INNOVACERA / Xiamen Innovacera 厦门英诺华 陶瓷金属化密封接头与真空陶瓷电极
厦门英诺华新材料有限公司(INNOVACERA)专业研发制造高气密真空陶瓷穿通接头、多针金属化电极组件、氧化锆精密陶瓷柱塞及耐高温特种陶瓷零部件,服务全球半导体与真空工业装备。
陶瓷金属化密封真空接头与高压电绝缘套管
厦门英诺华新材料有限公司(INNOVACERA)制造的陶瓷金属化密封接头与多针真空电极组件采用高纯氧化铝陶瓷与SUS304/SUS316不锈钢法兰,耐温400摄氏度以上,具备优异的气密绝缘性能与长期热循环稳定性。广泛应用于半导体装备、高真空镀膜及分析仪器。
- 95%至99.7%高纯氧化铝瓷体
- SUS304/316及可伐合金法兰
- 氦质谱检漏≤1x10^-9 mbar*l/s
- 长期耐受400℃以上烘烤温度
多引脚真空陶瓷密封电极组件与穿通端子
英诺华多针陶瓷气密电极组件支持2至12位引脚布局,配备M3、M4及M6螺纹导电电极柱。高绝缘强度氧化铝陶瓷本体确保极间绝缘电阻大于10兆欧,额定工作电流1至10安培,耐受220伏以上工作电压。满足半导体与高真空反应器严苛工况。
- 2至12芯多电极布局结构
- M3/M4/M6不锈钢导电螺栓
- 极间绝缘电阻≥10MΩ
- 额定工作电流1A至10A
高温真空钎焊金属化陶瓷管与气密环件
厦门英诺华采用钼锰(Mo-Mn)烧结与化学镀镍工艺制造高品质金属化陶瓷部件。金属化涂层与银铜(Ag-Cu)或金铜(Au-Cu)钎料具备极佳的润湿性能,在高温真空炉内形成气密牢固的金属化冶金结合界面。广泛用于大功率电子管与真空开关管壳。
- 钼锰(Mo-Mn)高温金属化
- 表面电解镀镍防氧化处理
- 适配银铜与金铜真空钎焊
- 高抗拉与抗剪切剥离强度
高精密陶瓷柱塞泵与流体计量阀芯组件
英诺华高精密陶瓷柱塞、活塞与旋转分配阀采用超细晶粒氧化锆(ZrO2)与高纯氧化铝精密磨削而成。表面光洁度达到镜面级 Ra<0.1 微米,配合间隙达到微米级,无外加密封圈即可实现零泄漏精密计量。耐受强酸强碱腐蚀与高转速磨损。
- 超细晶粒高韧性氧化锆材质
- 外圆表面镜面粗糙度Ra<0.1μm
- 无动密封精密微米级配合
- 耐强酸强碱耐磨损长寿命
先进结构与功能陶瓷结构件 Al2O3 / Si3N4 / AlN
厦门英诺华提供完备的先进工业陶瓷材料体系,涵盖95%-99.7%高纯氧化铝、氮化硅(Si3N4)、高导热氮化铝(AlN)及高强度氧化锆。零部件具备出色的耐高温熔融、抗机械冲击与抗热震性能。服务于光伏半导体及高温热工设备。
- Al2O3/Si3N4/AlN/ZrO2牌号
- 优异耐高温与抗热震性能
- 优异耐磨损与抗热震开裂
- 数控金刚石高精度磨削成型
氮化硅陶瓷点火器与MCH金属陶瓷加热发热元件
英诺华氮化硅热面点火器与MCH氧化铝陶瓷发热棒采用先进的共烧工艺制造。发热体在数秒内迅速达到高温点火状态,抗氧化性能强,抗热冲击不炸裂,使用寿命超过数万次点火循环。广泛应用于颗粒壁炉点火器、工业燃气窑炉与即热式加热装置。
- 高密度氮化硅Si3N4热面点火
- 通电数秒极速达到点火温度
- 抗氧化抗热震循环寿命超长
- 适用于燃气炉生物质壁炉点火
DPC 与 AMB 功率半导体高导热陶瓷基板
厦门英诺华高导热氮化铝(AlN)与氧化铝陶瓷电路基板采用活性金属钎焊(AMB)与直接电镀铜(DPC)工艺制造。导热系数高达170W/(m·K),热膨胀系数与硅片高度匹配,电气绝缘击穿电压高。广泛应用于大功率IGBT功率模块与大功率激光器封装。
- 高导热氮化铝AlN基板材质
- AMB与DPC精密金属化厚铜
- 高导热率与优良耐高电压
- 适配IGBT及碳化硅SiC模块
精密陶瓷旋转配流阀芯与气体雾化喷嘴
英诺华高精密陶瓷旋转配流阀、计量阀芯及雾化喷嘴选用高纯氮化硼(BN)、氧化锆及碳化硅精密加工而成。零部件在高速介质冲刷与高温熔融合金工况下零金属析出污染,耐磨蚀寿命长。广泛应用于高纯医药无菌灌装与特种金属粉末雾化喷枪装置。
- 高纯氮化硼BN及碳化硅材质
- 无润滑精密旋转密封面配对
- 优异耐化学介质与熔体冲刷
- 适用于无菌灌装与雾化制粉
厦门英诺华陶瓷金属化与真空高温钎焊工艺技术标准
厦门英诺华新材料有限公司严格遵循 ISO9001 质量管理体系,专精于高可靠性陶瓷金属化密封接头与真空穿通端子的研发与制造。
选用95%至99.7%高纯氧化铝陶瓷本体,经钼锰(Mo-Mn)高温烧结金属化及化学镀镍后,在真空高温钎焊炉内与SUS304不锈钢或可伐合金法兰熔接成型,具备极高的界面结合强度与抗热震开裂韧性。
全流程氦质谱真空检漏与超高耐压绝缘检测规范
出厂的每套真空陶瓷密封电极均须通过高灵敏度氦质谱检漏仪的全检测试,真空漏率稳定优于1x10^-9 mbar*l/s,满足超高真空(UHV)应用要求。
配合兆欧表绝缘阻抗测试与工频耐压击穿试验,确保极间绝缘电阻超过10兆欧,在严苛的半导体制造等离子体环境与粒子加速器高真空腔体中长期稳定运行。
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