与先进的脉冲堆积修正算法,在高达数百万每秒计数率下仍保持顶级的轻元素探测灵敏度(从铍 Be 至钚 Pu)与实时化学成像(Live Chemical Imaging)能力。
- 有效芯片探测面积规格:40 mm²、65 mm²、100 mm² 与 170 mm²,均具备完全一致的极高能量分辨率
- 严格符合 ISO 15632:2021 国际标准:在高达 50,000 cps 计数率下碳 CKa 保证分辨率达 <= 46 eV
- 在 200,000 cps 超高计数率工况下锰 MnKa 能量分辨率保证优于 <= 127 eV,实现秒级高保真面分布图采集
- 专为极端纳米分析打造的 Ultim Extreme Infinity 无窗探测器,支持 2 kV 以下超低加速电压与亚 10 nm 级空间分辨率
