Фотолитографические системы Nikon Precision Equipment
Полупроводниковые NSR, цифровая литография DSP-100, станции Litho Booster, контроль пластин AMI и фотолитография дисплеев FX. Конфигурация под технологический процесс.
NSR-S636E: диагностика иммерсионного сканера
NSR-S636E относится к иммерсионным ArF-сканерам полупроводниковой фотолитографии. Источник работает на длине волны 193 нм. Сервисное задание разделяет оптический тракт, перемещение пластины и согласование режимов экспонирования.
- Модель NSR-S636E
- Иммерсионная фотолитография
- ArF-источник 193 нм
- Контроль технологического режима
NSR-S333F: проверка ArF-экспонирования
NSR-S333F представляет линейку ArF-сканеров Nikon. В системе используется эксимерный источник 193 нм. Проверка оборудования связывает устойчивость экспонирования с состоянием оптики и перемещением рабочих узлов.
- Модель NSR-S333F
- ArF-сканирование
- Эксимерный источник 193 нм
- Полупроводниковая литография
NSR-S220D: обслуживание KrF-сканера
NSR-S220D относится к KrF-сканерам с эксимерным источником 248 нм. Это отдельное технологическое семейство, отличное от ArF. Обслуживание организуется по документации конкретной установки и согласованным контрольным операциям.
- Модель NSR-S220D
- KrF-источник 248 нм
- Сканирующее экспонирование
- Отдельная конфигурация оптики
NSR i-line: настройка проекционной системы
Nikon выпускает i-line степперы NSR-SF155 и NSR-2205iL1. Экспонирование выполняется на длине волны 365 нм. Исполнения различаются проекционным масштабом, поэтому оптика и режимы согласуются для конкретной модели.
- Модели NSR-SF155 и NSR-2205iL1
- Источник i-line 365 нм
- Проекционное экспонирование
- Разные масштабы проекции
DSP-100: настройка цифровой литографии
DSP-100 относится к цифровой литографии для передовой упаковки полупроводников. Источник соответствует i-line по типу экспонирования. Настройка связывает рабочую подложку, рисунок слоя и геометрию совмещения.
- Цифровая система DSP-100
- Передовая упаковка полупроводников
- Источник, эквивалентный i-line
- Работа с подложками
Litho Booster: проверка передачи поправок
Станция Litho Booster измеряет деформацию координатной сетки пластин до экспонирования. Поправки передаются в литографическую систему. Диагностика разделяет измерительный результат станции и применение коррекции на экспонирующей установке.
- Станция Litho Booster
- Измерение сетки до экспозиции
- Передача поправок вперёд
- Управление совмещением слоёв
AMI и OPTISTATION: диагностика контроля пластин
AMI-5700 сочетает измерение и макроинспекцию поверхности пластины. OPTISTATION предназначена для ручного визуального контроля. Проверка оборудования учитывает различие автоматического получения изображений и операторского наблюдения.
- Система AMI-5700
- Серия OPTISTATION
- Измерение и макроинспекция
- Ручной визуальный контроль
FX: обслуживание фотолитографии дисплеев
Семейство FX предназначено для экспонирования подложек плоских дисплеев. FX-88SL и FX-88SLD используют UV-LED источник. При обслуживании различают конфигурацию освещения, проекционную систему и перемещение подложки.
- Линейка FPD FX
- Модели FX-88SL и FX-88SLD
- Источник UV-LED
- Экспонирование панелей
Выбор технологического семейства
NSR объединяет разные семейства полупроводниковой литографии: иммерсионные ArF, ArF-сканеры, KrF-сканеры и i-line степперы. DSP-100 предназначен для цифровой литографии в передовой упаковке.
Выбор определяется технологическим слоем, подложкой, рисунком и требованиями к совмещению; характеристики разных моделей не объединяются в одну спецификацию.
Измерение и обратная связь процесса
Litho Booster измеряет деформацию координатной сетки пластины до экспонирования и передаёт корректирующие значения вперёд. AMI-5700 сочетает инспекцию и измерение, а OPTISTATION обеспечивает ручное визуальное наблюдение.
Эти системы занимают разные места в технологическом маршруте и требуют отдельного согласования интерфейсов и задач.
Фотолитография плоских дисплеев
FX применяется для экспонирования дисплейных подложек. UV-LED источник FX-88SL и FX-88SLD отличает эти модели от исполнений с другим освещением.
Техническое предложение связывает конкретную установку, тип подложки, оптическую схему и режим экспонирования; параметры полупроводниковых NSR сюда не переносятся.
Конфигурация и приёмка проекта
SpareX рассматривает оборудование и компоненты Nikon Precision Equipment по техническому заданию. В состав конфигурации входят согласованные оптические, механические и управляющие узлы. Документация, интерфейсы оборудования и контрольные операции определяются до коммерческого обязательства.
Проверка комплектации не заменяет технологической квалификации процесса.
Доступность оборудования
Nikon указывает экспортный контроль для этих продуктов и необходимость разрешения компетентных органов. Возможность конкретного проекта проверяется по оборудованию, стране назначения и применимым требованиям до заключения обязательств.
Наличие модели в технической линейке не означает безусловную доступность оборудования или компонентов.
Nikon Precision Equipment и названия моделей — товарные знаки их правообладателей. Они указаны только для обозначения оборудования, для которого мы подбираем запчасти. Компания SpareX не является официальным дилером, дистрибьютором или представителем Nikon Precision Equipment и не связана с правообладателем. Происхождение, документы и гарантия указываются по каждой позиции в коммерческом предложении.
