Comet Group 射频等离子电源与工业X射线检测系统

瑞士 Comet Group 先进射频供电系统、阻抗自动匹配器、高压真空电容器、金属陶瓷射线管及微焦点工业CT无损检测系统。

Comet Group：射频电源与工业X射线技术

Comet Group 是瑞士知名高科技工业制造企业，七十五年以来专注于射频等离子体控制与工业X射线无损检测技术的研发制造。成套设备为半导体晶圆制造、微电子封装及航空航天结构件提供微米级过程控制与内部缺陷成像分析。

源自 1948 年的瑞士精密工程积淀与逾七十五载射频及高压射线制造工艺经验
作为高频等离子体源与工业射线管制造领域的全球核心技术方案提供商
深度配属先进集成电路晶圆制造、平板显示屏加工以及精密金属构件探伤
提供基于机身铭牌参数的真空电容组件、高频线缆与射线发生器选型服务

Comet PCT 射频电源发生器与等离子控制系统

Comet Plasma Control Technologies 部门研制高性能射频供电系统（RF Power Delivery Systems）。射频发生器为半导体晶圆刻蚀与薄膜沉积反应腔提供高稳定性等离子体起辉与能量维持，满足先进微电子芯片制造对工艺重复性的严苛指标。

专为先进制程半导体等离子体反应腔打造的高稳定性连续波与脉冲射频电源
实现亚瓦级功率精准输出调谐，确保硅晶圆表面纳米级薄膜沉积均匀性
内置高速微秒级数字控制电弧抑制功能，全面保护晶圆免遭放电击穿损毁
显著提升先进制程芯片成品良率并延长微电子生产线连续工作运行周期

Comet 阻抗匹配网络与高压真空电容器

Comet 自动化阻抗匹配器与高压真空可变电容器用于动态平衡射频传输回路阻抗。装置在微秒级时间内消除反射功率，保护射频发生器功率放大模块，确保高频电磁能量高效耦合至等离子体加工腔体，杜绝放电失配。

搭载高速伺服驱动的高精度自动阻抗匹配网络，适应等离子体阻抗剧烈波动
固定与可调式高压真空电容器具备极低介质损耗与超宽连续电容调节范围
大幅降低射频反射功率比率，保障射频发生器功放级在高负荷下安全运行
耐受极高射频工作峰值电压与高频大电流，确保长期真空绝缘性能稳定

Comet 金属陶瓷工业X射线管与射线源组件

Comet X-ray Modules 部门生产高紧凑度恒压金属陶瓷X射线管、固定式射线源及高压发生器单元。组件广泛应用于重型压力容器焊缝探伤、航空复合材料内部结构分析、汽车金属铸件气孔杂质排查以及物流安检设备无损透视。

采用金属陶瓷真空管体技术打造恒电压X射线管，具备优异的焦点微米级稳定性
管电压涵盖 100kV 至 600kV 宽广工作区间，具备对致密钢铁件的强劲穿透力
结构具备出色的抗机械振动与耐热冲击特性，适应复杂工业环境高负荷探伤
成套提供匹配的高压发生器总成、低损耗高压电缆与闭环循环冷却水箱组件

Comet Yxlon 工业CT与微米级无损检测系统

Comet Yxlon 研制工业数字射线成像与 3D 微焦点工业计算机断层扫描（CT）检测系统。设备用于无损探测先进芯片封装、BGA 焊球虚焊、汽车底盘轻合金铸件气孔疏松以及航空涡轮叶片内部微细裂纹，生成高精度体素模型。

高灵敏度微焦点工业CT扫描设备具备亚微米级空间分辨能力，成像清晰锐利
快速完成先进微电子封装组件与半导体集成芯片的三维内部立体几何构型重建
搭载智能化缺陷识别算法，自动标定焊接空洞比率、内部裂纹与杂质夹渣位置
具备高穿透与快速三维重建能力，胜任实验室微观失效分析与批量离线质检

Comet Group 高压电缆冷却单元与维护备件

为保障 Comet Group 设备连续高负荷运行，提供匹配的维护配件，涵盖替换用工业X射线管芯、高压屏蔽互连电缆总成、匹配器伺服电机传动件及循环冷却机水滤芯。严格根据机身铭牌出厂参数核验规格图纸，确保电气与机械兼容。

提供与原机电气绝缘指标完全一致的工业射线管芯与精密真空可调电容器组件
特种多层屏蔽高压电缆总成与防电晕接插件，安全承载兆瓦级射频与超高压直流
配套提供闭环循环水冷机专用水滤芯、高可靠循环泵头以及管路流量压力变送器
依据设备机身金属铭牌出厂系列编号精准匹配规格型号，杜绝选型参数偏差

