Apex 射频发生器
紧凑型等离子体工艺射频电源，频率 13.56 MHz，功率 1.5–10 kW，输入 208 VAC，采用水冷。 提供靠近腔体安装及机架安装等结构。 用于刻蚀或沉积时，需要将发生器、匹配器和工艺负载作为整体选型。 请说明工作功率、安装空间、控制接口和冷却连接方式。 原设备替换请提供完整铭牌、接口照片及腔体配置，便于确定所需规格。
型号、负载参数与连接组成
供电、功率控制与测量
Advanced Energy 电源
Advanced Energy 开发电源、功率控制系统与测量仪器。 按工艺和负载选择设备，包括射频系统、加热控制器与多路模块化电源。
产品系列
选型从负载要求开始。沉积和刻蚀应组合考虑发生器与匹配器，加热需要控制器和功率回路，电子设备需要输出通道配置。系列范围用于确定方向，具体型号依据设备文件选择。通信模块和显示器可与主设备一起提出需求。
Paramount 数字射频电源
数字控制射频平台，可测量功率和阻抗，支持脉冲及 CEX 同步。 系列覆盖 2–60 MHz、3–15 kW，输入版本为 208/400/480 VAC，采用风冷与水冷结合的方式。 系列范围不代表每台设备具备全部规格，因此需按工艺选择具体配置。 请提供频率、功率、运行模式及 EtherCAT、Ethernet、DeviceNet 或 RS-232 接口要求，并说明匹配器与腔体控制系统。
型号、负载参数与连接组成
eVerest 与 NavX 脉冲系统
面向多级脉冲工艺的射频供能系统。 eVerest 提供可编程功率级和级间切换，NavX 负责阻抗匹配并与发生器同步。 选型应从工艺要求开始，不能仅比较额定功率。 请提供脉冲轮廓、负载电气特性、控制要求和腔体组成，同时说明需要完整系统还是更换原系统中的某一设备。 现有系统请附连接图及各装置的完整型号，便于保留所需配置。
型号、负载参数与连接组成
Navigator II 与 Navio 匹配网络
匹配网络连接射频发生器与等离子体负载。 Navigator II 采用数字调谐并支持脉冲射频供能；Navio 提供阻抗匹配配置选项。 选型需知道工作频率、功率和发生器型号。 真空电容属于匹配电路的重要部件，因此单个部件与整套匹配器的需求应分别说明。 请提供连接图、完整型号和运行模式；若原系统调谐异常，还可补充报警信息及最近的维护情况。
型号、负载参数与连接组成
Pinnacle III Plus+ 脉冲直流
用于介质薄膜反应磁控溅射的脉冲直流电源。 系列范围为 5–350 kHz、1.5–10 kW、325–800 V，采用风冷。 脉冲频率与占空比参与工艺调节。 新设备选型请说明靶材、所需功率及控制接口；替换时应保留完整的 III Plus+ 代际名称和输出配置。 单路与双路输出需要分别选定，并结合现有腔体接线及运行参数确定组成。
型号、负载参数与连接组成
Ascent DMS 与 AMS II
Ascent DMS 用于双磁控溅射，40/60/120 kW 型号可组成最高 240 kW 的配置，频率可在 500 Hz–50 kHz 范围选择，并可调整两个磁控源的功率比例。 AMS II 为水冷模块化系统，具有电弧管理功能。 两种方向的选择取决于设备结构与工艺。 请说明磁控源数量、负载、供电、冷却和控制接口，原系统扩展还需提供现有配置。
型号、负载参数与连接组成
Thyro 电加热控制
用于加热、熔化及干燥的晶闸管控制器，包括 Thyro-S、Thyro-A、Thyro-A+、Thyro-PX 和 Thyro-XD。 功率单元按电流、电压、相数与负载类型选择。 通过变压器供电时还需提供变压器参数及调节方案。 PLC 通信、操作显示器和安装方式需单独确定。 原控制柜替换请附完整铭牌、端子照片和接线图，以保留所需电气配置。
型号、负载参数与连接组成
BasicBusModule 控制器组网
通信模块可连接最多八台 Thyro 控制器。 基本版本料号为 2.000.190.002，带 dASM 负载优化功能的版本为 2.000.190.003，供电 24 VDC。 工业网络需要另选对应的 Anybus 模块。 控制柜项目请提供控制器数量、系列、通信总线和连接长度。 扩展原系统时，还需说明现有模块版本及需要保留的自动化功能，以便确定组网组成。
