Оптические 3D-профилометры и измерительные системы GLTECH

Промышленное оборудование GLTECH: бесконтактные оптические 3D-профилометры, белосветовые интерферометры, аэростатические шпиндели и установки микроаддитивной печати.

Настольные оптические 3D-профилометры серий Academy и Compact

Настольные интерферометры серий Academy и Compact служат для бесконтактного трехмерного картирования микрорельефа поверхности деталей с субнанометровым разрешением, контроля шероховатости и шага микроструктур в заводских лабораториях и исследовательских центрах точного машиностроения.

Вертикальное разрешение VPI менее одной десятой нанометра при диапазоне сканирования
Пятипозиционная револьверная турель объективов с ручным позиционированием столика
Пьезоэлектрический привод с обратной связью по замкнутому контуру позиционирования
Высокая повторяемость измерений шага рельефа с погрешностью не более одной десятой процента

Автоматизированные 3D-интерферометры белого света серий Elite и Pro

Промышленные измерительные комплексы Elite и Pro созданы для скоростного автоматизированного контроля микрогеометрии и прецизионной дефектоскопии полупроводниковых пластин, кремниевых подложек и микроэлектронных узлов с многокоординатным моторизованным перемещением столиков.

Автоматизированное перемещение предметного столика сто на сто миллиметров для серии Elite
Широкоформатный столик триста на триста миллиметров с моторизованным сканированием Pro
Автоматическая револьверная турель на пять объективов и сменные моторизованные линзы зума
Функция автоматической сшивки полей изображения для бесшовного картирования топографии

Прецизионные измерительные установки серии Master для контроля пластин

Флагманские установки Master созданы для комплексного прецизионного контроля полупроводниковых пластин диаметром до трехсот миллиметров, фотошаблонов и матриц BGA. Комплекс объединяет моторизованный гранитный портал, лазерный автофокус и виброизоляцию для субнанометровой метрологии.

Сверхпрецизионный предметный столик шестьсот на шестьсот миллиметров для крупных пластин
Автоматическая шестипозиционная турель интерференционных объективов высшего разрешения
Интегрированный лазерный модуль мгновенной автоматической фокусировки оптической головки
Массивная гранитная станина массой полторы тонны со встроенной системой виброизоляции

Встраиваемые оптические измерительные зонды и датчики серии Probe

Модульные оптические головки Probe созданы для непосредственной интеграции в роботизированные технологические линии, контрольные конвейеры и координатно-измерительные машины, обеспечивая скоростное бесконтактное сканирование деталей без извлечения заготовок из технологической оснастки.

Компактный измерительный модуль со встроенным пьезоэлектрическим сканером перемещения
Линейка специализированных интерференционных объективов с увеличением до ста крат
Вакуумный поворотный столик для надежной фиксации круглых миниатюрных компонентов
Универсальный программный интерфейс для связи с контроллерами автоматических линий

Воздушные шпиндели, поворотные столы и аэростатические опоры

Прецизионные узлы на воздушных подшипниках обеспечивают работу без механического трения и масляной смазки. Аэростатические шпиндели со скоростью до 200 000 об/мин и поворотные столы с радиальным биением до 2 мкм применяются в станках для оптики, полупроводников и точной микромеханики.

Высокоскоростные воздушные шпиндели с диапазоном вращения до двухсот тысяч оборотов
Аэростатические поворотные столы диаметром до тысячи миллиметров с радиальным биением
Линейные декартовы координатные системы на воздушной подушке с ходом до двух метров
Полное отсутствие контактного трения и износа опорных поверхностей при непрерывной работе

Прецизионные наноразмерные 3D-принтеры микроаддитивной печати

Установки нанопечати серий Economy, Enhance, Excellent и Hybrid созданы для выращивания субмикронных структур, микрооптических элементов, проводящих микродорожек и сенсоров. Аддитивная микрообработка находит широкое применение в разработке компонентов MEMS и гибкой электроники.

Линейка специализированных установок микроаддитивного синтеза наноразмерных структур
Субмикронное пространственное разрешение позиционирования дозирующей головки принтера
Поддержка широкого спектра фотополимерных смол и проводящих функциональных чернил
Прецизионный контроль толщины наносимого микрослоя и геометрии формируемого рельефа

Принципы белосветовой интерферометрии и нанометровая метрология

Бесконтактные оптические интерферометры белого света GLTECH используют интерференцию широкополосного оптического излучения для высокоточного трехмерного картирования рельефа поверхности исследуемых образцов.