Comet Group 瑞士精密制造底蕴与高频等离子体技术积淀

Comet Group 于 1948 年发轫于瑞士弗拉马特（Flamatt），在研发制造高科技工业级射频能量传输与X射线无损检测设备领域积淀了逾七十五年的工程经验。企业聚焦于半导体晶圆先进制程与工业成像分析，在全球微电子高端制造链中占据关键核心地位。

集团旗下设立三大技术业务部门：Plasma Control Technologies（射频等离子体控制技术）、X-ray Modules（金属陶瓷工业射线管源）以及 Comet Yxlon（微米级工业CT检测系统），协同为全球科研与工业用户提供一站式高压射频与射线核心部件。

Comet PCT 射频电源发生器与硅晶圆刻蚀应用

Comet Plasma Control Technologies 研制的射频供电系统是半导体等离子体反应腔体的关键动力源。射频发生器为晶圆反应室提供高纯度、高稳定性的高频交变电磁场，精确驱动反应气体解离起辉，保障等离子体在刻蚀与薄膜沉积工艺中的均匀能量分布。

设备支持连续波输出与微秒级脉冲调制输出模式，具备极高的功率复现精度。发生器内部搭载高速数字微处理器，可实时侦测腔体内微小异常辉光放电并纳秒级切断抑制电弧，避免硅片纳米级微观电路遭电弧灼伤，保障芯片制造良率。

自动化阻抗匹配网络与特种高压真空电容器

Comet PCT 自动阻抗匹配网络用于实时动态补偿射频发生器输出端与变阻抗等离子体负载之间的阻抗失配。高精度闭环伺服步进电机驱动高压真空可变电容器极板位移，在瞬态工艺波动下将反射回波功率迅速降至极低安全水平。

Comet 真空电容器具备极低的介质损耗角正切值，可耐受数万伏峰值射频高电压与数百安培高频大电流冲击。组件保障等离子体炬在反应气体成分阶跃切换及腔压大幅变化工况下持续稳定燃烧，避免反射功率损坏发射级功率放大管。

金属陶瓷工业X射线管与恒压射线源组件

Comet X-ray Modules 部门研制金属陶瓷真空外壳恒电压工业X射线管，焦点几何尺寸精细稳定。相较于传统玻璃壳射线管，金属陶瓷管体具备极高的机械抗振性能、优异的导热散热能力以及出色的耐高电压击穿性能，最高管电压可达 600kV。

射线发生组件输出高准直度、高强度的连续X射线束，广泛配属工业CT探伤室与便携式探伤机，用于压力管道深层熔透焊缝无损探伤、汽车轻量化合金件气孔排查以及航空碳纤维复合构件内部缺陷成像，穿透力强劲且焦点漂移极小。

Comet Yxlon 微焦点工业CT断层扫描与芯片封装质检

Comet Yxlon 业务单元生产高精度工业数字透视成像与 3D 微焦点工业计算机断层扫描（CT）成套系统。系统专为半导体封装与高端电子制造业打造，能够在不破坏样品的前提下实现亚微米级空间分辨率的三维立体无损结构透视。

借助先进的三维体素逆向重建算法，Yxlon 工业CT可精准还原复杂多层印制电路板、倒装芯片封装焊球（BGA）虚焊空洞以及精密金属机械件内部微小裂纹的微观几何构型，广泛应用于实验室新材料失效分析与批量产品线离线抽检。

预防性维护保养、冷却循环单元与配件铭牌选型

维持 Comet Group 射频与高压射线设备长期连续工作精度，依赖于规范的周期性维护与热平衡管理。大功率射频发生器与工业X射线管工作时伴随高热负荷，必须依靠闭环液体冷却循环机组维持稳定的工作水温与设定流量。

在日常维护检修周期中，备品备件涵盖出厂技术标准的X射线管芯总成、屏蔽高压互连线缆、冷却水循环泵头、流量水流传感器及匹配器伺服电机传动部件。依托机身金属铭牌出厂系列编号，可调阅出厂技术归档图纸，确保配件规格准确无误。

Comet Group及型号名称为其各自权利人的商标，仅用于说明我们为之寻找配件的设备。SpareX 不是Comet Group的官方经销商、分销商或代表，与商标权利人无关联。每项产品的来源、文件和质保在报价单中逐项说明。