型号、负载参数与连接组成
Anybus 工业网络选项
按控制网络选择接口：PROFINET 2.000.190.011、Modbus TCP 2.000.190.013、EtherCAT 2.000.190.016、Ethernet/IP 2.000.190.015 或 Profibus DPV1 2.000.190.010。 模块可安装于 Thyro-PX 或 BasicBusModule；Thyro-S、Thyro-A、Thyro-A+ 需配合 BasicBusModule。 请提供网络设计、控制器型号和原模块料号，使接口组合与实际控制柜结构一致。
型号、负载参数与连接组成
Thyro 显示器与安装组件
Thyro-Touch 2.000.590.001 与 Thyro-A+ Display 2.000.790.001 用于设置和显示。 柜门安装组件包括 Thyro-PX 2.000.000.405 与 Thyro-A+ 2.000.790.002，配有框架及 2.5 m 电缆。 请区分单独显示器和安装套件，并说明控制器型号、安装位置及柜门开孔情况。 维修项目还应列出仍可使用的部件，以确定实际所需组成。
型号、负载参数与连接组成
Artesyn 与 Excelsys 可配置电源
多路供电设备可采用 CoolX、iMP、iVS、NeoPower、Ultimod、uMP、XF 和 Xgen 平台，在同一机壳内配置不同输出模块。 选型先整理各负载的电压、电流、隔离及冷却要求，再确定输入电源、安装空间与控制方式。 整机替换需要完整配置代码，单通道更换则需要输出模块型号和槽位信息。 请附各输出的连接方式，尤其是串联或并联组合。
型号、负载参数与连接组成
CoolMods 与 PowerMods 输出模块
输出模块决定多路电源的组成。 CoolMods 对应 CoolX600、CoolX1000、CoolX1800、CoolX3000，PowerMods 对应 Ultimod、Xgen、XF。 选型需要平台型号、模块代码、槽位排列和负载参数。 输出串联或并联时请附接线图。 扩展项目应说明保留哪些通道以及新增负载要求；原模块标识不完整时，可补充机壳铭牌和相邻模块照片，便于确定配置。
型号、负载参数与连接组成
iHP 多通道功率系统
模块化功率平台，可配置最多八路输出，提供风冷与液冷版本，液冷版本功率最高 20 kW。 项目应先定义每个通道的电压、电流及调节范围，再分配模块负载，同时明确输入供电、冷却回路和控制接口。 原设备请提供机架代码、模块标识和负载连接图。 如果只更换其中一个输出模块，应标出槽位及其供电对象，以确定需要保留的系统组成。
型号、负载参数与连接组成
Impac IGAR 6 Smart 高温计
固定式高温计，单色模式为 100–2550 °C，双色模式为 250–2550 °C，Smart 模式可自动切换。 可调焦光学系统用于匹配目标尺寸与测量距离。 响应时间 2 ms，输出 0/4–20 mA，可通过 InfraWin 设置并使用 RS485 连接。 请提供材料、温度范围、测量区域大小和距离，并说明安装方式以及是否接入加热控制回路。
型号、负载参数与连接组成
制造商文件
选型所需资料
列出各负载的电压、电流和运行模式，补充输入供电、空间、冷却与控制接口。 射频工艺需频率、腔体参数和脉冲轮廓；高温计需材料、温度、目标尺寸及距离。 这些资料用于确定配置与连接方式。
单个模块与完整组成
可询价完整电源、输出模块、Thyro 控制器、显示器、接口或连接组件。 请列出保留、增加及更换的部件。 可配置电源需平台代码、模块标识和槽位排列；PLC 通信需协议，远程显示器需安装位置与连接长度。
请发送要求与所需组成
请说明数量、型号或应用、目的地，以及需要单机、腔体供电、多通道还是加热控制组件。现有设备请附标识与接线照片。价格、交期和组成在报价时商定，兼容性按具体版本及设备配置确定。我们并非授权经销商或制造商代表。