В оптической схеме интерферометра световой пучок расщепляется на опорный и предметный лучи, отражение которых формирует интерференционные полосы максимального контраста строго в фокальной плоскости объектива.

Данный подход обеспечивает равномерное вертикальное разрешение до одной десятой нанометра по всему полю зрения независимо от коэффициента оптического увеличения объектива.

Подобная метрология превосходит конфокальные и контактные щуповые методики по быстродействию и исключает механическое повреждение деликатных микроструктур.

Архитектура сканирующих пьезоприводов замкнутого контура

Высокая линейность и воспроизводимость вертикального перемещения оптической головки в интерферометрах GLTECH достигается благодаря интеграции прецизионного пьезоэлектрического сканера с обратной связью по замкнутому контуру.

Емкостные датчики положения непрерывно отслеживают фактическое микроперемещение привода, мгновенно компенсируя температурный дрейф, явления механического гистерезиса и микроползучести пьезокерамики.

При исследовании ступенчатых микроструктур и глубоких канавок алгоритм фазового сдвига VPI комбинируется со сканированием по огибающей когерентности VSI, что позволяет достоверно измерять перепады высот от одного нанометра до десяти миллиметров с сохранением субмикронной точности позиционирования.

Специализированная оптика и автоматические револьверные головки

В интерферометрах GLTECH применяются специализированные интерференционные микрообъективы Миро и Майкельсона с увеличением от двух с половиной до ста крат, оптимизированные для работы со светодиодным излучением.

Автоматизированные револьверные турели на пять и шесть посадочных мест обеспечивают моторизованную смену объективов без потери юстировки оптической оси и оптического сопряжения с цифровой ПЗС-матрицей.

Дополнительные моторизованные турели промежуточного оптического зума расширяют диапазон доступных полей зрения, позволяя оператору быстро переходить от панорамного обзора топографии подложки к детальному анализу наноразмерных дефектов и контролю микрошероховатости отдельных контактных площадок и дорожек печатных плат.

Метрологический контроль пластин в полупроводниковом секторе

Комплексы серий Pro и Master разработаны для автоматизированной дефектоскопии и контроля планарности кремниевых пластин, многослойных печатных плат и полупроводниковых микросборок.

Встроенные алгоритмы высокоскоростной сшивки полей зрения объединяют сотни локальных интерферограмм в единую бесшовную топографическую карту с субмикронной координатной привязкой.

Измерительная система вычисляет пространственные параметры шероховатости, глубину травления дорожек, компланарность выводов BGA и деформацию кристаллов, предоставляя технологам надежный и полный массив данных для оперативной оптимизации процессов фотолитографии, химико-механической полировки, травления и осаждения тонких функциональных пленок.

Аэростатические воздушные шпиндели и прецизионные опоры

В прецизионном станкостроении аэростатические шпиндели и поворотные платформы GLTECH обеспечивают вращение без механического контакта поверхностей за счет формирования ультратонкого несущего слоя сжатого воздуха.

Отсутствие трения качения и скольжения исключает тепловыделение и износ узлов, гарантируя динамическое биение менее двух микрометров на скоростях вращения до двухсот тысяч оборотов в минуту.

Пневматические опоры характеризуются высокой радиальной и осевой жесткостью при давлении питания пять атмосфер, что делает их ключевым конструктивным элементом высокоскоростных сверлильных головок печатных плат, шлифовальных узлов и координатных столов лазерной микрообработки и резки кремниевых пластин.

Аддитивная микропечать и регламент технического обслуживания

Наноразмерные 3D-принтеры GLTECH серий Economy, Enhance и Hybrid предназначены для послойного аддитивного синтеза функциональных микроструктур, токопроводящих дорожек и сенсоров с пространственным субмикронным разрешением.

Для поддержания стабильности технологических параметров производитель рекомендует регулярно проводить регламентную очистку фильтров пневматической магистрали, проверку калибровки пьезоприводов по оптическим мерам высоты и контроль чистоты интерференционных объективов.

Применение заводских калибровочных эталонов и регламентная прецизионная юстировка оптического тракта гарантируют долговременную метрологическую надежность оборудования при интенсивной лабораторной и заводской эксплуатации.

GLTECH и названия моделей — товарные знаки их правообладателей. Они указаны только для обозначения оборудования, для которого мы подбираем запчасти. Компания SpareX не является официальным дилером, дистрибьютором или представителем GLTECH и не связана с правообладателем. Происхождение, документы и гарантия указываются по каждой позиции в коммерческом предложении.