Excillum 埃克西隆 X射线源与分析仪器核心部件

供应瑞典 Excillum 埃克西隆 MetalJet 液态金属微焦斑 X 射线源及 NanoTube 纳焦斑透射源，为半导体三维封装、锂电池在线无损检测及前沿科研提供高亮度射线解决方案。

MetalJet D2+ 微焦斑 X 射线源系统

Excillum 埃克西隆 MetalJet D2+ 微焦斑 X 射线源在 5 至 30 微米焦斑尺寸范围内实现极高亮度。液态金属射流阳极突破了传统固体阳极的热熔限制，为实验室 X 射线衍射与高分辨成像提供卓越的辐射通量。

MetalJet E1+ 拥有 1000 W 极高功率，在 30 µm 焦斑下辐射通量可达传统固态微焦源的 17 倍。长期光斑漂移低于 1 µm，支持高通量在线无损检测与锂电池工业 CT 快速三维成像。

MetalJet F 创新集成无运动部件的高压电磁泵并成倍提升阴极寿命。专为 24/7 工业连续生产设计，可实现亚秒级锂电池在线 CT 检测，大幅提升先进制造与半导体封装的无损检测效率与良率。

NanoTube N3 采用先进电子光学系统与透射式钨-金刚石复合靶材，在 160 kV 全电压范围内实现稳定的 150 nm 空间分辨率。自动电子束聚焦与像散校正技术确保真圆焦斑，并内置实时焦斑尺寸测量功能。

镓铟合金循环射流回路通过精密喷嘴以约 100 m/s 高速喷射自再生液态金属靶材。无机械阀门的电磁驱动泵彻底消除了机械磨损，集成式收集捕集阱确保金属液体经冷却过滤后实现全密闭稳定循环。

Excillum 电子枪配备长寿命六硼化镧 (LaB6) 热发射阴极，可产生超高亮度的聚焦电子束。电磁聚焦与偏转透镜精确调控微焦斑位置，动态自适应技术将阴极在工业连续工况下的使用寿命延长至整整一年。

X 射线源真空室集成高性能离子溅射泵与涡轮分子泵组，确保在千瓦级电子束打击下维持超高真空度。闭式循环冷却温控系统高效散发高达 1600 W 热负荷，无需外部冷却水源即可保障窗口与腔体尺寸稳定性。

专业工程团队为 Excillum 全球用户提供预防性维护、现场真空度与高压电路巡检、LaB6 阴极更换与光斑校准服务。支持交钥匙现场安装、整机调试与操作培训，确保高通量分析仪器与检测设备长周期无故障运行。

瑞典 Excillum 埃克西隆公司凭借专利液态金属射流（MetalJet）技术，以高速循环的高温金属合金熔体取代传统固体金属阳极，彻底突破热熔极限，在微米级焦点下实现超越传统微焦源数十倍的辐射通量。

NanoTube 纳焦斑系列则专为纳米级高分辨三维计算机断层扫描（nano-CT）量身打造，配备透射式钨-金刚石复合靶与全自动像散校正系统，提供长期稳定的 150 nm 极致空间分辨率。

Excillum 射线源广泛集成于实验室单晶衍射仪、小角散射仪（SAXS）以及晶圆级三维封装检测设备中。在新能源动力电池工业生产中，MetalJet F 助力实现亚秒级在线 CT 缺陷筛查。

SpareX 为亚太及全球客户提供 Excillum 成套设备进口、OEM 核心组件定制、工程师现场开箱调试与阴极备件保障服务。

Excillum及型号名称为其各自权利人的商标，仅用于说明我们为之寻找配件的设备。SpareX 不是Excillum的官方经销商、分销商或代表，与商标权利人无关联。每项产品的来源、文件和质保在报价单中逐项说明。